回転式フィードスルー端子

... エラストマーシールされたロータリー/リニアフィードスルー マニピュレータや機械式フィードスルーを使用して、粗動から高精度まで真空中の動きを可能にしています。 ...

... 高真空下での回転運動を提供するように設計されたこれらの強磁性流体シールされたフィードスルーは、ConFlat® 互換（CF）取り付けフランジを備えています。 1 x 10-11 std cc/秒のヘリウムフローを検出できる通常のヘリウムリーク検出器は、静的および動的テストの下でCFマウントの漏れを検出しません。 当社のCFフランジ付きロータリーモーションフィードスルーは、10-6トルレンジで日常的に動作し、適切に準備および取り付けられると、ConFlat 互換（CF）取り付けフランジを使用して10-10 ...

... これらの強磁性流体シールドロータリドライブは、チャンバポートが真空壁を通る穴を取り囲むOリングを取り付けるのに適した平らで研磨された外面を有する高真空アプリケーション向けに設計されています。 各フィードスルーには、フランジにフルオロカーボンOリングが取り付けられています。 これらのフランジは、標準的な真空産業フランジシステムには対応していませんが、寸法テーブルは、チャンバとの合致に必要な情報を提供します。 あるいは、アダプタスプールピースを供給して、任意のフィードスルーを真空フランジに合致させることもできます。 ...

... これらの強流体ロータリーフィードスルーは、冷却、電力、または計装の供給を必要とする部品の回転部品を含むプロセス開発アプリケーションに特に有用です。 このフィードスルーグループのほとんどのモデルは、O リング溝付き ANSI/ASA 互換フランジを備えています (代替フランジ設計は以下の寸法で示されています)。 Deublin 水ユニオンは外部水の接続を可能にし、給水チューブはフィードスルーに沿って回転することに注意してください。 強力流体フィードスルー機能 動的な部品の周りにOリングシールの代わりに特殊な磁性流体（強力流体）を使用して 液体 ...