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速度: 500 mm/s
繰返し精度: 0.15, 0.1 µm
積載量: 50 kg
... E-ABT-XY-360X360（セラミックリニアモータステージ）XYエアベアリングリニアモータステージ 簡単な説明 セラミックバージョンは、エアフローティング構造とガイドエレメントとして高純度アルミナを使用しています。アルミナセラミックスは、花崗岩や金属に比べて膨張係数が小さく、真直性、硬度、耐摩耗性の利点があります。 スキャニング用途や高精度位置決めに最適です。 クリーンルーム対応 360mm×360mmの移動範囲 耐荷重500N 分解能 4.88nm ...
ストローク: 50 mm
速度: 100 m/s
繰返し精度: 0.2 µm
... 6軸六脚トライポッド構造体 E-HEX-10.6.100.100-XXXシリーズ 平行6自由度ステージ 簡単な説明 特徴高精度、組み立て可能、カスタマイズ可能、ライト口径460mm コンパクトで堅牢なステージで、安定した信頼性の高いモーション精度を実現します。 超微細な位置決め分解能と十分な可搬重量を備えており、使用可能なスペースが限られている場合に、複雑な多自由度モーションを必要とするアプリケーションに最適です。半導体テストウェハーのレベリングに適しています。光学検査、大口径中空アパーチャー調整光路のアプリケーションシナリオ。 ...
ストローク: 1 mm - 300 mm
速度: 1 mm/s - 10 mm/s
繰返し精度: 0.015 µm - 5 µm
... LA97 ナノメートルリニアステージ 用途：スキャニング 利点：ナノメータ位置決め、垂直方向にも対応 特徴：極限の分解能と最高の剛性を備えた位置決め 2（または4）個のモーターを装備可能 - 真空: 10E-11 mbarまでのHV/UHVの全圧力範囲 - 磁性: 磁性、低磁性、マグネットフリー - 潤滑: 10E-8 mbar以下の液体潤滑 / 10E-11 mbar以下の乾式潤滑 - 最高ベークアウト温度120°C オプション - 磁性、低磁性、磁性なしバージョンあり - ...
Steinmeyer Holding GmbH
ストローク: 1 mm - 10 mm
速度: 0.2 mm/s - 10 mm/s
繰返し精度: 0.2 µm - 5 µm
... MT53 高分解能マイクロステージ 用途：多目的マイクロステージ 利点：高分解能スキャン用 特徴：非常に高い分解能での位置決め - 真空：HV/UHVの全圧力範囲、10E-11mbarまで - 潤滑：液体潤滑（10E-8mbarまで）/ドライ潤滑（10E-11mbarまで - 磁気: 磁気 - 最高ベークアウト温度120°C オプション - 用途に合わせた材料選択と真空潤滑 - チャンバー内の設置状況に個別に対応 - ...
Steinmeyer Holding GmbH
ストローク: 1 mm - 50 mm
速度: 1 mm/s - 50 mm/s
繰返し精度: 0.3 µm - 5 µm
... KT105-50 高分解能XYステージ 用途：真空XYステージ 利点：高速、高分解能 特徴：ヨーとピッチのパラメーターがアパーター付きより3倍優れている。 - 真空度：全領域HV/UHV 最大10-11mbar - 磁性：磁性｜低磁性｜マグネットフリー - 潤滑: 液体 10-8 / ドライ 10-11 mbarまで - 最高ベークアウト温度120°C オプション - 開口部付きと開口部なし - マグネット式、低磁力式、マグネットフリー式があります。 - ...
Steinmeyer Holding GmbH
ストローク: 26 mm
速度: 20 mm/s
繰返し精度: 40, 200 nm
... SLC-1740の寸法は40 x 17 x 8.5mmで、移動範囲は26mm、法線力は30Nである。 このリニアピエゾステージに関するダウンロード可能な資料は、S位置センサーを装備した大気圧またはHV環境用のSLC-1740の寸法と仕様を示しています。UHV対応ステージ、より高い阻止力を持つステージ、その他のセンサーオプションなど、その他のバリエーションに関する技術図面や詳細仕様については、弊社営業チームまでお問い合わせください。 メカニカル ブロッキング力 ...
SmarAct GmbH
ストローク: 31 mm
速度: 20 mm/s
繰返し精度: 40, 200 nm
... SLC-1750の移動範囲は31mm、法線力は30Nで、寸法は50 x 17 x 8.5mmです。 このリニアピエゾステージに関するダウンロード可能な資料は、S位置センサーを装備した大気圧またはHV環境用のSLC-1750の寸法と仕様を示しています。UHV対応ステージ、より高い阻止力を持つステージ、その他のセンサーオプションなど、その他のバリエーションに関する技術図面や詳細仕様については、弊社営業チームまでお問い合わせください。 メカニカル スキャン範囲 [μm] ...
