臨界次元測定システム
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... あらゆる種類の冷間プロファイルの輪郭と寸法を測定するための軽量断面測定装置。 特性 複雑な形状のリアルタイムモニタリング 4~6台のカメラによる測定 円形製品の真円度や多角度用の特殊モード 高精度測定 プロセスの問題を早期に検出 迅速なメンテナンスと簡単なクリーニング QC部門のための全生産データのロギング 上位システムとのネットワーク機能 生産後の手動測定が不要 メリット - スタートアップの迅速化 - プロセス制御の改善によるCpkの向上 - 材料節約によるコスト削減 - ...
... 冷間および熱間スチールアプリケーションのあらゆる種類のプロファイルの輪郭と寸法を測定するための軽量断面測定装置。 特性 複雑な形状のリアルタイムモニタリング 生産後の手動測定が不要 4~8台のカメラによる測定 円形製品の真円度、多角度用の特殊モード 過酷な熱間圧延条件に対応 1200℃までの過酷な圧延条件下でも信頼性の高い動作 QC部門向けの全生産データのロギング 上位システムとのネットワーク機能 利点 - 最大2 kHzの高速サンプリングレート ...
... 冷間および熱間スチールアプリケーションのあらゆる種類のプロファイルの輪郭と寸法を測定するための軽量断面測定装置。 特性 複雑な形状のリアルタイムモニタリング 生産後の手動測定が不要 4~8台のカメラによる測定 円形製品の真円度、多角度用の特殊モード 過酷な熱間圧延条件に対応 1200℃までの過酷な圧延条件下でも信頼性の高い動作 QC部門向けの全生産データのロギング 上位システムとのネットワーク機能 利点 - 温度安定化測定システムによる最高の測定精度 - 高サンプリングレートによる形状不良検出(SFD) - ...
... CNCレンジ:Universal / Kronos Coord3 CNCのCMMは、マルチセンサー、ポイントツーポイントまたはスキャニング技術により汎用性があり、研究室や生産現場において、より速く、より正確な3D制御を行うことができます。 Universalシリーズでは、非常に大きなパーツを制御することができます。 ベンチマーク/アレス/ユニバーサル/クロノス コースXY(mm):500×400 à 4000×2000 コースZ(mm):440 à 1500 より大きなサイズのポン付けマシンをご用意しました。 ...
... Mシリーズ セミオートビデオ測定システム オートフォーカス機能付き、操作が簡単 Z軸:オート/ハイウィンリニアガイド 特徴 Z軸:オート、レンズ:オートズーム。 高精度の花崗岩ベース、カラム、高い安定性と剛性を確保する。 撮像装置の測定器ソフトウェア、強力な、簡単な測定。 データ処理、表示、入力、出力機能の様々な✦。 ソフトウエアによる調光機能で、光が飽和しているかどうかを知ることができる。 底面光源ランプにより、イメージング効果をより鮮明にします。 仕様 - ...
... 光学式臨界寸法(CD)・形状測定システム SpectraShape™ 10K寸法測定システムは、1Xnm設計ノード以降の集積回路上のfinFET、垂直積層NAND、その他の複雑な特徴の臨界寸法(CD)と3次元形状を完全に特性評価および監視するために使用されます。多様な光学技術と特許取得済みのアルゴリズムを使用したSpectraShape 10K光学CDおよび形状測定システムは、最先端トランジスタの初期層から最後のインターコネクト層まで、ICファブ全体の幅広いアプリケーションに対して、重要なデバイスパラメータ(臨界寸法、金属ゲートリセス、高Kリセス、側壁角、レジスト高、ハードマスク高、ピッチ歩行)に関するフィードバックを提供しています。 アプリケーション インラインプロセスモニター、パターニング制御、プロセスウィンドウ拡大、プロセスウィンドウ制御、アドバンストプロセス制御(APC)、エンジニアリング解析 関連製品 AcuShape®:SpectraShapeシステムからの信号を解釈する高度なモデリングソフトウェアで、堅牢で使用可能な3D形状モデルの構築プロセスの加速を支援します。 SpectraShape ...
