平坦性測定システム
... Tropel® FlatMaster® は、精密部品メーカー向けに業界をリードする表面形状測定性能を提供します。 当社の非接触光学技術は、表面全体を数秒で記録します。 FlatMaster® は、5ナノメートルの分解能と50ナノメートル(2.0µインチ)の標準精度を提供します。 さまざまなサーフェスから平面度、ラインプロファイル、半径、その他のサーフェスパラメータを迅速かつ正確に測定します。 異なる部品サイズ範囲にわたって精度を最適化するために、FlatMaster® ...
... 100ミクロン以下の優れた平坦度が要求される表面では、XYテーブルを利用した光学式Z軸検査システムが市販されている。これらのシステムは、特に対象となる部品サイズが12インチ(300mm)を超える場合、高額な定価(30,000ドル以上)を伴います。 一般的に、研削後の製造では、表面は繰り返しよく定義されるため、100%の検査は必要ないかもしれない。完全な平面からの既知の最大偏差を強調するために空間的に配列された32点の多点平坦度検査プレートを適用することで、はるかに低コストで効果的なソリューションが可能になりますが、90%の空間的平坦度の結果が得られます。 ...
WarpMeterは、現在の製品の平面度をチェックするレーザーベースの測定システムです。事前に設定した希望通りの平面度が実現されるよう、すべての機械設定は自動的に適合されます。測定結果は、受注処理の中で高頻度にチェックし、オンライン管理するか、別の受注時にパラメータの最適化用として使用することができます。 用途 ELCorruMatic WarpMeterは、平面度を分析するレーザーベースの測定システムです。 アプリケーション WarpMeterは、段ボール生産プロセスの中のパラメータをお客様の指定に応じて管理および最適化する自動化ネットワークです。
... ロジテック平面度測定器GI20は、最大150mmφまでのラップ面やセミポリッシュ面の高精度な平面度測定が可能な装置です。従来のフィゾー干渉計とは異なり、非反射面の測定が可能なため、最終研磨前のラップ面や研磨面のチェックに最適です。 干渉計は本体前面のスクリーンに表示されます。また、HDMIポートを使ってパラレルディスプレイを作成したり、USBポートから画像をエクスポートして外部で分析することも可能です。干渉計の全機能は、タッチスクリーンパネルで操作できます。 微小角入射干渉計 標準的なフィゾー干渉計は、使用する波長にもよりますが、通常、約0.3μmのフリンジ間隔で動作します。このため、平坦度の測定は、モニターに十分なコントラストを与えることができる高反射率材料に限定されることが多くあります。また、フリンジ間の距離が短いため、「ビジー」な画像の解析に支障をきたすことも少なくありません。 ロジテック微小角入射干渉計は、レーザー光を試料表面から微小角入射で反射させることで、このような問題を解決します。この角度の光線により、反射する試料面でも反射しない試料面でもフリンジがモニターに表示されるようになります。また、127mm×150mm(5″×6″)の大きな開口部を持つため、最大150mm(6″)Øの試料を正確に評価することが可能です。 7インチスクリーンでは、フリンジ間隔を2μmに固定して表示することにより、迅速かつ正確な測定を「インプロセス」で行うことができ、最大300nm ...
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