高真空用バルブ

圧力: 0 Pa
温度: 5 °C - 150 °C
流量: 5 l/s - 200 l/s

... 高真空アングルバルブXLシリーズは、優れた熱伝導性によりバルブ本体全体の温度が均一化され、バルブ内部のガス凝縮が著しく低減されます。Ni（ニッケル）、Cr（クロム）などの重金属を含まず、スパッタリング歩留まりが低いため、半導体ウェハーへの重金属汚染を最小限に抑えることができます。 ...

呼び径: 16 mm - 160 mm
圧力: 300,000 Pa - 600,000 Pa
温度: 5 °C - 150 °C

アルミニウム製高真空L型バルブ XLA/C/F/G ・アルミボディ採用 　均一なベーキング温度 　軽量・コンパクト 　アウトガスが少ない 　重金属汚染が少ない ・ベローズ交換が可能

呼び径: 200 mm - 1,000 mm
圧力: 10 bar - 16 bar
温度: 0 °C - 200 °C

... Metso Mapag BOシリーズバタフライバルブは、真空圧力スイング吸着プラント（VPSA）用に設計されています。 これは、ウェーハタイプ、ソフトシート、高性能、単一の偏心ディスクバルブです。 このバルブは、高速サイクルで最大限の耐久性を提供します。 さらに、優れた流量特性と大容量で長持ちするタイトなシャットオフを提供し、最大 200 万サイクルでも内部気密性を維持します。 ...

温度: 5 °C - 150 °C

... XLA-2シリーズは、高真空とプロセスガスを使用する産業用アプリケーションで使用される高真空アングルバルブです。 このアングルバルブは、半導体、太陽電池、その他の電子機器、食品、製薬などの産業でよく使用されます。 XLA-2バルブは単動式で、通常は閉じており、シャフトとスプリングの上にベローズシールが付いています。 パイロットポートに圧力がかかると弁が開きます。 ベローズシールは交換可能で、メンテナンスコストと廃棄物を削減できます。 バルブ本体は硬質陽極酸化処理されたA6063アルミニウムで、バルブとベローズは304ステンレス鋼です。 ...

呼び径: 50, 100, 63, 80, 160 mm
圧力: 4 bar - 7 bar
温度: 150, 100, 50, 60 °C

呼び径: 2 in - 8 in
圧力: 0 Torr - 20 Torr
温度: 200, 150 °C

... Htc 真空は、台湾と中国の主要な手動操作ゲートバルブサプライヤーとメーカーです。 真空ゲートバルブアセンブリは、アクチュエータ、キャリッジ/ゲート、バルブボディの3つの主要コンポーネントで構成されています。 Htc 真空は、HVシリーズとUHVシリーズの2つのシリーズを持つゲートバルブを提供します。 HVシリーズバルブは回転式、リニアトラベルゲートバルブです。 ゲートキャリッジは、一連の車輪の上でバルブ本体を移動し、手動または空気式バルブステムによって前後に移動します。 ...

呼び径: 160 mm
圧力: 4 bar - 6 bar
温度: -30 °C - 150 °C

... GDQ pneumatichigh vacuum angle valveは、真空の気流をオンまたはオフにするために制御される電空弁で、適用メディアは空気と非腐食性のガスです。 GDQ-Jはアングルタイプ、GDQ-Sはティータイプで、ISO-KFまたはフランジ端のプレポンプポート内に設置します。 お客様のご要望により、ストレートタイプ（GDQ-Z）、通常空気圧シリンダーは電磁弁で流れ方向を制御するように設計することができます; リードスイッチのような信号フィードバックデバイスはオプションデバイスです。 ...

... D671X-10P/Rは、ステンレス製のボディを持つ空気圧式真空バタフライバルブで、2～10barの圧力レベルを提供します。単動式と複動式から選択でき、周囲温度 10°C ～ +60°Cで作動するように設計されています。 ...