タングステンスパッタリングターゲット

... 熱間プレス、熱間等方圧プレス（HIP）、冷間等方圧プレス（CIP）、誘導真空溶解、真空鋳造など、さまざまな特殊加工技術を駆使して、厳しい用途規格に適合する均質で微細な高密度材料を製造しています。 すべてのスパッタリングターゲットは、洗浄、検査、化学的テストが行われ、お客様の真空システムですぐに使用できるように不活性ガス下で梱包されます。 オングストロームサイエンスは、貴金属、純金属、合金、セラミック、サーメット、ホウ化物、酸化物、炭化物、窒化物、珪化物、フッ化物など、あらゆるスパッタリングターゲット材を提供しています。 純度は商用グレード（99.5%）から超高純度（99.9999%）まで取り揃えています。 ...

... オングストロームサイエンスは、全金属シール、セラミック絶縁体、脱着可能なマグネットアレイを特徴とする "ONYX- UHV "を含む、UHVマグネトロン設計のフルラインを提供しています。完全溶接構造により、450℃までのベークアウトが可能です。ONYX- UHV "サーキュラーは、1″ (25mm) から16″ (400mm) までのターゲット径に対応し、標準的なONYX高真空カソードに見られるすべてのアクセサリー、マグネットセット、機能と互換性があります。ONYX-UHVリニアカソードは、カスタムターゲットサイズにも対応しており、どのようなアプリケーション要件にも対応します。また、「ONYX- ...

... タングステンスパッタリングターゲット タングステン層は、TFT-LCDスクリーンに使用される薄膜トランジスタの構成要素です。タングステン層は、大画面、特に高精細な画像、最適化されたコントラストが必要な場合に使用されます。また、タングステンはマイクロエレクトロニクス産業において、拡散バリアや導電性コネクターとしても使用されています。 プランゼーは世界最大の耐火金属用熱間圧延機を使用して、地球上で最大のタングステンスパッタリングターゲットを製造することができます。大型フォーマットのメリットコーティングプロセスがより安定し、蒸着層がより高品質になります。 プランゼーのタングステンスパッタリングターゲットは特殊な成形工程により、ほぼ100％の密度を実現しています。その結果、特に高い導電性と優れたスパッタリング速度による時間短縮が、お客様のプロセスで実現します。 ...