単軸ナノ位置決めステージ

ストローク: 100, 200, 300 mm
速度: 5 mm/s
繰返し精度: 0.015 µm - 0.02 µm

... LA97 - 真空リニアステージ・軸 ナノメータリニアステージ HV / UHV 最大 10E-11、移動量 100 - 300 mm、繰り返し精度 0.02 µm、最大荷重 10 kg - 真空：全領域 HV / UHV 最大10E-11 mbar - 潤滑：液体 10E-8 mbar まで / 乾燥 10E-11 mbar まで - 最高温度ベークアウト温度120°C オプションで設定可能 - マグネットタイプ、低マグネットタイプ、マグネットレスタイプがあります。 - ...

ストローク: 25, 100, 75, 50 mm
速度: 145, 500 mm/s
繰返し精度: 75 nm

... 当社の第2世代ANT95Lリニアステージは、ナノメートルレベルのモーションおよび位置決めニーズに対応する最先端のソリューションです。分解能、精度、再現性、サイズ、信頼性を兼ね備えたクラス最高のステージです。さらに、優れた動的性能と強化された耐荷重能力を備えたANT95Lステージは、プロセスを増幅するための優れた選択肢です。 -強化された第2世代設計 -最小0.5 nmのインクリメンタルモーションを実現 - NEW -ナノメートルレベルの位置決め性能を最大100 ...

積載量: 2, 1.5 kg

... ANT95Rダイレクトドライブ回転ステージは、前例のない位置決め内安定性と0.01秒以下のインクリメンタルモーション性能を提供し、2つの精度等級で提供されます。コンパクトなサイズで、他のモーション軸やシステムとの統合が容易です。 -0.01秒角の分解能 -0.005秒角の位置決め安定性 -優れた誤差モーション仕様 -多軸構成 -高い動的性能 -限定回転と無制限回転の両方に対応 多軸機能 ANT95Rシリーズは、AerotechのANTリニアステージ製品と互換性があり、簡単に統合できるように設計されています。これらのステージを組み合わせることで、ほとんどすべてのナノ製造または検査用途に精度、安定性、小型性能能力を提供します。 ...

ストローク: 25, 50 mm
速度: 0.2 m/s
繰返し精度: 75 nm

... 当社の第2世代ANT95LZステージは、垂直方向でナノメートルレベルの動きと位置決め性能を提供するために特別に設計されています。調整可能な超低摩擦空気圧式カウンターバランスにより、分解能、精度、再現性、サイズ、信頼性を兼ね備えたクラス最高のステージです。ANT95LZステージは、その優れた動的能力と強化された耐荷重性により、優れた垂直モーションが必要な場合に最適な選択肢となります。 -強化された第二世代設計 -最小1nmのインクリメンタルモーションを実現 - NEW -ナノメートルレベルの位置決め性能を最大50 ...

ストローク: 400, 600, 800 µm
速度: 8, 9, 10 m/s
繰返し精度: 3 nm

... 最高の位置決め性能とZスタック間の最速リカバリを提供するナノスキャン-SPシリーズのピエゾ駆動ステージは、適切なアダプタプレートを使用することで、多くの一般的な顕微鏡と同様にPrior電動ステージと互換性があります。高さ13.7mmの超薄型ステージは、400umおよび600umのクローズドループステージの特徴で、サンプルエリアの照明に適したアクセスを提供します。ウェルプレート、マイクロタイタープレート、スライド、ペトリ皿など、さまざまなサンプルに対応するアクセサリーインサートプレートが用意されています。 ...

ストローク: 1 mm

... DSMのナノ位置決め圧電 ZSA-1000Cステージは、走査、計測、検査プロセスにおいて、1mmの垂直移動範囲にわたって屈曲誘導運動を特長としています。 安定性と剛性の高いキネマティック設計は、最小限のロールとチルトで出力モーションの並列性を促進し、動的な応答性を実現し、優れた位置安定性と制御を実現します。 この段はDSMのSA-500と組み合わせることで、クローズドループ制御に高分解能の静電容量式プローブを使用して、指定されたスキャン領域で20nmの位置安定性と非常に安定した速度プロファイルを提供できます。 ...