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Z軸ポジショニングステージ
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ストローク: 50 mm - 1,500 mm
速度: 500 mm/s
繰返し精度: 0.02 mm
... ボールねじモジュール、ベルト駆動リニアガイド、位置決めステージ、直交ロボット用モーションコントローラ。CE、FCC、RoHS、ISO9001認証取得。 多種多様な即出荷可能製品 10個からの数量割引 カスタムOEMソリューション プログラミングサービス OEMまたはカスタムデザイン、プロジェクトについてご相談ください。 1.ベルト駆動かボールねじ駆動か? 2.どのくらいのストロークが必要ですか?X=?Y=?Z=? 3.負荷容量と速度範囲は? 4.モーションコントローラ、ドライバ、電源は必要ですか? ...
FUYU Technology
ストローク: 50 mm - 1,500 mm
速度: 350 mm/s - 500 mm/s
... 技術的特徴 FSL120リニアモジュール、完全密閉構造、本体幅120mm、2つのガイドと4つのスライダ、高精度、複数セグメントの繰り返し位置決め、コンパクトな構造、強い汎用性、特殊な環境での使用に適しています。 適用範囲 単軸、多軸と組み合わせて使用することができます。様々な業界で要求されるワークとのマッチングが容易で、シンプルで実用的なメカニカルアームとなります。主に、フィルム、減価償却、IC印刷、CCDオンライン検査、はんだ付け自動化装置の精密位置検出、レーザープラス(レーザー切断/レーザーマーキング/レーザー彫刻/レーザー穴あけなど)の精密組立、精密工作機械、半導体製造装置、位置検出、電子機器製造装置、3D印刷装置などの電子機器や医療機器などの特殊分野や、防塵作業場で使用されています。 シリーズFSL120 ストローク範囲50mm-1500mm 位置精度:0.02mm 最高速度:500mm/s 最大荷重:100kg ボールねじ。G1610/G2020 ...
FUYU Technology
ストローク: 50 mm - 1,000 mm
速度: 40 mm/s - 255 mm/s
... シリーズFSK40 ストローク範囲50mm~1000mm 位置の正確さ: 0.03mm 最高速度: 255mm/s 最大負荷: 25キロ ボールねじ:G1204/G1605/G1610 ボールねじモジュール、ベルト駆動リニアガイド、位置決めステージ、直交ロボット用モーションコントローラ。CE、FCC、RoHS、ISO9001認証。 多種多様な即出荷可能製品 10個からの数量割引 カスタムOEMソリューション 付加価値サービス 新しいソース、新しい価格、新しいチャンス。 FUYU ...
FUYU Technology
ストローク: 10 mm
速度: 500, 50 mm/s
繰返し精度: 0.3 mm
... 直進性と平坦性に優れた昇降ステージ 垂直ステージのプラットフォーム設計により、優れた直進性と平坦性を実現し、片持ち梁荷重によりピッチとヨーの性能が向上します。 片持ち梁荷重が支持リニアベアリングのたわみを引き起こす可能性がある垂直マウントのリニア位置決めステージと比較して、より優れたピッチとヨーの性能を提供します。 片持ち梁荷重が支持リニアベアリングのたわみの原因となる垂直取り付けリニア位置決めステージに比べ、ピッチとヨーの性能が向上します。 ボイスサーボモーターによる高分解能リニアモーションE-ABVT-Zは、ボイスコイルモーターで内部駆動され、エアフローティング搬送レールを装備しています。 エアフローティングトランスファーレール(クロスボールガイドレールも使用可能)を装備し、ループを閉じるために高分解能グレーティングを使用しています。 高性能ドライバーを搭載し、位置決めステージの最小変位と繰り返し精度を確保。 位置決めステージの最小変位と再現性を保証する高性能ドライバーを装備しています。 コンピュータ制御、ソフトウェア、プログラミング ...
