圧電顕微鏡

分解能: 0.7, 1, 0.6 nm

... 走査型電子顕微鏡によるナノ材料のサブナノメートルの分解能と高い材料コントラストによる特性評価。 Verios 5 XHR 走査型電子顕微鏡 Verios 5 XHRは、1 keVから30 keVの全エネルギー範囲においてサブナノメートルの分解能と優れた材料コントラストを有するSEMです。自動化と使いやすさの追求により、あらゆるレベルのユーザーがこの性能を利用できるようになりました。 走査型電子顕微鏡による特性評価 - UC+単色電子源による高分解能ナノマテリアルイメージングは、1-30 ...

重量: 990 kg
幅: 1,190 mm
高さ: 1,800 mm

... 日立NP6800は、設計ノード10nm以降の半導体デバイスの分析ニーズに対応するために設計されたSEMベースの専用プロービングシステムです。 精密ピエゾ駆動アクチュエータを搭載し、X軸、Y軸、Z軸のプローブ移動が可能なため、プローブを高精度に制御し、1個のMOSトランジスタの電気特性を測定することができます。 設計コンセプトは、直感的なプローブ操作設計により、真空環境下でも同じ操作性を維持しながら、（光学式プロービングシステムのような）使いやすいプロービングシステムを実現することでした。 - ...

... 日立NE4000 nanoEBACは、マイクロエレクトロニクスデバイスの配線、材料、コンポーネントの電気特性評価、EBAC解析、イメージングを行う電子ビームベースのプロービングシステムです。 電子ビーム吸収電流（EBAC）技術は、低レベルの層を直接プロービングすることなく、インターコネクトに沿ってオープン回路、高抵抗、ショートを特定するための迅速で効果的な方法を提供します。 EBAC技術は、電子ビーム電流を吸収するために、誘電体層を通過して下層のメタライゼーション層まで電子ビームを流します。FESEMの電子ビーム加速電圧は、誘電体層を通過するプロービング深さまたは浸透レベルを制御します。露出した上層のメタライゼーション上にプローブを1本置いて回路を完成させ、電子が配線を流れるようにする。 日立が特許を取得した差動EBACアンプとともにデュアルプローブを使用することで、ゼーベック効果による高抵抗やショートの観察が可能になります。 使いやすいデザイン - ...