3軸マイクロ配置システム

... 高速・高精度マイクロポジショナ - HV / UHV / EUV、移動量20 - 50 mm、繰り返し精度0.2 µm、荷重1 kg - 真空：全レンジ HV / UHV / EUV - 潤滑液：最大10E-8 / ドライ：最大10E-11 mbar - 最大ベークアウト温度120°C オプションで設定可能 - マグネットタイプ、低マグネットタイプ、マグネットレスタイプがあります。 - さまざまなモーターバリエーション。ピエゾモーターまたはナノモーション - ...

... MP53-3-PM - 真空コンパクト多軸システム 高分解能マイクロポジショナー - HV / UHV / EUV、移動量10 mm、繰り返し精度0.2 µm、荷重0.5 kg - 真空: 全範囲 HV / UHV / EUV - 潤滑液：最大10E-8 / ドライ：最大10E-11 mbar - 最大ベークアウト温度120°C オプションで設定可能 - 磁性体、低磁性体、磁性体なしを選択可能 - 0.005 µm までの繰り返し精度を実現する高分解能測定システムをオプションで用意 - ...

... XY-Zマイクロタイタースキャンシステム - 高速・並行分析、ラボ自動化、細胞モニタリング、医薬品検査、細胞診 - Laboratory / Analytics マイクロタイタープレートの迅速かつ正確な分析 マイクロプレートスキャンシステムは、エラー率を最小限に抑え、一貫した結果を得ることができます。2つのスキャニングシステムはプッシュプル動作で動くため、加速度の反力を補正します。その結果、デスクトップセットアップでもシステムは静止しており、非常に高い精度のスキャン動作を可能にします。 μmの分解能を持つ25mmの高分解能フォーカス軸は、最適な分析結果を保証します。ダブルまたはシングルのセンサーアームを装備することができます。操作は、ポジショントリガーによるオンザフライモードと、2つのアクチュエーターによる慣性補償スタートストップモードのいずれかを選択することができます。 ...

繰返し精度: 1.5, 0.4, 0.75, 0.15 µm
積載量: 7.5, 2 kg
ストローク: 40, 16 mm

... 当社のHexGen® HEX150-140HLは、コンパクトでありながら剛性の高いプラットフォームで、一貫した信頼性の高い6自由度（DOF）モーションを提供します。超微細な位置決め分解能、十分な可搬質量、高いプロセススループットなどのメリットを享受できます。HEX150-140HLは、パワフルなモーションコントローラとの柔軟な統合と直感的な操作が可能で、スペースが限られている複雑な多自由度モーションを必要とするアプリケーションに最適です。 -コンパクトなサイズと十分な可動域により、複雑なアプリケーションに簡単に組み込むことができます。 -7.5kgまでの高可搬質量に対応し、100Nまでのバックドライブに耐えます。 -当社のコントローラを使用して、他のモーション軸（サーボ、ステッパー、ピエゾ、その他）とコーディネートできます。 -簡単で便利なピボットポイント調整 -強力な制御および視覚化ソフトウェアとの組み合わせ HEX150-140HLは、スペースに制約があり、微細な位置決め分解能を必要とする多自由度のアプリケーションに最適です： -フォトニックデバイスのマニピュレーション、アライメント、パッケージング -光学検査とアライメント -光学ウエハのプロービング -航空宇宙・衛星センサー試験 -シンクロトロン＆ビームライン・サンプル・マニピュレーション ...