NATSU PRECISION TRADE LIMITED
ストローク: 20, 200 mm
速度: 500, 30 mm/s
繰返し精度: 0.3 µm
... 直進性と平坦性に優れた昇降ステージ 垂直ステージのプラットフォーム設計により、優れた直進性と平坦性を実現し、片持ち梁荷重によりピッチとヨーの性能が向上します。 片持ち梁荷重が支持リニアベアリングのたわみを引き起こす可能性がある垂直マウントのリニア位置決めステージと比較して、より優れたピッチとヨーの性能を提供します。 片持ち梁荷重が支持リニアベアリングのたわみの原因となる垂直取り付けリニア位置決めステージと比較して、ピッチとヨーの性能が向上します。 ボイスサーボモーターによる高分解能リニアモーションE-ABVT-Zは、ボイスコイルモーターで内部駆動され、エアフローティング搬送レールを装備しています。 エアフローティングトランスファーレール(クロスボールガイドレールも使用可能)を装備し、ループを閉じるために高分解能グレーティングを使用しています。 高性能ドライバーを搭載し、位置決めステージの最小変位と繰り返し精度を確保。 位置決めステージの最小変位と再現性を保証する高性能ドライバーを装備しています。 コンピュータ制御、ソフトウェア、プログラミング ...
NATSU PRECISION TRADE LIMITED
速度: 50, 100, 20, 300 mm/s
繰返し精度: 300, 20, 100, 2, 200 nm
積載量: 8, 10 kg
... iniSCANシリーズ MiniSCANシリーズは弊社が最近発売した高精度デスクトップ型スキャンシステムです。機械全体は安定性に優れた大理石ベースを採用し、高精度のXY軸とZ軸モーションステージを搭載し、光路設置と照明を予約しています。機構は非常に迅速に顧客の要求を満たす様々なアプリケーションに組み合わせることができます。現在、半導体ウエハースキャニング、生物検出、干渉計測定などの高精度アプリケーションで大きな成功を収めています。MiniSCANシリーズの主な特徴 ...
NATSU PRECISION TRADE LIMITED
ストローク: 1 mm - 16 mm
... - 産業用、研究開発用のアプリケーションに - 光学部品、精密工作物、その他のテストオブジェクトの正確な位置決めと調整用 技術データ - 最大耐荷重50 N - トラベルレンジ16mm - 分解能0.1μm メリット - 多軸位置決めシステムのための複数のエレメントを組み合わせるオプション - 異なる環境条件(例えば真空など)への適応性 - ドライブを個別に選択可能 - ボアホールのカスタマイズが可能です。 - 非磁性体設計も可能 - オプションで、頑丈なスチール製や軽量なアルミニウム製もあります。 - ...
ストローク: 1 mm - 8 mm
... - 産業用、研究開発用のアプリケーションに - 光学部品、精密工作物、その他のテストオブジェクトの正確な位置決めと調整用 技術データ - 角度誤差≦100°の場合 - 負荷容量200N - トラベルレンジ 8 mm - 分解能マイクロメートル10μm - 総サイズ(W×D) 120×100mm - 高さ73~81mm メリット - Z軸のリニアアジャスター - 高い再現性 - コンパクトなデザイン - イージーマウント付き - アルミニウム製で、スチール製に比べ40%軽量 - ...
ストローク: 5 mm
速度: 5 mm/s
繰返し精度: 200, 40 nm
... 交換可能なドライブユニットを備えた非常にコンパクトな高荷重ステージで、垂直移動範囲は5 mm、最大5 Nの可搬重量を扱えます。 CHS-3232-1D-5は、スマーアクトで最もコンパクトな高荷重ステージです。取り付け穴パターンにより、CLS32シリーズのリニアステージやSR-3211回転ステージに直接取り付けることができます。サービス時には、位置決めセットアップ中に、交換可能なドライブユニットをステージから取り外すことができます。交換可能なドライブユニットは、ステージの側面から簡単にアクセスできます。負荷方向に沿ったまっすぐな移動は、独立したガイドウェイによって保証されます。位置センサーの統合により、ダイレクトフィードバックとクローズドループオペレーションを提供します。作動式ウェッジを採用した機械設計により、高分解能が保証されます。CHS-3232-1D-5は、科学や産業における高可用性アプリケーションに適しています。ステージは5Nの可搬重量に対応するため、追加の定荷重スプリングを装備することができます。 メカニカル 自由度 ...
