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クロスローラーポジショニングステージ
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繰返し精度: 100 nm
... CGO-60.5ゴニオメーターステージは、CGO-77.5ステージの上に簡単に積み重ねることができ、作業プラットフォームから60.5mmの高さに共通の回転中心を持つオイラークレードルを形成します。 すべてのピエゾ式ゴニオステージは、SmarActピエゾ駆動技術に基づいています。ゴニオステージは、異なる半径で利用可能です。コンパクトであることに加え、これらのステージは非常に剛性が高いため、マイクロまたはナノ位置決めタスクに理想的に適しています。高精度クロスローラベアリングの使用により、その角度精度は非常に高いです。ゴニオステージは、最高分解能のモーションを提供し、直接スタック可能です。適切な半径を持つ2つのステージを組み合わせることで、共通の回転中心を持つコンパクトなオイラーゴニオメータを構築することが可能です。その機械的インターフェースは、CLS-52シリーズのステージに完全に適合します。従って、リニアステージ、回転ステージ、ゴニオステージを直接組み合わせて多軸システムを構築することができます。スマーアクトのゴニオステージは、当社のどの制御ユニットでも操作でき、位置決めセンサーを内蔵したものもあります。さらに、CGOシリーズのゴニオステージは、高真空や超高真空環境など、さまざまな環境条件に対応しています。 CGO-60.5は交換可能なドライブユニットを装備しているため、メンテナンスのためにステージのコアコンポーネントへの容易なアクセスが保証されています。 メカニカル トラベル ...
... 精密でコンパクトなゴニオステージCGO-77.5は、CLS-52リニアステージの上に直接取り付けることができ、CGO-60.5ステージと組み合わせるとオイラー型クレードルのベースとして機能します。 すべてのピエゾ式ゴニオステージは、スマーアクトのピエゾ駆動技術に基づいています。ゴニオステージは、さまざまな半径で利用できます。コンパクトであることに加え、これらのステージは非常に剛性が高いため、マイクロまたはナノ位置決めタスクに理想的に適しています。高精度クロスローラベアリングの使用により、その角度精度は非常に高いです。ゴニオステージは、最高分解能のモーションを提供し、直接スタック可能です。適切な半径を持つ2つのステージを組み合わせることで、共通の回転中心を持つコンパクトなオイラーゴニオメータを構築することが可能です。その機械的インターフェースは、CLS-52シリーズステージに完全に適合します。従って、リニアステージ、回転ステージ、ゴニオステージを直接組み合わせて多軸システムを構築することができます。スマーアクトゴニオステージは、当社のどの制御ユニットでも操作でき、位置決めセンサーを内蔵したものもあります。さらに、CGOシリーズのゴニオステージは、高真空や超高真空環境など、さまざまな環境条件に対応しています。 CGO-77.5は交換可能なドライブユニットを装備しているため、メンテナンスのためにステージのコアコンポーネントへの容易なアクセスが保証されています。 メカニカル トラベル ...
ストローク: 1 mm - 40 mm
速度: 1 mm/s - 200 mm/s
繰返し精度: 0.3 µm - 5 µm
... LA92 高速UHVリニア軸 アプリケーション高解像度、高速スキャンアプリケーション 利点超高真空での高速位置決め、垂直方向にも対応 特徴抜群の分解能、非常にスリム、内蔵モーター搭載 - 真空度:全領域HV/UHV 10E-11 mbarまで対応 - 磁性: 磁性、低磁性、マグネットフリー - 潤滑: 液体 10E-8 / 乾式 10E-11 mbarまで - 最高ベークアウト温度120°C オプション - 用途に合わせた材料選択と真空潤滑 - XYZ搬送システム(例:LA90、LA95、LA170)との組み合わせが可能。 - ...
Steinmeyer Holding GmbH
ストローク: 1 mm - 130 mm
速度: 1 mm/s - 10 mm/s
繰返し精度: 0.4 µm - 5 µm
... LA170 高精度高負荷XYZ直線軸 アプリケーション搬送ステージ、高荷重用スキャニングステージ 利点:乾式潤滑にもかかわらず高寿命 特徴: ドライ潤滑油付きリードスクリューまたは液体潤滑油付きボールスクリュー - 真空度:HV / UHV / EUVの全レンジで10E-11 mbarまで対応 - 磁性: 磁気 - 潤滑: 液体 10E-8 / 乾式 10E-11 mbarまで - 最高ベークアウト温度120°C オプション - 用途に合わせた材料選択と真空潤滑 - ...
