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ストローク: 100, 200 mm
速度: 500 m/s
繰返し精度: 0.3 µm
... E-LMT-XY (高精度リニアモータステージ) XY リニアモータモーションステージ 簡単な説明 移動範囲 100 mm × 100 mm または 200 mm × 200 mm 一方向の繰り返し精度 0.3 µm アイアンレス 3 相リニアモータ 速度 500 mm/s インクリメンタル 分解能 4.88 nm のリニアエンコーダ クロスローラガイド リニアモーター リニアモーターは電磁ダイレクトドライブです。ドライブトレインに機械部品を使用せず、駆動力を直接、摩擦なしでモーションプラットフォームに伝達します。リニアモータは高速、高加速度に対応します。アイアンレスモーターは、永久磁石との望ましくない相互作用がないため、精度が最も要求される位置決め作業に特に適しています。このため、最低速度でもスムーズな走行が可能で、同時に高速度での振動もありません。制御動作における非線形性は回避され、どのような位置でも簡単に制御することができます。 インクリメンタルリニアエンコーダによる高精度位置計測 非接触の光学式エンコーダは、最も高い精度でプラットフォームで直接位置を測定します。非直線性、機械的な遊び、弾性変形は測定に影響しません。ご要望に応じ、さらに広い移動範囲を提供します。 ...
NATSU PRECISION TRADE LIMITED
速度: 200 mm/s
繰返し精度: 10 nm
積載量: 6 kg
... デザインの特徴 高性能スキャンと検査用に設計 すべてのエアベアリング表面でアクティブなエアプリロードを実現 リニアエンコーダフィードバックによるサブナノメーターの分解能 高荷重に対する高い剛性と優れた幾何学的性能 50mmと100mmの移動量 カウンターバランス内蔵 エアベアリング設計による高い動的性能 E-LMT145-Zは、垂直面と水平面の両方にエアオンエアの予圧を組み込んでいます。対向する薄膜圧力が、ベアリングの公称隙間公差を維持します。この設計に加え、大きな表面積に荷重を分散させる大きなエアベアリング表面により、重荷重やオフセット荷重に理想的な優れた剛性を持つステージを実現しています。 独自の製造技術により、卓越した幾何学的特性を持つステージが生み出され、優れたピッチ、ロール、ヨー、真直度、平面度の仕様により、性能を最大限に引き出します。 このステージの原動力は、Precision-stageシリーズのブラシレスリニアサーボモーターです。アイアンレスフォーサーを採用しているため、コギングや吸引力がなく、滑らかな動きを実現している。 当社の完全非接触エアベアリング、非接触リニアモータドライブ、および非接触フィードバック装置は、機器に期待される高い性能レベルで長年にわたってメンテナンスフリーの動作を保証します。可動部間の機械的接触がないため、E-LMT145-Zは経年による摩耗や性能低下がありません。寿命は事実上無制限であり、潤滑がなく、クリーンで乾燥した気体のみであるため、エアベアリングはクリーンルームや医療用途に理想的です。 ...
NATSU PRECISION TRADE LIMITED
ストローク: 100 mm
速度: 0 mm/s - 500 mm/s
繰返し精度: 0.1 mm
... 小型リニアモータ コプレーナエアベアリングステージ 磁気プリロードエアガイド ...
NATSU PRECISION TRADE LIMITED
ストローク: 12 mm - 321 mm
速度: 1.2, 0.02, 0.1 m/s
繰返し精度: 0.25, 0.4, 0.3 µm
... METISをご紹介します。METISは、ステップ・スキャン・アプリケーション用に設計された最先端のハイブリッド平面メカニカル／エア・ベアリング・プラットフォームで、4自由度にわたって比類のない精度、移動・定着時間、速度安定性を保証します。 METISプラットフォームは最先端のハイブリッド平面メカニカル/エアベアリングプラットフォームで、X、Y、Z、θ方向の4軸移動が可能なステップおよびスキャンアプリケーション専用です。全移動範囲にわたるダイナミックな平坦性と双方向の繰り返し精度により、高精度な作業に最適です。METISは、クリティカルディメンションや薄膜測定、ウェーハスクライビング、ウェーハレーザーサーマルアニールなどのウェーハプロセス制御アプリケーションで広く使用されています。また、Back ...
速度: 9 m/s
繰返し精度: 5 µm
... MPL エアベアリング付きリニアモータステージ このエアベアリング付きリニアモータステージの情報 このリニア軸の能力 測定システムの繰り返し精度：± 1 μm 最大加速度：80 m/s2 ...
ストローク: 385 mm
速度: 330 mm/s
繰返し精度: 0.3 µm - 0.4 µm
... 大口径スキャニングステージ 繰り返し精度を追求した大型精密XYステージです。研磨クロスローラーガイドを採用し、真直度・平面度ともに±0.15μmの繰り返し精度を実現しています。 大きな透過光により、大型の基板も両面から、または透視しながら測定できます。また、測定用途でセンサーの精度をフルに活用するための差分測定のオプションも用意されています。ステージをフルに動かしても、常に60mm×60mm以上の開口部が確保されます。 高加速度による高速スキャンアプリケーション ...