SmarAct GmbH
ストローク: 10 mm
速度: 2 mm/s
繰返し精度: 40, 200 nm
... 交換可能なドライブユニットを装備した高荷重ステージは、10mmの垂直移動量を提供し、最大10Nの可搬重量を扱うことができます。 この高荷重ステージは、科学および産業における高可用性アプリケーションに適しています。スマーアクトの交換可能なドライブユニットを搭載しており、点検の際にピエゾドライブ全体をステージから取り外すことができます。ドライブユニットにはステージの側面からアクセスできるため、メンテナンス時に装置を位置決めセットアップから取り外す必要はありません。機械的な設計は、ステージの動きの最高の分解能を保証する作動ウェッジに基づいています。独立したガイドウェイにより、負荷方向に沿った直線的な移動が保証され、直接位置フィードバックとクローズドループ動作のための位置センサーの統合が可能です。CLS52シリーズやSR-5014のリニアステージに簡単にネジ止めできる取付穴パターンを備えています。オプションで、最大10Nまでの荷重に対応する定荷重スプリングを追加することができます。 メカニカル 最大リフト力 ...
SmarAct GmbH
ストローク: 1 mm
速度: 1 mm/s
繰返し精度: 200, 40 nm
... ナノメートルの精度で1mmの移動範囲で80Nを持ち上げることができる高荷重垂直ステージ。 SHLシリーズのリニアステージは、特に高荷重を扱うように設計されています。機械的設計は、ステージ動作の最高分解能を保証する作動ウェッジに基づいています。独立したガイドウェイにより、負荷方向に沿った直線移動が保証され、直接位置フィードバックと閉ループ動作のための位置センサーの統合が可能です。コンポーネントや機器を持ち上げるための純粋な垂直動作を目的としたステージには、積載量をさらに高い値までオフセットするための追加定力スプリングを装備することができます。 を追加することができます。したがって、数ミリメートルにわたって最大10キログラムを持ち上げることができるナノエンコードステージや、3次元すべてで高い阻止力を提供するSHLシリーズのリニアステージをベースにした多軸システムも可能です。 高可搬質量を提供しながらも、SlarAct ...
SmarAct GmbH
ストローク: 0 mm - 300 mm
積載量: 3, 7, 12, 20 kg
... 手動リフティングテーブル リードスクリューによる駆動 2本のロッドによるガイド オプション ハンドホイールまたはグリップノブ 位置決めインジケーター 位置決めクランプ XYまたはXYZテーブルでの組み立て リフティングテーブルの特徴 これらのテーブルは、補強されたソールにより、垂直またはオフセットアプリケーション(可動ボディを使用)用に、片側だけで固定することができます。このため、設置が簡単です:プレートに直接、または他のテーブルの本体に直接、固定するための垂直構造を構築する必要がありません。 固定式では、端部(端部フランジ)に荷重を固定することも可能です。このフランジにガイドロッドが埋め込まれているため、かさばる荷重(例:ラベルプリンター)の場合でも信頼性が保証されます。 実際、下の写真にあるアセンブリは、コンベア上のラベルプリンターの高さ・幅調整アプリケーションに対応しています。プリンターは水平テーブルの端に取り付けられ、垂直テーブルのベースはコンベヤーの側面に取り付けられています。 XYクロステーブルの場合、オプション308922 ...
ストローク: 62 mm - 222 mm
... ラボジャッキは、安定したスムーズな高さ調整と高い耐荷重を提供します。操作は非常に簡単です。その信頼性から、様々な光学部品、アセンブリ、レーザーの高さ設定に最適なジャッキです。 ...