SmarAct GmbH
ストローク: 41 mm
速度: 20 mm/s
繰返し精度: 40, 200 nm
... 60×17×8.5mmのSLC-1760は、41mmの移動範囲と30Nの法線力を提供する。 このリニアピエゾステージに関するダウンロード可能な資料は、S位置センサーを装備した大気圧またはHV環境用のSLC-1760の寸法と仕様を示しています。UHV対応ステージ、より高い阻止力を持つステージ、その他のセンサーオプションなど、その他のバリエーションに関する技術図面や詳細仕様については、弊社営業チームまでお問い合わせください。 メカニカル スキャン範囲 [μm] - ...
SmarAct GmbH
ストローク: 10 mm
速度: 1.5 mm/s
... 当社のポートフォリオの中で、22 x 15 mm フットプリントのコンパクトな設計最小の製品を持つ10mm 旅行、 ピエゾ電動慣性駆動を備えた超小型ミニチュア翻訳ステージ。 ...
mechOnics ag
ストローク: 3.5 mm
速度: 1.5 mm/s
... 私たちのポートフォリオでは、 圧電慣性駆動を備えた超小型ミニチュア翻訳ステージ15 x 15 mm フットプリントのコンパクト設計最小の製品を持つ3.5mm 旅行。 ...
mechOnics ag
ストローク: 8 mm
速度: 1.2 mm/s
... さまざまな応用分野で30 x 30mmのフットプリント で8mmのトラベル。 アダプタプレートなしのオールラウンドなマルチ軸の組み合わせは、 ピエゾ電気慣性駆動を備えたミニチュア変換ステージです。 ...
mechOnics ag
ストローク: 30, 50, 100 mm
速度: 5, 50 mm/s
... - 真空：全レンジ HV / UHV / EUV 最大10E-11 mbar - 潤滑液：最大10E-8 / ドライ：最大10E-11 mbar - 最大ベークアウト温度120°C オプションで設定可能 - 磁性体、低磁性体、磁性体なしのバージョンがあります。 - 最大2種類のモーターを使用し、高負荷の動作に対応 - 異なるモーターバリエーション。ナノモーション、ピエゾモータ、リニアモータ - XYZ位置決めシステムとの組み合わせが可能 - 回転テーブル（例：DT105）との組み合わせで、回転アプリケーションに対応可能 - ...
Steinmeyer Mechatronik GmbH
... 各社倒立顕微鏡用モーター駆動サンプルXY移動ステージ。 - 高剛性で安定したステージ設計により、最高のパフォーマンスを発揮します。 - 強力なスティックスリップピエゾモーター - 光路センタリング用平行移動ステージ - あらゆるレボルバ位置に対物レンズを取り付け可能 - AFM軸座標系に平行なXY軸 - XY移動：10 x 10 mm² - ステージ分解能：<1 µm - ステージ位置変更 : 2 µm - 顕微鏡互換性 ...
ストローク: 2 mm
積載量: 4.5 kg
... -各軸粗動2mm -4.5kgの負荷容量 -最小円弧変位 -直交アライメント溝 -エリオット・サイエンティフィック社製アジャスターを任意に組み合わせて使用可能 -超安定な特許取得済み†設計XYZ屈曲ステージ MDE330フレクスチャーステージはアジャスターなしで供給されるため、ユーザーは個々の性能とコスト要件に合わせて各軸に異なるタイプのアジャスターを選択して取り付けることができます。たとえば、手動アジャスター1個とピエゾアジャスター2個、または高精度アジャスター2個とピエゾアジャスター1個などです。MDE330は、すべてのエリオット・サイエンティフィック社製アジャスターと互換性があります。 エリオットゴールド™ ...
Elliot Scientific
ストローク: 50 µm - 240 µm
繰返し精度: 5, 10 nm
... 大口径でハイダイナミクスを実現 - パラレル・キネマティクスによる高速応答と高い多軸精度 - ゼロプレイ、高精度のフレクシャーガイドシステム - PICMA®ピエゾアクチュエータによる卓越した寿命 - 66 mm × 66 mmのクリアアパーチャー - 静電容量式センサーによる最高の直線性 - 計測技術 - 干渉計 - フォトニクス/集積光学系 - リソグラフィー - ナノポジショニング - 走査型顕微鏡 - サンプルアライメント - マイクロマシニング 静電容量式センサーによるサブナノメートルの分解能 静電容量式センサーは、非接触でサブナノメートルの分解能で測定します。優れた直線性、長期安定性、kHzの帯域幅を保証します。 自動構成と高速部品交換 メカニックとコントローラを必要に応じて組み合わせ、迅速に交換することができます。すべてのサーボおよびリニアライゼーションパラメータは、メカニックのD-subコネクタのIDチップに格納されます。デジタルコントローラのオートキャリブレーション機能は、コントローラの電源を入れるたびにこのデータを使用します。 PICMA®ピエゾアクチュエーターによる卓越した寿命 特許取得済みのPICMA®圧電アクチュエーターは、オールセラミック絶縁されています。このため、湿度やリーク電流の増加による故障から保護されます。PICMA®アクチュエータは、従来のポリマー絶縁型アクチュエータに比べて最大10倍の長寿命を実現します。1,000億サイクルで一度も故障がないことが証明されています。 ...