明視野とコンフォーカルの2系統の光学系を搭載。二次元測定に加えて、高速・高精度な視野内一括高さ測定を実現します。 二次元測定と高さ測定が可能な1台2役の高機能システム 明視野画像による二次元測定に加えて、コンフォーカル光学系による視野内一括高さ測定を実現。明視野測定では検出が難しいサンプルも、コンフォーカル光学系なら高速/高精度な測定が可能です。 微細配線パターンの測定 明視野では難しい輝度差の激しいサンプルでも、形状と高さを正確に捉えて検出できます。 プローブカードの測定 プローブカードの微細なコンタクト部分のXYZ座標を、視野内一括測定します。 高精度プリント基板パターンの測定 測定視野内の高反射面と低反射面のエッジが正確に検出できます。
... 複雑な形状を従来の三次元測定機よりも高速に処理するための高速非接触計測・検査プラットフォーム。 精度の向上 ZeroTouchは、独自の5軸アーキテクチャとクラス最高のセンサーを採用し、測定品質を向上させています。 処理能力の向上 ZeroTouchは、複雑な寸法測定を数分でキャプチャします。 生産性の向上 ZeroTouchは、複数の測定を同時に迅速に実行します。 堅牢で非接触式の計測プラットフォームであるZeroTouchは、何百万ものデータポイントを迅速に取得して高精度の3D点群を作成し、複雑な部品形状を迅速に計測し、最も複雑な部品を低GRRで精密に検査することを可能にします。 スタックエラーの許容範囲の最小化 ZeroTouch独自の平面エアベアリング設計により、公差スタックエラーを最小限に抑えます。精密ステージの非常に滑らかで高速な動きを提供することで、このゼロに近い摩擦設計は、より安定した性能を保証し、機械的摩耗を最小限に抑え、GRRを向上させます。 高度なアナリティクスの統合 業界で実績のある定評ある解析ソフトウェアを使用して、点群スキャンを公称CADモデルやGD&T制御と比較することで、部品を解析することができます。統計的工程管理(SPC)データは、ばらつきやスクラップを削減するための警告を促すことができます。 グラフィカルな部品検査計画 グラフィカルなメニュー駆動の部品検査計画ツールにより、専門的なプログラミングが不要になります。計画は、MESからプログラムを呼び出すか、オプションのバーコードリーダーを介して簡単に起動することができます。 特徴とメリット - ...
DWFRITZ Metrology
... オーバーレイ オーバーレイは、上のレイヤーと下のレイヤーを合わせるプロセスである。オーバーレイ誤差は、これら2つのレイヤー間の偏差として定義されます。オーバーレイエラー測定は、2つの異なるオーバーレイマークの偏差を計算する画像処理プロセスで、ほとんどの場合、異なるプロセスで生成され、異なる材料で構成されています。 オーバーレイ測定では、ボックス・イン・ボックス、フレーム・イン・フレーム、Lバー、サークル・イン・サークル、クロス・イン・クロス、またはカスタマイズされた構造がサポートされています。 重要な寸法 光学測定は非接触、非破壊の測定技術であり、高精度で高速です。構造幅は、画像から強度情報を抽出することで計算できます。強度画像は、ノイズや変形による干渉を防ぐために処理する必要があります。 TZTEKの計測システムは、このような干渉を除去する機能を備えています。構造幅が0.7μm以下の場合、UV光を適用することができます。 膜厚測定 透明・半透明の誘電体膜(レジスト)を3層まで測定できます。自動校正機能を内蔵しています。 主な機能 -重要寸法、オーバーレイの測定 -OC、SMIF、FOUPにカスタマイズ可能 -ウェーハサイズ200mm/300mmおよびその組み合わせに対応。 -可視光、UV光はオプションです。 -SECS/GEM ...
TZTEK Technology Co.,ltd
... この機械は、ディスクと組み立てる前のスチール製リム、特に成形ラインで、成形工程のさまざまな段階でリムの寸法適合性をチェックするために設計されています。 試験内容 - 測定 ...
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