薄膜貯蔵マシン

... 物理的気相成長法（PVD）は、ウェハ表面に導電性、半導体性、絶縁性の材料をコーティングする薄膜プロセスです。PVDには、スパッタリング、蒸着、イオンビーム蒸着といったさまざまな方式があります。KLAでは、スパッタリング技術に基づく製品を提供しています。スパッタリングプロセスでは、「ターゲット」がソース材料となり、プロセスチャンバー内のプラズマからイオンを浴びせます。ソース材料の原子はプラズマ中に放出またはスパッタリングされ、そこで反応が起こり（プロセスガスの混合に依存）、その後ウェーハ表面に凝縮します。SPTS ...

... AlO+SiN薄膜蒸着。 - 原子層蒸着プロセス、より良い膜の均一性。 - 同一プロセス装置または同一炉管で多層薄膜を蒸着し、プロセスステップとウェハー破損率を減らし、歩留まりを効果的に向上させる。 - 液体ソース前駆体の蒸気供給と前駆体の急速切り替え技術を独自に研究開発。 - 異なる前駆体や材料のパッシベーション層成膜に適しており、プロセス拡張のスペースが広い。 ...

最高の資本効率と設置面積の節約により最先端の性能を実現 VeecoのEPIK® 868は、LED業界で最高の性能を発揮するMOCVDシステムで、欠陥の少ない優れた均一性と再現性を実現します。4台リアクター構成で使用可能なEPIK 868は、独自のIsoFlange™やTruHeat™などの画期的なテクノロジーを特長としています。これらのテクノロジーにより、ウエハ キャリア全体で層状の流量と一様な温度プロファイルを実現できます。これらの技術革新により、miniLEDおよびmicroLEDに求められる歩留まりが向上します。EPIK ...

... LEYBOLD OPTICS ECS 1350は、ストックレンズAR、ミラーファッション、RXレンズの大量生産に対応し、大量一括生産と使い易さ、低所有コストを提供します。 ...

... ハードコーティング装置は、超高硬度の膜をめっきするために特別に開発された装置です。金型、工具、ナイフなどの産業に適しており、表面により耐摩耗性、耐腐食性のある膜を得ることができ、工具の使用性を向上させることができます。ナイフの耐用年数は3~10倍、金型の耐用年数は5~10倍になります。 ...

... 既存のMBRAUNグローブボックスへの組み込みが可能（控え室経由） - 50 x 50 mm ウェハーまでの基板に対応 - コンパクトなデザイン - 経済的なソリューション - 短納期 - 迅速かつ容易な設置 - 既存のグローブボックスへの簡単なレトロフィット - 有機EL/有機エレクトロニクス - OPV ...

... Infinity IBDシステムは、高密度・低欠陥の薄膜を極めて高い精度と均一性で実現します。また、イオンエネルギーの独立制御が可能なため、フレーキングによる汚染が極めて少なく、正確な薄膜スペックを実現することができます。 バイアスターゲットスパッタモジュールは、薄膜界面の制御に優れ、イオン電流とエネルギーの独立した制御が可能で、低圧で動作します。これにより、ビームのオーバースピルによる汚染や散乱を排除し、表面損傷を防ぎ、厳密な応力制御を可能にし、高密度で欠陥のない薄膜を形成することができます。 BTSモジュールは、ターゲット全体のサイズを小さくすることができるターゲット使用率の向上により、所有コストを改善します。システム設計により、大型基板上でも回転することなく優れた均一性を実現します。このモジュールは、他のIBDプラットフォームと比較して、パルススパッタリングと高い成膜レートを提供します。 これらのユニークな機能と利点はすべて、デントンの長期的なパートナーシップとサービスへのコミットメントに支えられています。デントンのエキスパートが、お客様のニーズや仕様に合わせた信頼性の高い構成を提案し、高いシステム稼働率と容易なメンテナンスを実現します。 酸化バナジウムマイクロボロメータ 精密光学部品（レーザー、赤外線検出器） VCSEL反射防止膜 高効率太陽電池 磁気記録用スピンバルブ フォーカルプレーンアレイ サーマルイメージング レーザーバーファセット ...

... ラボ試験や小片の工業生産に最適です。 多層構成へのアップグレードが可能な汎用性の高い装置 以下のような用途に最適です。 中小型コンポーネント（例：電子機器、医療機器など） 最大φ200mm（8インチ）までのウェハーに対応。 外形寸法（長さ×幅×高さ） - 2100×1370×2000mm 重量 - 350kg チャンバーサイズ - φ295 x 370 mm ツールサイズ - ∅ 260 x 320 mm 工具最大積載質量 - 100kg ダイマー負荷容量 ...

... 高効率結晶シリコン電池のプロセスにおける緻密なアルミナやその他のバックパッシベーション膜材料の成長に適している。 様々な膜を連続的に切り替えます； ボートを押す機構を両端でサポートし、ジッターをなくし、速度を向上させ、負荷を増加させ、信頼性を大幅に向上させる（特許）。ボートの出入り時間は20秒以内（ボートの離脱を除く）； 特殊形状の二重炉扉機構により熱損失を低減（二重炉扉構造特許）； グラファイトボート電極技術：電気電極の表面接触、前後の電極を補い、尾電極は炉管の外で調整可能； 急速冷却炉体：最新の特許技術を採用し、炉体温度を必要な温度まで迅速に下げることができ、冷却速度を25%以上向上させ、炉管内の温度均一性を大幅に改善します； 特許を取得したボート収納位置の平行放熱モード：冷却効果を向上させ、冷却時間を15％以上短縮させ、コンソールの前面から底部と吸気口を避け、コンソールの内部清浄度を向上させる； 石英管補助吊り具：石英管の取り付け、メンテナンス、交換の難易度を大幅に下げる； 間接プラズマより膜のコンパクト性が高い； ...

... 充填密度をコントロールした薄膜コーティングを実現するプレミアムシステム。 概要 できること ナノ粒子を用いて機能的なコーティングを行う（濡れ性、反射性、生体適合性、導電性、結合性などを変化させる）。 空気とバッファの界面にモデル細胞膜を形成し、細胞膜に対する毒素や医薬品の影響を研究する。 ポリマー薄膜を形成し、ポリマーの架橋、安定性、劣化などを研究する。 両親媒性分子の相互作用、吸着、脱着、界面安定性、構造の研究 フィルムの安定性、相転移、反応を調べるための界面レオロジー研究 テクノロジーの利点 LangmuirおよびLangmuir-Blodgettテクノロジーには、世界中でこのメソッドが広く使用されているユニークな利点があります。 ...