半導体用顕微鏡

分解能: 1 µm

MX63/MX63Lは最大300mmサイズのウエハーや液晶パネル、電子基板などのサンプルが検査できる大型の顕微鏡です。さまざまなアプリケーションに対応するモジュールを組み合わせることでお客様に有益なシステムを提供することができます。さらにOLYMPUS Stream画像解析ソフトウェアと組み合わせることで観察からレポート作成までのシームレスなワークフローを提供します。

倍率 : 3,000,000 unit
分解能: 0.8, 0.4, 1.2 nm

超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 SU9000II コールドFE電子源は、他の電子源と比べて光源径やエネルギー幅が小さいので、高分解能観察に適しています。さらに高輝度かつ安定性な新型コールドFE電子銃を搭載したSU9000IIは高分解能観察のみならず、高品質な元素分析が可能です。それらの性能を発揮したデータを安定して取得できるよう、光学系の自動調整機能やデータ取得自動化を支援するオプション機能を搭載し、大量データの自動取得を可能にしました。 また、インレンズ形対物レンズを備えたSU9000IIは、EELSの測定が可能です。 SU9000IIは日立FE-SEMの最上位機種です。 低収差レンズの最高峰であるインレンズ型対物レンズを搭載したSU9000IIは、世界最高分解能 ...

倍率 : 5 unit - 800,000 unit
分解能: 15, 4, 3 nm

高性能を、ここまで使いやすく、ここまで多用途に 日立ハイテクの走査電子顕微鏡 SU3800/SU3900は、操作性と拡張性を両立させました。 数々の操作もオート化し、高性能を効率的に活用することができます。 多目的大型試料室を搭載し、In-Situ解析にも対応しました。 ①大型試料に対応 ■大型/重量試料対応ステージ • リスクを低減する試料交換シーケンス • スループットを向上する試料交換室 • 自由度を高める、ステージ移動制限解除機能* • ...

倍率 : 20 unit - 8,000,000 unit
分解能: 0.08, 0.1 nm

空間分解能と傾斜・分析性能を調和した、200 kV収差補正TEM/STEM 0.078 nmのSTEM空間分解能や、高試料傾斜・大立体角EDXを、シングルポールピースで実現しました。 走査透過電子顕微鏡｢HD-2700｣搭載の日立製球面収差補正器や、その自動補正機能、収差補正SEM像やシンメトリーDual SDDなどの特長を受け継ぐとともに、透過電子顕微鏡HFシリーズで培ってきた技術を結集・融合しました。 ハイエンドユーザーをはじめ幅広いユーザー向けに、サブÅレベルの空間分解能と高分析性能を、より多様な観察・分析手法とともにご提供します。 0.078 ...

倍率 : 66 unit - 1,000,000 unit
分解能: 1.3 nm
長さ: 1,716 mm

... 大容量試料のクロススケールイメージングのための高速走査電子顕微鏡 CIQTEK HEM6000は、高輝度大電流ビーム電子銃、高速電子ビーム偏向システム、高電圧試料ステージ減速、ダイナミック光軸、液浸電磁＆静電コンボ対物レンズなどの技術を駆使し、ナノスケールの分解能を確保しながら高速画像取得を実現しました。 自動化された操作プロセスは、より効率的でスマートな大面積高分解能イメージングワークフローなどのアプリケーション向けに設計されています。撮像速度は、従来の電界放出型走査電子顕微鏡（fesem）の5倍以上に達します。 1.画像取得速度：10 ...

... 新しい「マシンビジョン顕微鏡」（MVM）は、顕微鏡を作る機能をすべて備えた、純粋にデジタル顕微鏡です。 これは、アポクローム的に高度に補正された顕微鏡対物体と、5MP Sony IMX264センサーのピクセルに各物体を拡大する対応するチューブレンズを持っています。 また、同軸入射光イルミネーションと拡散環光灯が設置された。両方のライトは、内蔵カメラのUSB 3.1ポートを介して制御され、給電されます。特別に開発された制御エレクトロニクスにより、2つの光源を交互に動作させることができます。 ...

... 倒立顕微鏡は、コンパクトで耐久性があり、高倍率が必要な場合に使用されます。平坦な試料面を持つマウント試料の分析に最適で、BF、DF、DIC、POLの複数の光源を使用できるように装備されており、複数の分析を行うことができます。 硬さ試験などの一般用途向け倒立顕微鏡のエントリーモデル。 工業用や材料科学用の倒立顕微鏡で、不透明な試料（金属の粒径、粒界、相、変態、介在物、非金属などの微細構造の調査や研究、試料の前処理や処理など）用に設計されています。 メタログラフィーラボでの不透明試料用に特別に設計されています。お客様のお好みに合わせて自由に設定できるレンズ、FN24ハイアイポイント、無限遠補正光学系、同軸フォーカシング、メカニカルステージ、明るさを調整できるハロゲン12V/100Wの落射照明アタッチメントを搭載しています。頑丈で信頼性が高く、人間工学に基づいた位置にすべての主要なコントロールを装備し、20年以上の使用を可能にする長持ちする効率的なLED照明を備えています。 ...

... - オプションの内向き回転ターレットと作動距離の長い高品質対物レンズにより優れた操作性を実現。 - 半導体用プローバーステーションの顕微鏡ユニットとして最適。 - L-モデルおよびL4モデルは、266～1064nmのYAGレーザー波長域に対応し、薄膜や液晶基板のレーザー切断が可能。 - 人間工学に基づいたデザインで、粗動と拡大ファインフォーカス調整用ノブを装備。 ...