Steinmeyer Mechatronik GmbH
繰返し精度: 1 µm
積載量: 4 kg
... エアベアリング付きPIglideミニチュアリニアステージは、リニアモータードライブ、プリロードエアベアリング、光学式リニアエンコーダを内蔵しています。このステージは、小さな設置面積で非常に高い精度を提供します。非接触コンポーネントの組み合わせにより、摩擦のないモーションを実現し、卓越した動的性能、ナノメートル精度の位置決め、非常に長い寿命を提供します。 XYZシステムをセットアップするために、A-143にはブレーキとカウンターバランスを含む垂直取り付けオプションが用意されています。 アクセサリーとオプション PIglideフィルターおよびエアプレパレーションキット 単軸および多軸モーションコントローラー 垂直取り付け用ブレーキと空気圧カウンターバランス付きモデル 応用分野 このステージは、計測、検査、ファイバー位置決め、光学位置決め、スキャニング、パターン形成など、多くの高精度で非常に動的なアプリケーションに最適です。潤滑不要の非接触設計と、しっかりと固定されたケーブルにより、リニアステージはクリーンルームや医療技術アプリケーションに最適です。 ...
Physik Instrumente
ストローク: 50, 100, 25, 150 mm
速度: 300 mm/s
繰返し精度: 50, 100 nm
... ABL1000シリーズステージは、入手可能な中で最も高性能な小型エアベアリングステージです。超精密な位置決め精度と幾何学的性能が重要な、スペースに制約のあるアプリケーションに最適です。また、コンパクトなフォームファクターは、他のモーション軸やシステムとの統合を容易にします。 -高性能アライメントとアセンブリのために設計されています。 -完全プリロードエアベアリング -低ノイズリニアアンプ -完全非接触設計 リニアポジショナは、完全に予圧された非接触設計です。本質的に摩擦のないエアベアリングは、精密アプリケーションの標準であることが証明されています。非接触リニアブラシレスサーボモータによって駆動されるこのステージは、アプリケーションに必要なものが小さな正確なステップであれ、一定の滑らかな速度であれ、究極のソリューションであることが証明されています。優れた磁場とモーターコイル設計により、ミニチュアエアベアリングステージとしては最高の力を出力します。このステージは優れたサーボ性能を提供し、堅牢で乱れのないケーブル管理システムを特徴としています。 フィードバックと制御システム 様々な高性能リニアアンプやPWMアンプとともに、最新鋭のコントローラを幅広く取り揃えています。 オプション 便利なラックマウントアンプまたはパネルマウントアンプがすべてのシステムで提供されます。Aerotechの専門技術スタッフはカスタムシステム設計の経験が豊富で、お客様と協力してお客様の用途の固有のニーズを満たすシステムを作成します。 ...
Aerotech/エアロテック
速度: 200 mm/s
... A-523は、ダイレクトドライブを搭載したエアベアリングタイプのZチップ/チルトステージです。パラレル・キネマティック多軸システムとして設計されたこのプラットフォームは、Zおよびチップ/チルトの動作に使用することができます。このステージは、超高精度をミニチュアサイズで提供します。非接触部品の組み合わせにより、摩擦のないモーションプラットフォームとして、最高の性能、品質、寿命を提供します。 A-523をA-81xまたはA-82xシリーズのコントローラと一緒にご注文いただくと、PIがサーボチューニングの最適化と負荷がかかった状態でのZステージの設定とケーブル配線を実施します。すぐに使える位置決めシステムを完成させることができます。 アクセサリーとオプション エアフィルターセット 真空クランプ機構内蔵 ...
ストローク: 450, 800, 250 mm
速度: 1 m/s
繰返し精度: 75 nm
... XYステージEZ-0117の設計において特に重視されたのは、高精度の要求とコスト重視の設計です。エアベアリングトレッドはベローズで覆われており、パーティクルの侵入を防ぎます。ベローズを装備しているにもかかわらず、高い位置決め精度を実現しています。鉄芯同期モーターにより、加速度は最大10 m/s2、移動速度は最大1 m/s。機械ベッドは花崗岩製。クロステーブルの側面には、エネルギー、信号、媒体を伝送するためのインターフェースプレートが装備されています。両軸とも、電気および空圧エネルギーを個別に供給できる。終端位置は誘導センサーにより検出されます。XYステージには2つのサイズがあり、移動範囲は250 ...
Eitzenberger GmbH
... 高精度な測定を実現するために設計されています。ロータリーユニットは減摩ベアリングを採用し、遊びがありません。抜群の剛性を誇ります。高精度な位置決めを可能にする高分解能エンコーダ。 RT-350 ピエゾドライブ搭載。使用される材料の磁界強度が低いため、CT測定システムの回転軸として最適です。 オプション >空気圧による回転の固定 >スプラッシュガード RT-500 トルクドライブ付き。RT-500は、その優れた構造により、多軸システムの回転軸として使用することができます。 オプション >空圧式回転クランプ >スプラッシュガード >ウォームギアドライブとサーボドライブ RT-1500 サーボドライブ付き。軸方向にエアベアリングを採用しています。ベースプレートと回転テーブルは天然の硬質石、御影石を使用。自動調整機能により、様々な重量負荷でもエアギャップは一定に保たれます。 オプション >空気圧による回転の締め付け >スプラッシュガード >角度エンコーダ >手動調整 ...
Johann Fischer Aschaffenburg
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