MBE装置

GEN200 MBEシステム 市場で最もコスト効果が高く能力の大きいマルチ4インチ生産MBEシステムです VeecoのGEN200® MBEシステムは、現在の市場で最も費用効果と能力の高いマルチ -4インチ生産MBEシステムです。本装置は、ポンプレーザー、面発光レーザーおよびヘテロ接合バイポーラトランジスタ（HBTs）のような装置用のGaAsまたはInPベースのウエハ成膜において、優れたスループット、長い稼働時間、優秀なウエハ品質をお届けします。 最低コストで4 ...

GEN930 研究開発 MBE システム 費用効率が高く、柔軟性のあるソリューションで、実証済みの優れた原料品質を実現 GEN930® MBEシステムは、窒化物および酸化物アプリケーション用の直接ポンプ カップリングと共に、III-VまたはII-VI族原料の開発に最適です。モジュール設計により、費用効率が高く、柔軟性のあるソリューションとなっており、実証済みの優れた原料品質を実現します。また、オプションの成長プロセスの in-situ モニタリング用分析装置も、ご依頼に応じて簡単に組み込むことができます。 費用効果的なモジュラー設計により、システム機能を必要に応じて拡張する柔軟性を実現 多用途プラットフォームの特徴は、いくつかの ...

GENxcel研究開発MBEシステム 直径 4 インチまでの基板上に高品質のエピタキシャル層を形成 新しいGENxcel™システムは、2013年8月の発売以来、最もよく売れているMBEシステムである、受賞歴のあるGENxplor™を拡張したものです。このシステムでは、GENxplorシステムの3インチ機能に比べて、単一の4インチ基板で質の高いエピタキシャル成長が可能です。GENxcelは、使いやすい手動搬送システムと12個のソース ポートを備えています。また、最新の電子機器が単一のフレーム設計に完全に統合されるため、研究所の設置効率を最大限に高めます。 ...

GEN10 MBE システム 自動ウエハ搬送により有効なシステム利用が可能 GEN10™ MBEシステムは、実績のあるプラットフォームにおける最も経済的で柔軟性のあるクラスタ ツール装置により、最高3つまでの構成可能な、材料に特化した成長モジュールが可能になります。これにより、有効なシステム利用が可能となり、複数の研究者が同時にシステムを使用し、無人で成膜およびキャリブレーションができるようになります。これをVeecoコンポーネント技術に結び付けることが、MBEコミュニティがアプリケーションの如何にかかわらずGEN10™ ...