Steinmeyer Holding GmbH
ストローク: 1 mm - 100 mm
速度: 1 mm/s - 10 mm/s
繰返し精度: 0.4 µm - 5 µm
... LT300 高精度高負荷リニアステージ 用途搬送ステージ、高荷重用スキャニングステージ 利点:ドライ潤滑にもかかわらず高寿命 特徴:ドライ潤滑油付きリードスクリューまたは液体ピエゾブレーキ付きボールスクリューによるnm安定性 - 真空度:HV / UHV / EUVの全レンジで10E-11 mbarまで対応 - 磁気: 磁気 - 潤滑: 液体~10E-8 / 乾式~10E-11 mbar - 最高ベークアウト温度120°C オプション - ピエゾブレーク付きも可能 - ...
Steinmeyer Holding GmbH
ストローク: 6.5, 12.5 mm
... GCM-TPシリーズ製品は大亨光学の高精度DeepL翻訳です。ステージはフルアルミボディとクロスローラースチールベアリングで構成されており、精密な動きと高負荷に耐えることができます。ステージの厚さは20mmで、移動量は13mmと25mmです。プラットフォームサイズは45X45mmと65X65mmです。 ...
Daheng New Epoch Technology,Inc(CDHC)
ストローク: 6.5 mm
... 大亨光学が製造するアルミ合金製平行移動ステージGCM-Tシリーズです。このステージは、クロスローラベアリングを使用しており、精密な動きと高い負荷容量に対応しています。DeepLの平行移動は、1軸タイプと2軸タイプに分けられます。単軸の厚さは20mm、2軸の厚さは33mmです。対応するプラットフォームのサイズは45x45mmと65x65mmで、移動量はそれぞれ±6.5mmと±12.5mmです。お客様は使用需要に応じてマイクロメーターの設置位置を変更することができ、設置穴位置はDeepL移動ごとに確保されています。 ...
Daheng New Epoch Technology,Inc(CDHC)
ストローク: 13, 25 mm
... GCM-Vシリーズ製品は、Daheng Opticsが発売した新しい精密サイドドライブ垂直ステージです。アルミニウム合金製です。ガイドにはクロスローラベアリングを採用し、ステージの精度と耐荷重を向上させました。移動量は13mmと25mmです。 ...
Daheng New Epoch Technology,Inc(CDHC)
ストローク: 0.5 mm
... サイドドライブ位置決めステージ Family: 101SD, R101SD モデル101SD-XYZ 価格: $ 721.00 標準的なインチネジ穴付きのメートル単位のマイクロメータヘッドの追加 $0.00 Posi-Lockキャリッジロックの追加 $163.00 ...
DELTRON
ストローク: 0.5 in
... サイドドライブ位置決めステージ Family: 101SD, R101SD モデルR101SD-XYZ 価格: $ 927.00 標準的なインチネジ穴付きのメートル単位のマイクロメータヘッドの追加 $0.00 Posi-Lockキャリッジロックの追加 $163.00 ...
DELTRON
ストローク: 0.5 in
... クロスローラ・ポジショニング・ステージ ファミリーR100 モデルR101-X 価格: $ 279.00 メートル法用マイクロメータヘッド(標準インチネジ穴付き)の追加 $0.00 Posi-Lockキャリッジロックの追加 $55.00 ...
DELTRON
ストローク: 0 µm - 12,000 µm
速度: 0 mm/s - 1,400 mm/s
... Zaber社のX-DMQ-AEシリーズデバイスは、コンピュータ制御によるダイレクトドライブボイスコイル駆動のリニアステージで、コンパクトサイズでありながら高加速度、高精度の能力を備えています。標準24Vまたは48V電源のみを必要とする独立型ユニットです。 革新的なムービングコイルアクチュエータ設計は、移動全体を通してスムーズな力出力を必要とするアプリケーションのために、力対位置のプロファイルが非常にフラットです。また、この技術により、移動質量が最小で急加速が可能であり、移動ケーブルが露出しないため高デューティサイクルを実現します。力出力により、軽量キャリッジは12mmトラベル内で最高1400mm/sの速度に達します。 内蔵のアナログ・リニアエンコーダは1 ...
