フォトリソグラフィシステム

... 柔軟性と信頼性で知られるEVG620 NTは、最小限のフットプリントで最先端のマスクアライメント技術を提供します。 オペレータに優しいソフトウェア、マスクや工具の変更にかかる時間を最小限に抑え、世界規模での効率的なサービスサポートにより、半自動量産まで、あらゆる研究開発環境に理想的なソリューションとなります。 このツールは、バックサイドアライメントのオプションである掃除機、ソフト、ハードおよび近接露出モードなど、さまざまな標準リソグラフィ処理をサポートします。 さらに、このシステムは、ボンドアライメントやナノインプリントリソグラフィなど、多目的構成のための追加機能を提供します。 ...

... EVG770は、効率的なマスター製造または基板上の複雑な構造の直接パターン化のためのステップアンドリピートナノインプリントリソグラフィ用の汎用性の高いプラットフォームです。 このアプローチにより、最大 300 mm の基板サイズの大面積で最大 50 mm x 50 mm の小型ダイからテンプレートを均一に複製できます。 ダイヤモンド旋削または直接書き込み方法と組み合わせて、ステップアンドリピートインプリンティングは、ウェーハレベルの光学製造またはEVGのSmartNILプロセスに必要なマスターを効率的に製造するために頻繁に使用されます。 ...

... IQ Aligner UV-NILシステムは、直径150mm～300mmのスタンプとウェハによるマイクロモールディングおよびナノインプリントプロセスを可能にし、高分子マイクロレンズの高並列加工に適しています。 このシステムは、ウェハサイズのマスタースタンプから複製されたソフトワークスタンプから始めて、作業スタンプとマイクロレンズ材料の様々な材料の組み合わせに容易に適応できるハイブリッドおよびモノリシックマイクロレンズ成形プロセスを提供します。 さらに、EVグループは、関連するすべての材料ノウハウを含む、適格なマイクロレンズ成形プロセスを提供しています。 ...

... PhableR 100は、Eulitha AGが開発した独自のフォトリソグラフィー技術PHABLE（Photonics Enablerの略）により、非接触の近接フォトリソグラフィー装置で高解像度な周期構造の印刷を可能にしたシステムです。PhableR 100で得られる解像度は、基本的にDUV投影露光装置と同じですが、複雑で高価な光学系やメカニクスを必要としません。例えば、ハーフピッチ150nmのリニアグレーティングを高い均一性で印刷することが可能です。さらに、PhableR ...