プラズマ真空ポンプ

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ターボ分子真空ポンプiXL

乾式一段プラズマ

ターボ分子真空ポンプ

iXL

到達真空度 : 0.01 mbar
流量: 110 m³/h

シリーズは、ウェーハハンドリング、PVD、計測などのライトデューティー用途向けの低エネルギーのコンパクトドライポンプです。チャンバーの高速排気と非常に低い電力使用 iXL600 (N) およびiXL1000 (N) ドライポンプは、ライトデューティー用途向けの最小で最も静かなポンプです。 iXL600MおよびiXL1000Mタイプは、プロセス強化され、絶縁体（酸化物）エッチングおよび他の同様のアプリケーション向けに特別設計されています。 ...

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スクリュー真空ポンプCOBRA DS 0080 G

乾式水プラズマ

スクリュー真空ポンプ

COBRA DS 0080 G

到達真空度 : 0.03 mbar
流量: 85, 70 m³/h
出力: 4, 2.6, 4.4, 3.2 kW

厳しい要件のプロセス向けの新世代ドライ真空ポンプ高い性能高度なスクリュー設計、優れた運転品質、CVD、ラピッドサーマルプロセス、ALDに最適高効率性所有コストの低さ、最小限のメンテナンス、長いサービス間隔、優れたアップタイム、効率的な間接水冷方式、優れた水素処理能力コンパクト設置場所を選ばない設計、直結のキャンドモーター

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スクリュー真空ポンプCOBRA DS 0160 G

乾式水プラズマ

スクリュー真空ポンプ

COBRA DS 0160 G

到達真空度 : 0.03 mbar
流量: 160, 140 m³/h
出力: 6.6, 5.2, 5.5, 4.3 kW

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スクリュー真空ポンプCOBRA DS 0600 E

乾式水プラズマ

スクリュー真空ポンプ

COBRA DS 0600 E

到達真空度 : 0.01 mbar
流量: 600 m³/h
出力: 15, 9 kW

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スクリュー真空ポンプMS

乾式一段ガス

スクリュー真空ポンプ

到達真空度 : 0.6 Pa
流量: 4 l/min
出力: 2.4 kW

... ドライ真空ポンプ MS シリーズ MSシリーズは、スクリュー式ドライ真空ポンプに分類される真空ポンプです。従来のLSシリーズをベースに耐腐食性、粉体排気性を向上させたプロセス耐性モデルです。腐食性ガスの使用や粉体排気の工程を想定したモデルです。特長ローターシャフト、シリンダー等の主要部品に特殊コーティングを施し、耐腐食性を向上。アルバック独自設計のローターシャフトを採用し、粉体排気性能に優れています。大気圧付近での連続圧送が可能。特徴・用途半導体・電子デバイス製造装置用真空システムエッチング、アッシング、プラズマ洗浄など炉用真空システム焼結、浸炭などリチウムイオン電池製造装置用真空システム電極乾燥、脱ガス、真空封入など医療・食品用真空システム凍結乾燥、真空乾燥など ...

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