ストローク: 100 mm - 250 mm
速度: 0 mm/s - 750 mm/s
繰返し精度: 0.5 µm
... Zaber社のX-ADR-AEシリーズ顕微鏡ステージは、倒立顕微鏡の手動ステージの代替品として、またはスキャニングステージとしてスタンドアロンで動作するように設計されています。非接触リニアモーターと光学式リニアエンコーダを搭載し、従来のスクリュー駆動ステージよりも飛躍的な性能を実現しており、速度、精度、信頼性が最も重要視される要求の厳しいアプリケーションに適しています。 コンパクトなコントローラはステージに直接組み込まれており、ベンチスペースを節約し、1本のフレックス定格ケーブルでステージの電源供給と制御が可能です。X-ADR-AEデバイスには、外部システムとのインターフェース用にデジタル入力と2つのデジタル出力も搭載されています。イベントドリブントリガーシステムにより、I/O、時間、または動きの刺激に基づいて、デバイスをスタンドアロン動作用にプログラムすることができます。 ...
ストローク: 50 mm - 305 mm
... ZaberのASRシリーズ顕微鏡ステージは、直立および反転顕微鏡で見られる手動ステージに代わる優れた代替品です。また、スタンドアロンのスキャニングステージ操作も可能です。 非常に薄い形状とコンパクトな設計を特長としており、様々なスキャンシステムへのシンプルで簡単な統合が可能で、標準的な顕微鏡プラットフォームの改造も可能です。 クロスローラーベアリングと硬化ステンレススチールレールがステージの動きを制御し、スムーズな操作を可能にし、耐用年数と剛性の向上を実現します。 ...
ストローク: 13 mm
ストローク: 100, 50 mm
速度: 5 mm/s
繰返し精度: 0.5 µm - 4 µm
... - 真空:全レンジ HV / UHV / EUV 最大 10E-11 mbar - 潤滑油:最大10E-8 / ドライ:最大10E-11 mbar - 最高温度ベークアウト温度120°C - クリーンルームクラス4 ISO 14644-1(ご要望によりクラス1まで対応可能) - ドライ運転でも非常に長い寿命 オプションで設定可能 - ピエゾブレーク搭載可能 - 用途に応じた材料選択と真空潤滑方式 - チャンバー内の設置状況に合わせた個別対応 - クリーンルーム ...
Steinmeyer Mechatronik GmbH
ストローク: 160, 35, 110, 60 mm
速度: 145, 200 mm/s
繰返し精度: 75 nm
... ANT130LZSステージは、超薄型の垂直運動性能の最高峰です。 極めて低い摩擦特性を持つデュアルサイドマウント空気圧式カウンターバランスを特徴とし、精度、再現性、スピード、信頼性を見事に兼ね備えています。ANT130LZSステージは、印象的な動的性能と十分な負荷容量により、コンパクトなフォームファクターで優れた垂直運動が必要な場合に理想的な選択です。 -強化された第二世代設計 -最小1nmのインクリメンタルモーションを実現 - NEW -ナノメートルレベルの位置決め性能を最大160 ...
Aerotech/エアロテック
ストローク: 45, 10, 20 mm
... -移動範囲 10 / 20 / 45 mm -エンコーダー付きDCモーター、クロスローラーベアリングガイド、細目スピンドル -壁掛け式または機械式リミットスイッチ せいじょう -可動範囲 10 mm、20 mm、45 mm -低バックラッシーの研削済み細目ネジスピンドル -精密クロスローラーベアリングガイドを搭載。 -壁掛け式または機械式リミットスイッチ -2相ステップモーターまたはエンコーダー付きDCモーター -コンパクトなデザイン -XYZ実装 -変形しにくいアルミニウム -反射防止加工、黒アルマイト -OWISidと ...