Daheng New Epoch Technology,Inc(CDHC)
ストローク: 13, 25 mm
... GCM-Vシリーズ製品は、Daheng Opticsが発売した新しい精密サイドドライブ垂直ステージです。アルミニウム合金製です。ガイドにはクロスローラベアリングを採用し、ステージの精度と耐荷重を向上させました。移動量は13mmと25mmです。 ...
Daheng New Epoch Technology,Inc(CDHC)
ストローク: 10 mm
... 本シリーズは、テーブルの中心に沿って移動する垂直DeepL並進用に大亨光学が提供する製品です。材質はアルミニウム合金です。ガイド形式はクロスローラベアリングで、ステージの精度と耐荷重を向上させます。移動量は10mmで、プラットフォームの大きさは45X45mmです。 ...
Daheng New Epoch Technology,Inc(CDHC)
... 傾斜回転テーブル Colibrì コリブリ回転傾斜テーブルは、眼鏡製造における5軸加工のニーズに応えるために専用のNC装置を用いて設計されました。このテーブルの最大の特徴は、ダイレクト・ドライブ軸の高い運動性能と、軽合金製の非常にコンパクトなサイズです。テーブルの総重量は20Kg以下です。 ...
... 製品概要 2 軸テーブルTLT-210 SMARTは、小/中型縦型フライス加工センタで4 軸と5 軸を実現するためのアクセサリとして設計されています。 アプリケーション TLT-210 SMARTのタイプは、プリズム加工(3 + 2)と、完全な5 軸加工経路を持つより複雑な表面の両方を実現するために、空間内のワークピースを配向する複雑な部品を製造することができます。 可能なアプリケーションの中で我々は言及することができます: • 一般力学 • 医療 ...
ストローク: 100 mm - 200 mm
速度: 0 m/s - 0.1 m/s
... Zaberの新しいクローズドループリニアステージであるX-LRM-DEは、熱安定性と優れた剛性を提供する硬化スチール構造と再循環ボールベアリングガイドを備えています。 内蔵リニアエンコーダは、デバイスの全走行時に高精度な位置決めを提供します(200 mm 以上 15 µm 精度)。 これらのステージは、カンチレバー荷重下で優れた安定性が求められる多軸構成やアプリケーションに最適です。 ZaberのすべてのXシリーズ製品と同様に、X-LRM-DEはデータとパワーをデイジーチェーン接続できます。 ...
ストローク: 50 mm - 305 mm
... ZaberのASRシリーズ顕微鏡ステージは、直立および反転顕微鏡で見られる手動ステージに代わる優れた代替品です。また、スタンドアロンのスキャニングステージ操作も可能です。 非常に薄い形状とコンパクトな設計を特長としており、様々なスキャンシステムへのシンプルで簡単な統合が可能で、標準的な顕微鏡プラットフォームの改造も可能です。 クロスローラーベアリングと硬化ステンレススチールレールがステージの動きを制御し、スムーズな操作を可能にし、耐用年数と剛性の向上を実現します。 ...
ストローク: 46 mm - 286 mm
速度: 9 m/s
繰返し精度: 5 µm
... MLZ2 リニアモータステージ:オートメーション用電気機械式アクチュエータ 軽負荷に対応する垂直配向軸。このリニアモータモジュールは、コンパクトで精度と効率が要求される操作に最適なソリューションです。 このリニアモータステージの情報 このリニア軸の能力 測定システムの繰り返し精度:± 1 μm 最大加速度:203 m/s2 ...
ストローク: 38 mm - 518 mm
速度: 9 m/s
繰返し精度: 5 µm
... MLZ5 リニアモータステージ:オートメーション用電気機械式アクチュエータ 縦型リニアモジュールは、特に重量処理と動作ダイナミクスの面で高い性能を提供するように設計されています。このモジュールは、俊敏で効率的な動的応答を維持しながら、大きな負荷をサポートする能力で際立っています。 このリニアモータステージの情報 このリニアモーターステージの能力 測定システムの繰り返し精度:± 0.5 μm 最大加速度190 m/s2 ジョイントなしの最大長824 mm ...
