4軸配置システム

繰返し精度: 0.03 mm
積載量: 25 kg
ストローク: 50 mm - 1,000 mm

... シリーズFSK40 ストローク範囲50mm~1000mm 位置の正確さ: 0.03mm 最高速度: 255mm/s 最大負荷: 25キロ ボールねじ：G1204/G1605/G1610 ボールねじモジュール、ベルト駆動リニアガイド、位置決めステージ、直交ロボット用モーションコントローラ。CE、FCC、RoHS、ISO9001認証。 多種多様な即出荷可能製品 10個からの数量割引 カスタムOEMソリューション 付加価値サービス 新しいソース、新しい価格、新しいチャンス。 FUYU ...

繰返し精度: 0.3 µm - 2.5 µm
積載量: 5 kg - 20 kg
ストローク: 100 mm - 720 mm

... 半導体用XYZデュアルインスペクションポータル カスタマイズ可能 - ウェハー/半導体の自動検査に最適 - 各2 x 720 x 720 x 100 mmの非常に大きな移動範囲 - 2つのプロセスを同時に統合することが可能 クリーンルーム用4軸で構成され、複数の対象物を同時に自動計測できる検査システムです。高いダイナミクスと最高の再現性を実現しています。片側1台の高解像度カメラまたはセンサーをサンプルに対して相対的に移動させ、形状の検査、測定、特別な品質特性の記録を行います。 仕様 - ...

繰返し精度: 0.2 µm - 2 µm
積載量: 15 kg
ストローク: 10 mm - 600 mm

... XY-2Z 4軸ガントリー（絞り付き カスタマイズ可能 - 連続動作でのスポット差分高さ測定に最適 - アパーチャー70 x 100 mm用の両面Zセンサーポジショナー - 振動減衰設計により、1µmまでの繰り返し精度に優れた処理値を実現 - エアベアリングサンプルキャリアによるエミッションの低減 - 優れた寿命とメンテナンスフリーの24時間365日稼動 このXYZガントリー位置決めシステムは、さまざまな計測アプリケーション用に2台のカスタムセンサー/顕微鏡を使用した高精度の両側検査プロセスを可能にします。1つ目のZ軸は固定トラバース上にあり、2つ目のセンサー/顕微鏡はアパーチャ下のZ軸に取り付けられています。エアベアリングサンプルホルダーは、Z軸上の2つのセンサー（それぞれ100mmの高さ調整が可能）により、開口部までXY方向にサンプルを移動させます。 仕様 - ...

繰返し精度: 0.03, 2 µm
積載量: 2.5 kg
ストローク: 2 mm

... Z3TMモジュールは、モーション・プラットフォームの範囲を拡大し、高度な半導体アプリケーション向けに4つの独立した自由度を提供する。 最先端の半導体アプリケーション向けに設計されたこのモジュールは、3つの回転軸（RX、RY、RZ）と1つの垂直軸（Z）の4つの独立した自由度を提供し、コンパクトな設計でウェハレベルの精度とダイナミクスという点で卓越した性能を実現します。高価なピエゾ式ソリューションと置き換えることで、ヒステリシスの問題を排除し、ナノメートルレベルの分解能、精度、再現性をサポートしながら、ダイナミクスを向上させます。 サンプルアライメントの組み込みサポートにより、ウェハレベルでの正確な平面度制御が可能になり、設計の手間を簡素化し、装置の複雑さを軽減し、信頼性を向上させることで、市場投入までの時間を短縮し、価格対性能を向上させます。 特徴 トータルストローク：ファインZ±2mm、ティップチルト±0.08°、シータ無限大 移動・沈降時間ファインZ：100 ...

繰返し精度: 0.3 µm
積載量: 30 kg
ストローク: 650, 205 mm

... CHARON2は、最も人気のあるモーションシステムプラットフォームです。モジュール性とスケーラビリティを念頭に設計された、堅牢で信頼性の高いスタックドアーキテクチャにより、多くのターンキーモーションソリューションのためのコスト効率の高いエントリーポイントとして認識されています。 CHARON2ファミリーは、1つのX軸から完全な6自由度（DOF）モーションシステムまで、多数の異なる事前定義された構成で提供されます。当社の標準エレクトロニクスから選択することにより、CHARON2システムは、ターゲット仕様に最適な性能でスケーラブルになります。 3,000以上のステージが稼動しているCHARON2は、すべての半導体アプリケーションや、医療、製薬、材料科学などの他の市場の多くのユースケースに対応しています。 その±1 ...