OWIS GmbH
ストローク: 150, 70 mm
速度: 50 mm/s
... GTS高トルクDCモーターリニアDeepLトランスレーションは、クロスローラベアリングステージの真直性と平坦性、上位ステージの精度と再現性の向上を兼ね備えています。 -アンチクリープ・クロスドローラーベアリングにより、優れた真直度・平坦度を実現。 -エンコーダ搭載により、高い再現性と精度を実現。 -低摩擦ボールネジ駆動により、スティックやスリップの影響を最小限に抑えます。 -長期的な強度と安定性 -プラグアンドプレイ-ESP対応 高精度エンコーダフィードバック 50nmの分解能を持つ光学式スケールを使用し、ドライブトレインに起因する誤差を軽減します。固定リードヘッド設計により、内部可動ケーブルの煩わしさを軽減します。 長期的な強度と安定性 GTSのステージは、長期的な強度と安定性のために応力緩和された7075アルミニウムから機械加工されています。すべての重要なステージ表面は、厳しい温度と品質管理のもと、複数の機械加工工程と精密研磨が施されています。柔軟な予圧を定義した先進の非対称ボディデザインは、さまざまな温度で一貫した結果をもたらし、理想的でない取り付け面の影響を最も受けにくいです。薄型で柔軟性のあるT字型キャリッジは、XY構成や高い垂直荷重を提供するなど、さまざまな荷重条件に対して最適化されています。 アンチクリープ・クロスドローラーベアリング 最も正確な軌道制御を保証するために、GTSステージは、クラス最高のクリープ防止クロスローラベアリングのマッチドペアを採用しています。 ...
MICRO-CONTROLE / Spectra-Physics
ストローク: 80, 170, 250 mm
速度: 0.6, 0.7 m/s
繰返し精度: 0.1, 0.05, 0.15 µm
... - 最小のインクリメンタルリニアモーションは1 nmまで - 鉄芯と鉄なしの3相リニアモーターを選択可能 高精度リニアモータステージのV-508ファミリーは、非常にコンパクトで薄型のパッケージで高速・高精度を実現します。これらのクローズドループ電動ナノポジショニングステージは、高性能ベアリング、ゼロフリクションリニアモーター、非接触光学式位置センサー、および剛性と熱安定性のためにFEA(有限要素解析)最適化されたボディなど、信頼性を考慮して設計されたコンセプトに基づいて、高ダイナミクス24/7産業オートメーション用途によく適しています。 フリクションレス・ダイレクトドライブ・リニアモーター ...
Physik Instrumente
... - 価格重視のアプリケーションに最適なXYステージ - 高精度ステッピングモータ - クロスローラーガイド - リミットスイッチ、リファレンススイッチ(ホール効果)搭載 価格重視のOEM市場向けXYステージ M-971 は、検査、リソグラフィー、バイオメディカルエンジニアリングなどのシステムに組み込まれ、光学顕微鏡に最適化されています。価格に敏感なOEM市場の要求を満たすために、特別に開発されました。実績があり、コストを最適化したコンポーネントがそのベースとなっています。 短いクロスローラーガイドを複数組み合わせたガイドの設計により、広い面積に均一に荷重を分散させ、高い剛性と優れた移動精度を実現しています。 ドライブトレインは、広く使用されているPI社製リニアステージをベースにしています。その信頼性と長寿命は、長年にわたる使用で証明されています。 ステッピングモーターを使用することで、エンコーダーが不要になり、シンプルなステッピングモーターコントローラーを使用することができます。XYステージにはリミットスイッチとリファレンススイッチが装備されており、高速かつ正確なレファレンシングと動作中の安全性を確保しています。 ...
ストローク: 6.5 mm
SF Technology Co. Ltd.
... 当社のクロスローラーガイドレールは、自由に交換可能な標準エレメントです。当社のガイドレールは、非常に剛性が高く、正確なリニアガイドを遊びなく組み立てることができます。 メリット -高負荷を運ぶことができる -スムーズな走り -少ないスペースで済む -長寿命 -取り付け方法を説明します。 ガイドレールを取り付ける際には、軸受面が平行に加工されていることを確認してください。軸受面と取付面の公差は、ガイドレールの加工公差(標準品質)に準拠してください。使用するプレストレスは、それぞれの取付け条件、組立スライド構造の剛性により異なります。プレストレスは、最大許容荷重の5~20%程度を推奨します。しかし、このようにして実現されたガイドレール構造全体の耐荷重は、どのような場合でも、適用されるプレストレスによって減少します。 ...
ストローク: 50 mm - 600 mm
MPositioning Co., Ltd.
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