速度: 1 m/s
繰返し精度: 10 µm
... 垂直Zリニアモータステージによる特別プロジェクト 垂直Zリニアモータステージによるこのプロジェクトの製品情報 リニアモータステージ ボールベアリングガイド付き3軸システム(1xXと2xZ): 基本構造アルミニウム ピークフォースX軸:800N、Z軸:480N 繰り返し精度測定システム: ± 1 μm 最大加速度: 80 m/s2 ...
ストローク: 12.7 cm - 38.1 cm
繰返し精度: 4 µm
積載量: 18.1 kg
... サイドノブ・バイスライドは、ファインピッチのリードスクリューに接続された直角タイミングベルトドライブを使用して、効果的な回転運動と直線運動を実現します。この動きにより、スライドはペイロードを上下にスムーズかつ正確に所定の位置に移動させることができます。 アルマイト処理されたハードコート、アルミニウム製のアリ溝と滑らかな動きのPTFEベアリングで構成されたBiSlide Assembliesは、より高い剛性を提供し、より長い寿命とより正確な動きを実現します。手動で操作するサイドノブアセンブリのピーク荷重は40ポンド(18.1 ...
ストローク: 6 mm - 13 mm
Zolix Instruments CO.,LTD
ストローク: 16 mm
速度: 8.3 mm/s
... - 真空:HV / UHV / EUVの全レンジで10-11 mbarまで対応 - 潤滑油:最大10-8 / ドライ:最大10-11mbar - 最高温度ベークアウト温度120°C - クリーンルームクラス4 ISO 14644-1(ご要望に応じてクラス1まで対応可能) - 磁気式も可能 オプションで設定可能 - アパーチャー付きまたはなし - さまざまな移動量 - 測定システム付き、または測定システムなしのオプション - クリーンルーム ISO 14644-1 ...
Steinmeyer Mechatronik GmbH
繰返し精度: 1 µm
積載量: 4 kg
... エアベアリング付きPIglideミニチュアリニアステージは、リニアモータードライブ、プリロードエアベアリング、光学式リニアエンコーダを内蔵しています。このステージは、小さな設置面積で非常に高い精度を提供します。非接触コンポーネントの組み合わせにより、摩擦のないモーションを実現し、卓越した動的性能、ナノメートル精度の位置決め、非常に長い寿命を提供します。 XYZシステムをセットアップするために、A-143にはブレーキとカウンターバランスを含む垂直取り付けオプションが用意されています。 アクセサリーとオプション PIglideフィルターおよびエアプレパレーションキット 単軸および多軸モーションコントローラー 垂直取り付け用ブレーキと空気圧カウンターバランス付きモデル 応用分野 このステージは、計測、検査、ファイバー位置決め、光学位置決め、スキャニング、パターン形成など、多くの高精度で非常に動的なアプリケーションに最適です。潤滑不要の非接触設計と、しっかりと固定されたケーブルにより、リニアステージはクリーンルームや医療技術アプリケーションに最適です。 ...
Physik Instrumente
ストローク: 2 mm
積載量: 4.5 kg
... -各軸粗動2mm -4.5kgの負荷容量 -最小円弧変位 -直交アライメント溝 -エリオット・サイエンティフィック社製アジャスターを任意に組み合わせて使用可能 -超安定な特許取得済み†設計XYZ屈曲ステージ MDE330フレクスチャーステージはアジャスターなしで供給されるため、ユーザーは個々の性能とコスト要件に合わせて各軸に異なるタイプのアジャスターを選択して取り付けることができます。たとえば、手動アジャスター1個とピエゾアジャスター2個、または高精度アジャスター2個とピエゾアジャスター1個などです。MDE330は、すべてのエリオット・サイエンティフィック社製アジャスターと互換性があります。 エリオットゴールド™ ...
