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キャパシタンスダイアフラム真空計
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真空範囲: 0.001 mbar - 1,100 mbar
... 大気圧から微気圧までの真空プロセスの監視には、新しい真空計VACUU-VIEW extendedが最適です。セラミックダイアフラムセンサーとセラミックジャケット付きピラニセンサーの組み合わせにより、大気圧から10-3mbarまでの広い範囲で信頼性の高い測定値を得ることができます。 性能の特徴 大気圧から10-3mbarまでの非常に広い範囲で高精度と耐薬品性を発揮し、1つのゲージで粗い真空と細かい真空の両方に対応します。 センサーを内蔵したコンパクトなデザインで、ラボやプロセスでのセットアップに便利 耐薬品性に優れたセラミックダイアフラムセンサーとセラミックジャケット付きピラニセンサーの組み合わせにより、腐食性の強い化学物質を使用しても製品寿命が長くなります。 読みやすい照明付きディスプレイ メニュー式のディスプレイで、ユニットの設定などが簡単にできます。 ...
真空範囲: 1 mbar - 1,080 mbar
... DVR 2proは、大気圧から1mbarまでの測定範囲に対応した、完全電子式の多目的真空計です。すべての接液部には耐薬品性に優れた素材が使用されており、実験室の厳しい環境下でも使用することができます。DVR 2の高精度と大型グラフィックディスプレイは、「pro」バージョンにも引き継がれています。主な改良点の一つは、9Vアルカリ乾電池による電源供給です。ゲージの背面に新たに設けられたバッテリースロットにより、バッテリーの交換が容易になりました。また、接続パーツの種類が増えたことで、実験室での使用に適した幅広い接続性を実現しています。 パフォーマンス機能 ナビゲーションメニューの機能向上により、省エネと電池の長寿命化を実現 大型でグラフィカルなアナログディスプレイとデジタル測定値の組み合わせにより、傾向を把握しやすく、正確な測定値を読み取りやすい 圧力単位はmbar、hPa、Torrのいずれかを選択でき、不要な変換を防止 さまざまな真空接続と追加のサポートロッドにより、ほとんどすべての実験室のアプリケーションで使用可能 接液部に耐薬品性のある素材を使用し、静電容量式セラミックダイアフラム圧力センサーを採用することで、長期的な安定性と精度に優れている ...
真空範囲: 3 mbar - 1,333 mbar
... VersaTorr BVT200/225シリーズ ピラニ変換器で新しいスタンダードを確立してください。これは、幅広い真空アプリケーションに対応するオールインワンのワイドレンジ測定ソリューションです。他の真空計とは異なり、5.0E-3~1333mbarのガス独立測定と、熱損失原理を利用した1E-6mbarまでの測定が可能で、全体的に費用対効果が高いのが特徴です。 ガスの組成や種類が変化する真空用途では、従来のガス依存型ピラニゲージでは、実際の圧力と測定値にズレが生じます。トライセンサーは、高精度なキャパシタンスダイアフラムゲージ(CDG)センサーを使用しており、ガス依存性を排除し、ガスの特性が変化した場合でも正確な測定値を提供します。 また、熱損失型MEMSピラニセンサーの搭載により、測定範囲を1E-6mbarまで拡張し、従来のキャパシタンスダイアフラムゲージの手動ゼロ調整の必要性をなくした新しい自動ゼロ調整機能を提供します。 特徴・メリット ...
真空範囲: 0.0001 mbar - 10 mbar
... アンプ一体型モデル サファイア振動板と特殊構造によるゼロシフトの高耐久性 自己発熱温度の選択が可能 1msの高速応答 コンパクトなサイズ EtherCAT通信対応 ユーザーフレンドリーなソフトウェアツール ...
真空範囲: 0.0001 mbar - 10 mbar
... アンプ分離型モデル サファイア振動板と特殊構造により、ゼロシフトに高い耐久性を実現 自己発熱温度の選択が可能 1msの高速応答 コンパクトなサイズ EtherCAT通信 ユーザーフレンドリーなソフトウェアツール ...
真空範囲: 0 Pa - 100,000 Pa
... SPG5A-6Aは、サファイア式静電容量圧力センサを採用し、高精度・高信頼性、小型・軽量を実現した静電容量ダイヤフラム真空計です。自己発熱モデルおよび非自己発熱モデルが利用可能です。SPG5A/6Aは、半導体製造に特に適しています。 特長 *-単結晶サファイアを使用し、耐食性、高温 性に優れ、耐食性、耐熱性の単結晶サファイア圧力センシング材料も優れた機械的特性を持っています。静電容量測定は高温使用時でも高い再現性 *-高精度測定 高度な信号処理技術により、優れた温度特性と直線性に貢献 ...
真空範囲: 10 mbar - 1,000 mbar
... CDG020D INFICONポーター CDG020Dキャパシタンスダイヤフラムゲージは、高品質で費用対効果の高い、ガスタイプに依存しない絶対圧力センサーです。 Porterは、産業環境において安定した長時間の性能を発揮するように設計されています。 セラミックセンサは、優れたゼロ安定性と組み合わせて、長年にわたるメンテナンスフリー動作で優れたスパン安定性を提供します。 耐腐食性の単一材料センサアーキテクチャは、優れた温度補償を保証します。 完全なデジタル・エレクトロニクスと小型フットプリントにより、あらゆる統合における柔軟性が決まります。 ...
Eurovacuum B.V.
真空範囲: 0.67 mbar - 1,333 mbar
... カテゴリー - ダイヤフラムゲージ、温度補償、セットポイントなし 項目説明 - 製品名: ダイアフラムゲージ、温度補償型 測定原理: キャパシタンスダイアフラム 測定範囲: 67....1.33E+5Pa|6.7E-1 ...1333mbar|5E-1 ...1000Torr 精度: ±1 再現性: - 圧力測定ガス種依存性: いいえ 真空接続DN16KF ベークアウト温度110°C 動作温度: 10....50℃(補正)|0...70℃(許容) 真空中の材質:SS、Al2O3 寸法29 ...
... ZNXセンサーは、静電容量マイクロメトリーの原理に基づいた非接触位置測定システムです。2枚のセンサープレート(ターゲットとプローブ)が平行平板コンデンサーを形成します。この2枚のプレートの間隔は、適切な電子コントローラーを使用することで、0.1 nm以下の精度で測定でき、測定範囲は最大1.25 mm、周波数応答は最大5 kHz、リニアは0.02%です。ZNXセンサーは非接触方式なので、ヒステリシスがありません。測定ポイントでの消費電力はありません。 - ピコメートル単位の高精度測定 - ...
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