クリーンルーム用配置システム

繰返し精度: 0.02 mm - 0.1 mm
積載量: 3 kg - 120 kg
速度: 100 mm/s - 4,000 mm/s

... 直線運動XYZステージガントリーロボット多軸位置決めガイドシステムベルト駆動アクチュエータ ボールねじモジュール、ベルト駆動リニアガイド、位置決めステージ、直交ロボット用モーションコントローラ。CE、FCC、RoHS、ISO9001認証。 多種多様な即出荷可能製品 10個からの数量割引 カスタムOEMソリューション プログラミングサービス OEMまたはカスタム設計が必要な場合は、こちらをご覧ください - https://www.fuyumotion.com/industry-solution FUYU ...

... XYZステージ 多軸位置決めテーブル リニアガントリーシステム 直交ロボット 技術的特徴 FSL40リニアガイドは、アルミプロファイル、ボディ幅40ミリメートル、高い安定性、コンパクトな構造、汎用性の高い機能、通常の作業環境に適しており、それは、単軸または多軸を使用するのに便利で、さまざまな産業のための簡単な機能的な使用ロボットアームを組み立てる。 応用範囲 正確な位置決め、分注、スプレー塗装、外観検査、移動、つかみ、切断、溶接、自動組立、自動ロックネジ、パレタイジングなど。例えばPCB基板検出、光ディスク積層装置、部品ピック＆プレース。 シリーズFSL40IS-L ストローク範囲50mm-1000mm 位置精度：0.03ミリメートル 最高速度: ...

... シリーズFSK40 ストローク範囲50mm~1000mm 位置の正確さ: 0.03mm 最高速度: 255mm/s 最大負荷: 25キロ ボールねじ：G1204/G1605/G1610 ボールねじモジュール、ベルト駆動リニアガイド、位置決めステージ、直交ロボット用モーションコントローラ。CE、FCC、RoHS、ISO9001認証。 多種多様な即出荷可能製品 10個からの数量割引 カスタムOEMソリューション 付加価値サービス 新しいソース、新しい価格、新しいチャンス。 FUYU ...

繰返し精度: 1 µm
積載量: 15 kg
ストローク: 200 mm - 1,000 mm

... 高度にダイナミックなアプリケーションに対応するXYZガントリー カスタマイズ可能 - 高精度かつダイナミックなアプリケーションに最適 - 1300 x 800 mmの非常に広い移動範囲 - 高加速度・高速度と高精度の両立 このガントリーは、1300 x 800 mmの領域で、非常にダイナミックな動きを可能にします。カスタマイズされた加工ヘッドやZ軸のセンサーは、グラナイト上のキャリア上を素早く、スムーズに移動します。プロファイルされたレールガイドは、花崗岩に直接取り付けられており、サブミクロンの再現性の高い結果を得るために最適な走行特性を提供します。 仕様 - ...

繰返し精度: 0.3 µm - 2.5 µm
積載量: 5 kg - 20 kg
ストローク: 100 mm - 720 mm

... 半導体用XYZデュアルインスペクションポータル カスタマイズ可能 - ウェハー/半導体の自動検査に最適 - 各2 x 720 x 720 x 100 mmの非常に大きな移動範囲 - 2つのプロセスを同時に統合することが可能 クリーンルーム用4軸で構成され、複数の対象物を同時に自動計測できる検査システムです。高いダイナミクスと最高の再現性を実現しています。片側1台の高解像度カメラまたはセンサーをサンプルに対して相対的に移動させ、形状の検査、測定、特別な品質特性の記録を行います。 仕様 - ...

繰返し精度: 1.9 µm - 4.4 µm
積載量: 50 kg
ストローク: 100 mm - 1,000 mm

... バキュームチャック付きXXL XYZポータル カスタマイズ可能： - 焦点変動がある自動表面検査に最適 - 50kgまでのサンプル重量に対応（真空ステージを除く） - パッシブ振動減衰と建物振動のデカップリング（VDI 2627による標準測定室品質クラス3） - 1,000,000回のフルサイクルと500,000回のフルサイクルのメンテナンス間隔（2年毎）の非常に長い寿命 この位置決めシステムは、1,000 x 1,000 mmの領域で真空チャックを移動します。標準システム ...

繰返し精度: 5 µm
積載量: 30 kg
ストローク: 300 mm

... オープンフレームXYステージは、顕微鏡を使用した幅広い自動高精度位置決め用に薄型に設計されています。駆動機構をユニット側面に配置し、光や物体が移動中心を通過できるよう、クリアで邪魔にならない2軸開口部を提供します。 オープンフレーム 300x300 mm XYステージの全ストロークにわたって開口部が確保されています。 モデル - ユニット XY-OF-S300x300-A300x300J XYストローク - mm - 300x300 スクリューリード - 4 ...

... ZT ボックスは、2 つの自由度 (Z および Theta) を 1 つの単位内に組み合わせたモジュールです。 Z 方向に沿って、粗いものと細かいものの2つの動作が可能です。 このモジュールは、スタンドアロンモードで使用することも、XYプラットフォームの上にマウントすることもできます。 このモジュールは、薄膜測定、臨界寸法などのウエハプロセス制御アプリケーションに特に適しています 特性 -無限の回転 -ウェハチャックレベルでの真空供給を内蔵 -重力補償器を内蔵 -真空によるISO1クリーンルーム互換 ...