酸化炉

幅: 1,250 mm
高さ: 3,450 mm
奥行き: 3,200 mm

シリコンウェーハ、IGBT、ポリイミド、薄ウェーハの酸化・拡散・CVD熱処理装置。 大容量ストッカーを備え、短タクトタイムを実現したフラッグシップモデル。 300mm・12インチウェーハ最大100枚、FOUP16個の一括処理が可能なラージバッチ量産タイプの縦型拡散炉です。LGOヒータの採用で低温～中高温まで優れた温度特性を発揮します。シリコンウェーハ以外にもIGBT、ポリイミド、薄ウェーハなどの熱処理に適しています。

温度: 0 °C - 950 °C

... 合金および非合金銅ストリップのための最高の品質、最高の効率、最高の処理能力。これらの要素が当社の光輝焼鈍ラインを定義し、ヨーロッパとアジアにおける世界的な成功の基盤となっています。 EBNERの統合されたストリップ洗浄システムは、熱処理や他の処理工程（例えば不動態化処理）に関わらず、ストリップを下流工程に最適に準備します。 EBNERの光輝焼鈍設計は、酸化に非常に敏感な合金を光輝焼鈍する際、最大100%の水素の利点を利用するために縦型になっています。 実績のあるHICON/H2マッフル炉設計とジェットトンネルは、最適な機械的特性、クリーンで完璧な表面、焼鈍ストリップの比張力が最も低いフラットな形状を実現します。 EBNER技術により、厚さ0.05mmから5mmのストリップをアニールできます。 EBNERマッフルデザインの特徴 ガス密閉設計により、最高 ...

... 本装置は、Edge Isolation、PSG除去後のシリコンウェーハの表側にパッシベーション層を塗布することにより、セル効率を向上させる装置です。 仕様 ハイスループット：14,400枚/時（2,400枚/ボート） サイクルタイム：60分 稼働率: 99 ...

温度: 538 °C

... 不活性雰囲気オーブンPNシリーズは、製品の酸化を防止するために不活性雰囲気が要求される様々なプロセスに対応するように設計されています。代表的な用途は、硬化、接着、熱処理などです。 PNシリーズにはデジタルPIDコントローラーが搭載されており、操作や設定が簡単でオペレーターの手間を省きます。プロセスニーズに対応するため、2つの温度範囲を備えています。内部が連続的に溶接されたステンレス鋼は、腐食性の高い条件や、内部の清浄度が重要な場合に最適です。調整可能な再循環エアールーバーを備えており、負荷構成が変化しても均一なエアフローを確保し、安定した製品加熱ができるよう微調整が可能です。また、密閉されたチャンバー内で低温で運転し、急速に冷却するための空気対空気の熱交換器も備えています。 Despatchは、信頼できる運転と優れたプロセス制御に必要な、設計の完全性、製造経験、品質重視を提供します。 標準機能 優れた温度均一性のための水平気流 温度均一性 不活性雰囲気対応 急速冷却用熱交換器 使いやすいデジタルPID制御 ステンレス内部 調節可能な再循環エアールーバーが均一なエアフローを確保 チャンバー圧力計 大気を密閉するドア ULおよびC-ULに準拠した開放型工業用制御パネル ...

温度: 1,250, 1,350, 1,500 °C

... 5～12 barの高圧力炉は、最も要求の厳しい用途に対応する冷却速度を保証します。これらの真空炉は、加熱時間を短縮し、真空焼戻しサイクルのような均質な低温熱処理を実施するための対流技術を装備することができ、しばしば真空ガス焼入れを補完します。 B8_T シリーズは横型のガス冷却真空炉で、BMI が特許を有する回転フロー冷却を装備しています。 BMI 真空炉 B8_T シリーズは高温での主な熱処理およびろう付けに対応し、特に BMI が特許を取得した回転フロー冷却により、比類のない均一な焼き入れを実現する繊細な焼き入れ処理に適しています。 5～12 ...

... 回転ドラム炉-塩を添加した高濃度汚染スクラップの製錬に圧倒的によく使用される設備。 - 能力（液体アルミニウム）10～20トン - 強化スチールの軌道面はドラム本体に圧入で取り付けられ、メンテナンスの必要性を排除 - ドラムと一緒に回転する油圧式上開きチャージングドア - ガス-酸素バーナーを排ガス側に設置してエネルギー効率を向上 - 炉ごとに2つのローラーを装備した回転駆動装置、回転速度は自由に調整可能 - 完全なスラグ処理システム - 目視による軸受温度監視 バーナーと制御システムの特徴 - ...

温度: 1,100 °C

... DBC焼結炉 この製品は、特にパワー半導体デバイスの高温熱処理に使用されます。 1、技術指標 温度RT-1100Cの使用 炉の均一性は、2C ネットワークベルトの速度20-150mm/分無段階調整可能な 自動加熱速度の調整可能な加熱速度は2/分未満 窒素と酸素混合ガス酸素含有量20〜300pp調節可能な 8〜10温度ゾーン温度制御ゾーン ネットワーク帯域幅200ミリメートル 2、進行性 酸化雰囲気が均一で、大気はセグメント化され、制御可能、温度均一性が高い（高い均一性）、自動加熱を調整することができ、安全と保護機能が完全で、メンテナンス作業が便利で、省エネと環境保護、大気閉ループ制御、高温反変形構造、独自の温度制御モードがあります。 ...

