スペクトル反射式厚さ計

測定範囲: 2 mm
測定精度: 4 µm
測定幅: 200 mm - 400 mm

thicknessGAUGE C.Cセンサシステムは、共焦点クロマティック変位センサを用いて厚さを測定します。極めて高い精度と測定率での測定を実現しており、革新的な測定技術により反射性表面や光沢のある表面の測定、または（半）透明な対象物の測定も可能となっています。 特徴 • - 使用されているセンサ技術：共焦点クロマティック変位センサ • - 厚さ測定範囲：2 mm • - 精度：±0.4 µm • - 測定レート：最大5 kHz • - 高反射性、光沢面の高分解能測定に最適 • ...

測定範囲: 10 nm - 50,000 nm
周囲温度: 18 °C - 45 °C

... 小型反射プローブを使用した反射分光式膜厚計で、ラボレベルから生産工程でのインライン100％検査まで、あらゆる場面で使用できるコンパクトな膜厚計です。メンテナンス性にも優れ、プロセス機器への組込みやライン管理にも活用できます。 最大9種類の透明フィルムの同時測定が可能です。 様々な多層フィルム工程のインラインモニターやエンドポイントモニターとして使用できます。 コンパクトなプローブは、プロセスツール内のわずかなスペースに設置することができます。また、EMA理論により、混合層の混合比やポリシリコンの結晶性を判定することが可能です。 ...

測定範囲: 300 mm

... 最大300mmまでのウェーハの全面に自動マッピング膜厚測定が可能なウェーハマッピングユニットです。オートアライメント機能、セルフキャリブレーション機能、高平坦度ウェーハチャックにより、信頼性の高い膜厚測定が可能です。本機は、小型膜厚計と組み合わせて使用します。 半導体製造装置のロードポートに設置し、クリーン度を保ちながら製造装置上の膜厚を管理することができます。 1 最大300mmウェーハの膜厚マッピング自動測定が可能です。 2 自動アライメント機能 3 自動キャリブレーション機能 4 ...

測定範囲: 11, 34, 13 mm

... イメージング膜厚計は、透明多層膜の膜厚分布を可視化できる計測ツールです。 分光反射率計を用いることで、0.1nmの膜厚分解能で膜厚分布を可視化することが可能です。 膜厚の均一性を可視化する 顕微鏡視野内の膜厚・膜質を測定し、3次元分布を表示します。 膜厚分解能 ： <0.1nm 分光測定器と同等の良好な膜厚分解能を実現。 波長は450nmから750nmまで、1nmの精度で選択可能です。 高速／最大9層までの多層膜測定が可能 分光反射率計による並列処理が可能。 高度なアプリケーション バンドパス干渉フィルターなどの数百層繰り返し膜、トレンチ構造などの複合多層膜など Effective ...

測定範囲: 950 nm - 1,650 nm

... 赤外線シート厚みモニターは、バッテリーセパレーターなどの透光性シート、ブラックレジストなどの低反射コーティング、シリコンの厚みを測定する装置です。ラボレベルから生産現場でのインライン100％検査まで、あらゆる用途に使用できます。赤外線吸収システムは、透過型光学系を備えた小型ミラープローブで構成されており、100以上の波長で膜厚、密度、組成などの複数のパラメータを同時に測定することができる。 1 光干渉式では難しかった半透明シート、低反射フィルム、シリコンなどの膜厚を測定可能 2 ...