クリーンルーム用マイクロ配置システム

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3軸マイクロ配置システム
3軸マイクロ配置システム
X100+Y100+PSR300MHS-ABS

積載量: 10 kg
ストローク: 300 mm
速度: 1 m/s

... リニアモーター付きxyテーブル ロータリテーブル ddr ダイレクトドライブロータリ XY移動 300x300 mm 回転数無制限 アブソリュートエンコーダ リニア分解能 0.1 ミクロン 回転分解能 0.25 arc-sec ...

高真空マイクロ配置システム
高真空マイクロ配置システム
MP105-3 series

... 高速・高精度マイクロポジショナ - HV / UHV / EUV、移動量20 - 50 mm、繰り返し精度0.2 µm、荷重1 kg - 真空:全レンジ HV / UHV / EUV - 潤滑液:最大10E-8 / ドライ:最大10E-11 mbar - 最大ベークアウト温度120°C オプションで設定可能 - マグネットタイプ、低マグネットタイプ、マグネットレスタイプがあります。 - さまざまなモーターバリエーション。ピエゾモーターまたはナノモーション - ...

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Steinmeyer Mechatronik GmbH
高真空マイクロ配置システム
高真空マイクロ配置システム
MP53-3-PM-10-PM-L

... MP53-3-PM - 真空コンパクト多軸システム 高分解能マイクロポジショナー - HV / UHV / EUV、移動量10 mm、繰り返し精度0.2 µm、荷重0.5 kg - 真空: 全範囲 HV / UHV / EUV - 潤滑液:最大10E-8 / ドライ:最大10E-11 mbar - 最大ベークアウト温度120°C オプションで設定可能 - 磁性体、低磁性体、磁性体なしを選択可能 - 0.005 µm までの繰り返し精度を実現する高分解能測定システムをオプションで用意 - ...

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