... 工業用バーンオフオーブンは、金属から粉体塗装、エポキシ、塗料、グリース、オイル、ゴム、その他の有機物を効率的に剥離します。洗浄コストを節約し、部品の寿命を延ばします。 LPG、天然ガス、ディーゼル油、電気が使用できます。 バーンオフ炉は、熱洗浄炉とも呼ばれ、コーティング、繊維、電動機、プラスチック産業で広く使用されています。バーンオフ炉は、ハンガー、ラック、フック、治具、固定具などの様々な金属部品から塗料、粉体塗料、エポキシ、ラッカー、ウレタン、その他の有機または無機化合物を除去するために設計されています。また、金型、押出ダイ、スクリュー、ノズル、押出機、ホット・ランナー、ブレーカー・プレートなど、さまざまな金属部品からポリマーを洗浄することもできます。 ホット洗浄炉は、コーティングノズルのような金属部品に付着した化学物質を効率的かつ安全に洗浄することができます。ポリマーの使用は300度より高く、空気から隔離された、空気の少量で400度以上で、完全に酸化の特性をすることができ、技術的な要件に応じて400度（提案）に加熱されたポリマーの汚水ワークで最初に、炉の底にある収集容器に流れるポリマーの溶融物の数上のワークを作り、その後、温度が400度に上昇し、新鮮な空気の少量で換気、ポリマーの残りの部分を酸化させ、ポンプで水を噴霧した後、二酸化炭素を発生させることができ、外から水と水リングタイプ。 ...

温度: 700, 950 °C
幅: 600, 850, 700, 800 mm
高さ: 400, 500, 600, 700 mm

... この熱処理ラインは、搬入・搬出台、加熱炉システム、焼入れ炉システム、急冷室（焼入れ油除去室・排気）システム、焼戻し炉、搬出空冷室、温度・機械動作制御システム、緊急作業ステーション、油圧・空圧システム、雰囲気保護システム、装入トレイで構成されています。 この生産ラインは、主に鋼球、鋳造部品、自動車部品、歯車、その他様々な材料の標準部品の焼入れ・焼戻し熱処理に使用されます。 特徴 1).この生産ラインは和らげることの等温の正常化そして癒やすことに使用することができます。 2).加熱炉内に保護雰囲気を供給し、ワークの酸化を抑えることができます。 3).冷たい空気、熱い空気、熱い空気と冷たい空気の異なる混合温度を使用して、冷却室内のワークを冷却することができます。 4).生産ラインは信頼できる伝達装置と構成されます、全ラインは一種の非常に信頼できる、理性的な自動熱処理の生産ラインである欠陥の自己診断機能の ...

... バーナーレスや間接焼成の加熱システムは、どれもエプコンのエンジニアリングチームにとって最高の成果です。当社の専門は、高度な熱回収方法と、プロセス加熱操作と大気汚染防止システムとの統合にあります。オーブン／オキシダイザーの組み合わせ」設計は、Epconが得意とするエンジニアリングの1つであり、世界中の複数の設備で実証済みの特許取得済みシステムです。 サーマルリサイクルや、プロセス全体の気流を管理するカスタム設計のシステムにより、バーナーレスや間接燃焼システムを可能にし、燃料消費量や運転エネルギーコストの削減を実現します。 酸化プロセスからの多段式熱回収を組み込むことで、排出ガス規制を遵守するだけでなく、熱効率を高め、システム全体の性能を向上させることで、ほとんどの場合、より持続可能なネットゼロの運用を実現します。私たちのチームは、製品だけでなく、産業やアプリケーションに関する深い知識を持ち、期待を上回る高品質なパフォーマンスを提供します。 Epconのチームは、バーナーレスおよび間接加熱システムの出荷前に、完全な制御テストを実施し、必要な設定温度と特定の範囲のプロセス変数に基づいて特別な調整を行います。これは、プロセス加熱装置の性能を確保するだけでなく、プロセスのVOCが破壊され、熱回収方法が設計通りに動作することで、望ましい破壊率効率（DRE）のレベルが満たされることを確認します。 ...

... 赤外線オーブンは、粉末、溶剤系および水性塗料に適している。 赤外線オーブンは、高い材料厚さや温度に敏感なワークピースに特に適しています。 塗料の乾燥では、放射線が材料に浸透し、塗料フィルムを内側から外側に乾燥させるため、赤外線熱は従来の空気乾燥よりも優れていることが多い。 これは、表面上の皮膚または水疱の形成を妨げ、塗料の乾燥を促進する。 その結果、優れた表面品質が得られます。 優れた粉末濡れのために、これらの乾燥機は、粉末エナメル炉の前にゲル化ゾーンとして頻繁に使用されます。 ...