ストローク: 160, 35, 110, 60 mm
速度: 145, 200 mm/s
繰返し精度: 75 nm
... ANT130LZSステージは、超薄型の垂直運動性能の最高峰です。 極めて低い摩擦特性を持つデュアルサイドマウント空気圧式カウンターバランスを特徴とし、精度、再現性、スピード、信頼性を見事に兼ね備えています。ANT130LZSステージは、印象的な動的性能と十分な負荷容量により、コンパクトなフォームファクターで優れた垂直運動が必要な場合に理想的な選択です。 -強化された第二世代設計 -最小1nmのインクリメンタルモーションを実現 - NEW -ナノメートルレベルの位置決め性能を最大160 ...
Aerotech/エアロテック
ストローク: 12 mm
... -可動範囲 12 mm -産業用として設計されています。 -マイクロメートルで せいじょう -可動範囲 12 mm -産業用として設計されています。 -マイクロメーターまたはディファレンシャルマイクロメーターを使用します。 -プリロード式転がり軸受 -ローハイト -変形しにくいアルミニウム -反射防止加工、黒アルマイト のせかた -取付板付き光学テーブル上 MP 120M -オンポジショナー 手動昇降式ステージHV 60Nは、コンパクトな設計と幅広い用途に対応できることが特徴です。研究開発から産業用まで、幅広い用途に対応します。 マイクロメートルまたは差動マイクロメートルによる調整により、非常に繊細で正確な位置決めが可能です。プリロードされた転動体ガイドは、ほぼバックラッシュのない動きと高い負荷能力を提供します。 HV ...
OWIS GmbH
ストローク: 44.5, 76 mm
... 高荷重ラボジャッキは、3つの直交ヒンジを採用した革新的なデザインで、高さが増すにつれて安定したボックス型になるよう設計されています。 -クリープのない高負荷容量のラボジャック -独自の直交ヒンジにより、ぐらつき、傾き、ねじれを最小限に抑えます。 -3-mradの平行度 -非常にスムーズなジャッキ調整 -1/4-20およびM6ねじ込み式取り付け穴 従来のシザーズジャッキやデュアルパンタグラフジャッキは、交差する部材の間隔を狭めて持ち上げるため、高所での安定性が本質的に劣ります。これに対してニューポートは、直交する3つのヒンジが直線的にボックスを形成し、高さが増すほど安定する画期的な設計を採用しました。高さ調節は、サイドのヒンジのピボットピンをつなぐ頑丈なドライブスクリューで行います。エンドヒンジは、傾きや揺れを防ぎ、垂直方向の動きだけを確保します。 281は、調整ノブを48回転させることで、上下方向に3インチ調整することができます。モデル271は感度が低く、調整範囲も小さくなっています。 メートルねじとインペリアルねじを含む 271と281のラボジャッキは、英米式とメートル式の両方に対応しています。トッププレートには1/4-20のタップ穴が1インチ間隔で、ボトムプレートにはM6穴が25mm間隔で並んでいます。トッププレートとボトムプレートの両方には、光学テーブルにラボジャックを取り付けるためのクリアランススロットが4つあります。 ...
MICRO-CONTROLE / Spectra-Physics
ストローク: 38 mm
速度: 0 m/s - 0.01 m/s
... 電動リニア軸は、前のXYステージをサポートするように適応可能です。 Z 軸電動ステージのFBレンジは、フレキシブルな電動単軸になるように設計されており、FB203との基本的な統合が可能です。また、オフセットベース(透過光のFB206)を備えたFB204またはFB205を備えたXYステージ用の簡単な取り付けスタンドを提供します。 FBレンジは、ほとんどのPriorコントローラから制御でき、Priorの標準 H122フォーカスモータと同じソフトウェアコマンドに応答できます。 ...
ストローク: max 100.0 µm
... 特性: 3 軸変換システムと2 軸傾斜システムの組み合わせ 直径 17mmの自由中心穴 各軸の統合プリロード変換: 各方向に最大 100μmチルト:± 2mrad ソリッドステートフレクチャーヒンジ機械式なし平行四辺形設計 再生 オプション: 統合された測定システム 光学ステージは、多くの場合、開放的な中央スペースを必要とします (例えば、光を通すため)。 このような用途のために、PENTORトランスレーションおよびチルトシステムは、17mmフリーセンタホールで開発されました。 ...
