5軸配置システム

繰返し精度: 0 µm - 1 µm
積載量: max 2.0 kg
ストローク: 3 mm - 4 mm

... MP200-5 小型XYZファイデルタポジショニングシステム カスタマイズ可能 - 0.007 µmまでの超高分解能 - 最大位置決め精度（RxおよびRyで±1.5 - 最大20 Nの負荷容量 - 堅牢な自己保持型スライディングスレッドドライブによる0.07 µmまでの微細な動作 - ソリッドベアリングジョイントによる最高の耐干渉性 - すべての自由度を使用して±0.5 µmまで絶対的に一定の繰返し精度 - 5軸制御エレクトロニクス内蔵により非常にコンパクト - ...

繰返し精度: 5, 10 µm
積載量: 4 kg - 25 kg
速度: 0.1 m/s - 10 m/s

... Z3TM+は、モーションプラットフォームに対応するモジュールのポートフォリオを拡大します。このモジュールは、4つの独立した自由度、すなわち、拡大されたθ中空シャフト内に組み込まれたチップ、チルト、θおよびZ軸を追加します。1つの構成にはZ軸が含まれ、1つは細軸（FZ）、もう1つは粗軸（CZ）です。設計上、このオプションモジュールは、先端半導体アプリケーション用のウェーハモーションプロファイルの完全な充足を可能にし、OEMにあらゆる半導体技術用のターンキーソリューションを提供します。製品のコンパクトさは、体積あたりの機能数で記録的な密度を確立し、その性能は、ウェーハレベルの精度とダイナミクスの新しい市場基準を打ち立てました。 Z3TM+フレクシャーベースの微細Z軸により、OEMは高価で時代遅れの圧電ソリューションから移行することができ、ヒステリシスの問題を解消しながら、ナノメートルレベルの分解能、精度、再現性をさらに高いダイナミクスでサポートします。適切なサンプルアライメントへの組み込みサポートにより、このモジュールは、追加の「チップ」軸と「チルト」軸によって、装置ヘッドに対するウェーハの平面性をさらに制御することができます。このようなユニークな機能により、ユーザーは、例えば平坦度、公称AOI（Angle ...

... CHARON2プラットフォームは、堅牢で信頼性が高く、エレガントに積み重ねられたアーキテクチャ上に構築されており、モジュール性とスケーラビリティの原則を念頭に置いて設計されています。 スタンドアロンの X 軸から最大 7 軸までの完全なモーションシステムまで開始します。 データシートの性能は、さまざまな電子回路構成で利用できます。 現在および将来のモジュールおよびオプションとの互換性により、最も広いアプリケーションスペースとユースケースをカバーできます。 この柔軟でスケーラブルで、モジュール式でアップグレード可能なプラットフォームは、すべての半導体アプリケーションや、医療、製薬、材料科学などの他の市場の多くのユースケースにエントリーレベルを提供します。 ...