温度: 200 °C
容量: 20, 50, 120 l

... - 敏感な製品に適した適度な乾燥 - 速乾性 - 金属の脱ガス・脱泡 - ブリーディング - 表面処理のための金属部品の加熱 - 真空のため、空気による酸化を避けることができる - 重合真空→酸化なし - コネクターメーカー向けシリコン部品の脱ガス処理 - センシングエレメントを保護するために特殊なオイルを充填する必要がある高圧のセンサー：オイル（真空）を充填するためにキャビティから空気を取り除く - 気圧計のテスト/校正 - 気泡を除去するためのゲルキャンドルの脱ガス処理 - ...

温度: 700 °C
幅: 2.9 m - 5.6 m
高さ: 2.8 m - 4.7 m

... SPECIAL 熱間壁焼戻し炉 この炉は内部フェルールを採用しており、汚染要素のないプロセス環境を確保します。また、不活性雰囲気または特殊ガスフラッシング、あるいは必要に応じて酸化プロセス用の空気導入など、従来とは異なるプロセス実行のためのキットを炉に装備することも可能です。 処理 焼戻し 応力緩和 焼きなまし ガス窒化 ガス洗浄 ...

... I.G.M.シリーズ炉は、熱容量が非常に高く、最高の加熱品質で高時間生産が可能なシリーズとして特徴的な製品です。I.G.M.炉は3または4トラックタイプで、限られたスペースでも高い生産性が得られるように設計されています。熱間鍛造の進化に伴い、温度均一性と生産速度の面で炉の品質特性が向上しています。このような要求に応えるため、本シリーズでは高度な温度検出・調整システムを採用しています。I.G.M.炉は、1桁、2桁、4桁の自動スタンピングを行う新世代のプレス機械に対応するよう設計されています。 特定の製品要求に応じた豊富なオプションが用意されています。これらの炉は、極めて多様な用途に対応でき、伝導が単純であることが特徴です。最小の外形寸法で最大の生産性を実現するよう設計されており、生産量の増加に伴う使用可能なスペースへの制限という、ますます多くのニーズを解決します。 温度調節は比例変調方式で、温度均一性はプリセット値の±0.5%です。入口と中央ゾーンは熱電対で、出口ゾーンは光学式パイロメーターでチェックします。加熱室天井に設置されたバーナーとトラック上の炎による直接加熱。耐火物上ではなく、鋼鉄の棒の上に軌道を設置します。これにより、軌道上の熱伝達がより均一になり、部品の酸化を抑え、黒鉛の特徴を維持し（使用した場合）、軌道の曲がりが少なく長持ちし、加熱室の炉の清掃が容易になります。 ...

... 炉当社の炉は、顧客の能力とニーズに応じて完全に異なる制御可能な加熱ゾーンを持つ両方のプロセスのための便利なツールと設計で完全に自動化されています。 当社の装置は、直径100mm、150mm、200mm、300mmのウェハタイプ用です。 ATMOSPHERIC FURNACES Vegatecは、マイクロエレクトロニクス、ナノエレクトロニクス、太陽光発電の実験室および産業のためのすべての自動化システムを備えた大気炉を設計し、製造しています。 これらの炉は以下の通りです。 酸化炉（湿式酸化および乾式酸化） 拡散炉 ドーピング炉 大気炉の一般的な特徴 使いやすく、使いやすい設計 炉チャンバーのおかげでメンテナンスが容易で、高純度石英で作られたカンチレバータイプのサンプルホルダーは、 クラス10クリーンルームまで作業することができます 高品質のコンポーネントのおかげで長寿命 個別に制御可能な加熱ゾーン 自動化インタフェースの簡単な使用 異なるコンパクトな設計のための積み重ね可能な炉チューブ同時にプロセス 手動または自動ロード能力 各顧客の 研究室または産業規模に応じて容量 ...

温度: 400 °C - 1,100 °C

... 低圧拡散は現在、太陽電池の変換効率を効果的に向上させる有効な方法と考えられている。 低圧拡散は現在、太陽電池の変換効率を効果的に向上させる有効な方法と考えられている。低圧拡散/散乱酸化アニールは、拡散源の分子自由行程を改善し、拡散の深さと均一性の問題を解決します。大気圧拡散と比較すると、高い生産性、高い耐二乗性、プロセスの再現性、低いソース消費量、クリーンで環境に優しいなど、いくつかの重要な利点があります。本装置は主に結晶シリコン太陽電池製造におけるシリコンウェーハの拡散ドーピング及び酸化アニール工程に使用される。 主な特徴 熟成された大容量プロセス、ローディングとアンローディングシステム：バランスの取れた左右対称設計により、安定性が向上； 急速冷却炉：最新の特許技術により、炉体温度を要求温度まで迅速に降下させ、冷却速度を25%以上向上させ、炉管内の温度均一性を明らかに向上させます； 排ガスは高効率の水冷式コンデンサーで回収され、パイプ、バルブ、フィルター、ダイヤフラムポンプの安定した信頼性の高い運転と長いメンテナンス期間を確保します； 抗干渉源パイプラインの安定した設計により、環境要因の擾乱による平方抵抗の変動を低減する； 完全なアーキテクチャと卓越した性能を備えたMES/CCRMシステム。 ...