Physik Instrumente
... Agilis™シリーズ高精度小型回転ステージは、ニューポートの新しいAgilisピエゾステップダイレクトモータを搭載しています。Agilisステージは、高品質のマニュアルステージに匹敵する価格とサイズで、超高速調整感度と便利なリモート操作の利点を提供します。 -超高感度調整 -システム統合のための超小型化 -セットで使える長期安定性 -便利なリモート操作 -直読式エンコーダとConexコントローラが使用可能 -真空対応版 軽量・コンパクト AG-PR100は、光学部品や小さなサンプルの回転微調整に最適な、コストパフォーマンスの高いソリューションです。超小型・軽量のAG-PR100とCONEX-AG-PR100P回転ステージは、保持リング付きの1インチ開口部を備えており、波長板や偏光板の連続回転に理想的です。 真空対応版 ステージとケーブルを10-6hPaまで真空対応にしたAgilis回転ステージをご用意しています。 CONEXコントローラバージョン 高い再現性と位置フィードバックが必要なアプリケーションには、CONEX-AG-PR100Pをお勧めします。CONEX-AG-PR100Pは、内蔵のダイレクトエンコーダとあらかじめ設定されたクローズドループコントローラを使用して、高い再現性を持つピエゾ位置決めを実現します。 ...
... ピエゾシステムのPKS 1は、同社のPKSシリーズミラー傾斜システムの一部です。 直交傾斜軸、広範な共振周波数レベル、コンパクトな設計を特長としています。 真空条件への適応性、1mradの微調整範囲、± 2° の手動オフセット角度率を実現します。 1/2インチおよび1インチミラーのカスタマイズされたモデル構成も可能です。 PKS 1は一般に、レーザー技術プロセス、ビーム整列操作、スキャン装置などを含むアプリケーションに使用されます。 ...
piezosystem jena GmbH
... TSD-X-PDM x軸ピエゾモータリニアステージは、当社のフラッグシップステージであり、20nmの分解能を実現する硬化工具鋼構造のESCベアリングを搭載しています。 注意事項 - アクチュエータ取り付けブラケットは、ステージの上面からはみ出す場合があります。 - ペイロードのサイズにより、定格トラベルが減少する場合があります。 ...
DSM
... XRT-U 30は、超音波ピエゾモータによって駆動されるコンパクトで精密な回転ステージです。 XRT-U 30を使用すると、空気軸受ロータリーステージに匹敵する誤差動作を、より小さな容積でより低価格で実現できます。 他のピエゾモータ技術と比較して、超音波ピエゾモータは、より長い寿命、ノイズのない動作、低エネルギー消費を保証します。 これにより、XRT-Uは、マイクロCTスキャナ、計測アプリケーション、電子顕微鏡などの真空および非磁性アプリケーション向けの最先端の回転ステージとなります。 ...
Xeryon
速度: 10 mm/s
繰返し精度: 300 nm
積載量: 150 g
... 誘導型ピエゾ垂直ステージ 1.可動域は10mmの1種類。 2.最大荷重は150g 3.37 nmの代表的な分解能" DESCRIPTION 位置フィードバックのコアとして、誘導型センシングエレメントを採用しています。本シリーズは、実用的な位置決め分解能だけでなく、よりコンパクトなサイズ、より優れた耐環境性、競争力のある価格を実現しています。高精度な位置決めやマイクロ・ナノモーション制御、真空環境下での使用など、あらゆるアプリケーションに対応します。 誘導型ピエゾ垂直ステージは、1種類の移動範囲（10mm）を提供します。最大荷重は150gで、37nmの標準的な分解能があります。 ...
STAF
ストローク: 10, 13 mm
... XYZ ピエゾステージ ピエゾモータ駆動 トラベル 13 x 13 x 10 mm UHV 対応 ...
... 高精度な測定を実現するために設計されています。ロータリーユニットは減摩ベアリングを採用し、遊びがありません。抜群の剛性を誇ります。高精度な位置決めを可能にする高分解能エンコーダ。 RT-350 ピエゾドライブ搭載。使用される材料の磁界強度が低いため、CT測定システムの回転軸として最適です。 オプション >空気圧による回転の固定 >スプラッシュガード RT-500 トルクドライブ付き。RT-500は、その優れた構造により、多軸システムの回転軸として使用することができます。 オプション >空圧式回転クランプ >スプラッシュガード >ウォームギアドライブとサーボドライブ RT-1500 サーボドライブ付き。軸方向にエアベアリングを採用しています。ベースプレートと回転テーブルは天然の硬質石、御影石を使用。自動調整機能により、様々な重量負荷でもエアギャップは一定に保たれます。 オプション >空気圧による回転の締め付け >スプラッシュガード >角度エンコーダ >手動調整 ...
ストローク: 0 mm - 0 mm
... - 単軸 - ミラーポジションシステム - 分離型エレクトロニクス不要 -小型ピエゾ式スマートステージ シンプルで高精度なポイントツーポイント位置決め用コントローラ。 直径わずか12mmのこのシステムは、限られたスペースでの精密なポイントツーポイントビームステアリングに最適です。 ...
COMESTERO SISTEMI
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