ターボ分子真空発生器

到達真空度 : 0.01 mbar
流量: 110 m³/h

シリーズは、ウェーハハンドリング、PVD、計測などのライトデューティー用途向けの低エネルギーのコンパクトドライポンプです。 チャンバーの高速排気と非常に低い電力使用 iXL600 (N) およびiXL1000 (N) ドライポンプは、ライトデューティー用途向けの最小で最も静かなポンプです。 iXL600MおよびiXL1000Mタイプは、プロセス強化され、絶縁体（酸化物）エッチングおよび他の同様のアプリケーション向けに特別設計されています。 ...

到達真空度 : 10, 9.5, 18 mbar
流量: 240, 300, 85, 400 l/s
出力: 160 W - 750 W

数十年にわたる経験に基づいて構築 ターボ分子ポンプは多段軸流タービンを備えており、高速回転ブレードによって排気側へのガス通過確率を高めることで圧縮を行います。ターボ分子ポンプは分子流条件に対して最適化されており、大気排出のための適切なサイズのバックポンプを必要とします。 nEXTは、窒素の排気速度55、85、240、300、400、730、925、および1250 l/sのポンプサイズを提供するターボ分子ポンプの最新の技術的進歩をすべて組み合わせるように設計されています。 これらのポンプは、エンドユーザーの保守性を高め、真にクラス最高の製品を提供します。 nEXTを選択する理由 ...

到達真空度 : 0.03, 0.01 mbar
流量: 20.4, 17 m³/h
出力: 90 W - 8,500 W

小型EMオイルシール型ロータリーベーンポンプは、静音性と蒸気処理能力を備えながら、高い到達真空度と高速排気速度を達成することで有名です。これらのポンプは、さまざまな科学、研究、および軽工業用途で業界標準となっており、ターボ分子ポンプのバックポンプとして理想的なパートナーです。 業界で実証された長期にわたる信頼性の高い性能とコンパクト設計により、これらのオイルシールポンプは独立型ユニットとなります。簡単な設置と運転、さらにE2M0.7、1.5、2.5には、必要に応じて全高を最小限に抑えることができる代替サイド吸気接続ポートがあります。ほとんどの単相バージョンには一体型IECコネクタが装備されており、大型ポンプにはローカル制御と主電源への容易な接続のためのオン/オフスイッチが装備されています。 特長と利点の概要 静かな運転：快適な作業環境を実現。 使い勝手の良さ：独立型ユニットのコンパクト設計。 信頼できる性能：長年にわたり、さまざまなラボおよび産業用途で実証済み。 ガスバラストバルブ：蒸気を排気する際に使用。 内蔵保護システム：モーターは密閉され、モーターフィンに沿って風を送るモーター冷却ファンによって冷却されます。過熱保護は、モーターに取り付けられた熱過負荷装置によって行われ、ポンプが熱くなりすぎると停止します。これは、モーターが冷却してポンプを再始動すると自動的にリセットされます。手動による介入は必要ありません。 ...

ダイアフラムポンプのDIVAC Tは、オイルを含まない真空を維持する必要があり、特に低い基本圧力を要求するすべてのアプリケーションで使用される補助ポンプです。DIVAC Tポンプは広範囲の高真空ターボ分子ポンプ用の補助ポンプとして特別に開発されました。

流量: 400 l/s - 440 l/s

統合駆動電子部品を備えた新しいエリコンライボルトバキューム製品ラインのTURBOVAC i/Ixは、ISO 100と160のフランジサイズで最良の排出性能を実現します。この製品ラインは、フレキシブルハウジングと電子オプション、および柔軟なアクセサリー範囲によって、最も簡単なポンプ統合、操作、および制御を可能にします。

機械的なロータサスペンションを使用するTURBOVACターボ分子真空ポンプは、10-1 mbar (0.75 x 10-1 Torr)～10-10 mbar (0.75 x 10-1 Torr).の範囲の圧力で使用されます。空気の排気速度は35 l/s～2400 l/sです。そのコンパクトな設計、最も信頼性が高いセラミックボールベアリングと操作の簡略さで、このラインのポンプはすべての高真空と超高真空用途の領域で使用されています。

流量: 365 l/s

磁気浮上式／周波数変換器内蔵 正確性、精度、および信頼性は、これらの磁気浮上ターボ分子ポンプの特徴です。より高速なポンプダウンタイムのための高排気速度とガススループットは装置のサイクル時間を改善します。変換器と電源が完全に統合されたことにより、従来のラック取付式コントローラと相互接続ケーブルは不要になります。

流量: 300 l/s

正確性、精度、および信頼性は、これらの磁気浮上ターボ分子ポンプの特徴です。より高速なポンプダウンタイムのための高排気速度とガススループットは装置のサイクル時間を改善します。変換器と電源が完全に統合されたことにより、従来のラック取付式コントローラと相互接続ケーブルは不要になります。

到達真空度 : 0.1 mbar
流量: 25 l/s - 3,600 l/s

... EVTシリーズ EVTシリーズは、市場で最も信頼性の高い高真空ポンプです。 Eurovacuum EVTシリーズターボ分子真空ポンプは錆びており、優れた究極の真空に到達し、操作が簡単です。 統合された制御または外部制御ユニット、オイルまたはグリース潤滑とセラミックベアリング、古典的なターボとして、またはドラッグステージで：彼らは、いくつかの異なる設計が利用可能です。 これらは、ISO-KまたはCFの入口フランジが付属するように選択することができます。 動作原理 EVTシリーズターボ分子ポンプは、複数のステージを採用しており、各ステージは高速回転回転ロータブレードと固定ステータブレードペアで構成されています。 ...

... TURBO MOLECULAR ポンプシステムデスクトップYTP デスクトップ高真空ポンプステーションは、低騒音、低振動設計、セラミックボールベアリングターボ分子ポンプを特徴としています。シンプルで読みやすいタッチスクリーンコントロールで、使いやすい操作。デスクトップ上での使用環境への配慮 ・低騒音 動作中の走行騒音や振動が低減されます。 最高圧力で43dB（A）以下。 （ICFフランジタイプのULVAC 規格で測定） ・使いやすい 読みやすいタッチパネルディスプレイによる ...

... 350L/sから世界最大の6300L/s （デジタル磁気制御ベアリングタイプ）まで豊富なバリエーション。 背圧の変化に対する安定したポンプ性能（FHシリーズ） 回転子温度を制御 し、副産物の接着性を低減するオプションの内部加熱システム（FWシリーズ）。 優れた耐腐食性表面処理（3303FH および6300FHを除く）。 必要に応じて、オプションの特殊表面処理（例えば、ニッケルめっき + 陽イオン電析法、特殊堆積フィルム、アルマイト陽極酸化）が利用可能です。 ...

到達真空度 : 0.13 mbar
流量: 0.5 l/min

... ターボ MOLECULAR PUMP UTMシリーズ UTMシリーズは、ピボットベアリング（下側）と磁気ベアリング（上側）を搭載した全ブレードタイプのターボ分子ポンプです。 回転軸受の採用により、高速回転時の機械的接触が低減されます。 また、低い振動と高い圧縮比を実現しています。上部には磁気 ベアリングを採用し、下部にはピボットベアリングを採用し、 高速回転時の機械的接触を排除しています。 これにより、軸受の交換や油交換 が不要になり、軸受の寿命が延長されます。 ...