ストローク: 12 mm - 30 mm
ストローク: 10 mm
速度: 10 mm/s
... ステッピングモーター搭載の小型テーブルサイズステージ。テーブルサイズは25x25mm。大幅な小型化を必要とする生産・実験用途に最適です。 X軸、Z軸、回転、ゴニオメーターを装備しています。 高精度ステッピングモーターの採用により、精密な位置決めが可能です。 名称:小型電動シングルステージ 重量:0.2500kg ガイド - OptoSigma社の標準的なコントローラとケーブルに対応しています。 - コントローラに応じてD15RP-CAシリーズまたはMINI-CA-SGシリーズをお選びください。 注意事項 移動量:10mm 耐荷重:19.6N ...
ストローク: 10 mm - 120 mm
... 精密な垂直移動ステージと高荷重のラボジャッキ 1.主な特徴 - 30kgまでの高負荷容量 - 蝶ネジによるロック可能なデザイン - 経済的な価格で良好な性能を発揮 - 垂直方向の全範囲で滑らかな動きを実現 - 精密運動、高負荷容量、安定性に優れたクロスローラーベアリング Tシリーズは、マイクロメータヘッドで0.01mmの分解能を実現した精密垂直移動ステージです。これらの垂直ポジショナーは、お客様のアプリケーションのオプションを増やすのに適しています。モデルT125Z-20Bは、20 ...
MPositioning Co., Ltd.
ストローク: 400 mm
速度: 2 m/s
繰返し精度: 1 µm
... - 垂直アプリケーションに最適 - 内蔵保持ブレーキ - オプションの重量バランス LMS Vシリーズは、垂直アプリケーション(Z軸)および小から中程度の荷重の移動用に特別に設計されています。コンパクトで本質的に剛性の高い設計により、強制的な動力学でも永続的に高い位置決め精度を保証します。 オプションのウェイトバランシングと内蔵の保持ブレーキにより、動力モーターを使用することなく、目的の位置を確実に維持することができます。 LMS Vシリーズは、最適化された設計と幅広いオプションにより、様々な性能クラスと相まって、オートメーション技術、一般機械およびプラントエンジニアリング、半導体、電子機器および製薬産業におけるクリーンルームアプリケーション、ならびに印刷および繊維産業アプリケーション、搬送システムおよび包装機械におけるアプリケーションに、技術的にも経済的にも理想的です。 - ...
ストローク: 5 mm
速度: 10 mm/s
積載量: 10 kg
... エアベアリング式ZC軸EZ-0745は、XYステージ(EZ-0715など)への組み込みを想定しています。高度に統合された設計により、必要な全高は約138mmと低く抑えられています。回転角度は±3°に制限されています。1.5μradの高い繰り返し精度により、非常に精密な基板アライメントが可能です。Z軸は、2つのエアベアリングパッドにより回転に対して固定され、2つの対向するボイスコイルにより動的に駆動される。エアベアリングニューマチックシリンダーは、ウェイトデカップリングのために組み込まれています。Zストロークは、お客様独自の調整が可能です。 ...
速度: 10 mm/s
繰返し精度: 300 nm
積載量: 150 g
... 誘導型ピエゾ垂直ステージ 1.可動域は10mmの1種類。 2.最大荷重は150g 3.37 nmの代表的な分解能" DESCRIPTION 位置フィードバックのコアとして、誘導型センシングエレメントを採用しています。本シリーズは、実用的な位置決め分解能だけでなく、よりコンパクトなサイズ、より優れた耐環境性、競争力のある価格を実現しています。高精度な位置決めやマイクロ・ナノモーション制御、真空環境下での使用など、あらゆるアプリケーションに対応します。 誘導型ピエゾ垂直ステージは、1種類の移動範囲(10mm)を提供します。最大荷重は150gで、37nmの標準的な分解能があります。 ...
STAF
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サ-ビス改善のご協力お願いします:
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