平坦性測定器

... 真直度、平行度の測定に使用する。 構造 測定スタンドGL1は、天然石製の定盤や測定ビームなどの上面と外面をエアベアでガイドします。バキュームで事前にクランプすることで、測定作業に必要な硬いガイドが得られます。両ガイド面の平面度と長方形度は、0.005mm以内です。 摩耗や抵抗のない手動の動き。基準面が対応する精度で加工されていれば、最大1 µm / mの打ち出し精度が得られます。測定スタンドを外してクランプする場合は、エアベアリングのスイッチを切ります。操作には、事前にフィルタリングされた最低5バールの圧縮空気を供給するエアバキュームユニットが必要です。5バールの圧縮空気が必要です。 クロスアームと測定プローブの固定具は別々に調整できます。ダイヤルゲージや電子プローブ用の8mmの穴と固定具で微調整できます。 テクニカルデータ >コラムØ ...

... 精度が3um未満の場合、測定結果は補正なしの真の値です。 Z軸は自動的にフォーカスし、異なる厚さの製品に適応することができます。 測定能力 一日に20000錠以上の測定が可能です。 高速 すべての画像サイズを測定<ゼロ点3秒/個 特殊検査 平面度、高さ、厚さ、プロファイル 1.大理石の構造、安定性と信頼性。 2.台湾精密リニアガイドレールとパナソニックサーボモータ、クローズドループ制御、より良い精度で、研削レベルのボールねじ。 3.自動ズームレンズ、スケールの再選択なしで倍率を変更する。 4.ドイツハイデルベルググレーティングスケール、解像度0.0005ミリメートル。 5.大型倍率測定スクリーン。 7.良質の光学系および高リゾリューションのカメラは映像をより明確にさせます。 8.4つのリングと8つのゾーンLEDリング表面冷光源、輪郭光源と同軸光源、明るさ調整可能。 9.マウスとハンドル操作、シンプルで使いやすい。 10.自己開発した自動CNC測定システム、フレンドリーなインターフェースと強力な機能。 ...

... ウエハおよびガラス基板の薄膜応力（ウェーハ応力）を計算するためのソフトウェアモジュールを使用して、反り、弓、傾斜、表面曲率の非接触自動 2Dまたは3D 測定。 アプリケーション FLATSCANは、シリコンウェーハ、ミラー、X 線ミラー（ゴーベルミラー）、金属表面または研磨ポリマーなど、あらゆる種類の反射面の平坦度、うねり、平均半径、薄膜ストレスの非接触測定に役立ちます。 光学測定原理により高い精度が保証されます。 これは、一定のステップ幅の線に沿った垂直入射レーザビームの反射角の測定に基づいています。 ...

... Tropel® UltraFlatTM 200マスクシステムは、フォトマスク業界向けに特別に設計されています。 この製品は、常に締め付けられるマスク平坦性仕様の測定不確実性を最小にします。 デバイスの収縮機能には、平坦なウェーハだけでなく、平坦なマスクが必要です。 UltraFlatTMシステムは、基板研磨、フィルム応力の分析のためのコーティングおよびパターン化、検証など、製造および使用のすべての段階におけるフォトブランクおよびフォトマスクの平坦度を測定するために使用されます。 ...

... 5〜9個の固定センサーと4台の産業用カメラで構成された測定システムが、タイルの変形や寸法の欠陥を検出し、自動的にグレードをマークして、品質統計レポートを作成します。 ...