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最大温度: 1,100, 1,150 °C
低温処理で高精度を発揮するLGOヒータ ―半導体拡散炉用細線ユニットヒータ― モルダサームヒータLGOは特に半導体拡散炉での高精度低温処理を実現するために開発された、軽量・高速昇降温タイプのセラミックファイバー断熱材ユニットヒータです。ヒータの線径がモルダサームヒータよりも細いため、蓄熱量がさらに少なく、従って高速昇降温が可能です。ねらった温度で安定するまでの時間が早く、均熱性に優れ、低温域処理での精度が抜群です。
Koyo Thermos Systems
最大温度: 1,250, 1,200 °C
コストパフォーマンスに優れ長寿命。HGCヒータ ―半導体用太線コイルユニットヒータ― 最高使用温度1250℃まで使用可能なHGCヒータは、比較的高温処理を繰り返し行う半導体拡散炉用のユニットヒータとして最適です。太線コイルによる熱源は耐久性に優れ、長寿命を実現しています。
Koyo Thermos Systems
... 製品名:拡散炉用発熱体 説明 Saxonburg拡散炉ヒーターは、SUSステンレス鋼のラップとセラミックファイバー断熱材を真空吸着一体化したもので、高品質の太陽電池や半導体製品のシリコンウェハーの製造に使用されます。 縦置き、横置きが可能で、使用温度は200~1350℃です。 メリット 先駆的な6部熱場設計により、極めて優れた温度均一性と省エネを実現。 優れた耐熱断熱性能により、炉のエネルギー消費が少なく、寿命が長い。 オプション 実際の使用状況に応じて、自由な図面設計を提供します。 ご予算に応じて、様々な材料を選択できます。 省エネエレメントや水冷シェルなどのオプションにより、炉の性能を最大限に引き出します。 詳細については、当社のウェブサイトを訪問するか、直接お問い合わせください。 ...
最大温度: 540 °C - 1,150 °C
... 製品名:Mlケーブルヒーター/ファーネス（丸型） 説明 Mlケーブルヒーターは、金属保護管、断熱材と発熱線から構成されています、 ユニークな構造と性能の利点を持っています。 メリット 強い高温抵抗 速い加熱速度 高い温度制御精度 強力な保護性能と長寿命 私達の選択： あなたの実際の使用に従って自由なデッサンの設計を提供しなさい お客様のご予算に応じて、様々な材質を選択できます。 内部コア数、保護スリーブの形状、絶縁材料の純度など、ご要望に応じてカスタマイズ可能です。 詳しくは弊社ホームページをご覧いただくか、直接お問い合わせください。 ...
出力: 1,050 W - 10,800 W
最大温度: 0 °C - 1,350 °C
Fibrothal®拡散炉用カセットは、太陽電池や半導体向けの高品質結晶シリコンウェハーの製造に適した、「コンセントを挿して加熱するだけ」のソリューションです。 拡散炉用カセットは、1350°C (2460°F)までの運転温度向けの、垂直または水平の発熱体を備えた低質量設計の製品です。 ご要望に応じたヒーターも提供することができます。
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