防振プラットフォーム

高さ: 15 in - 48 in

概要 半導体製造工場（ファブ）、ナノテクノロジーセンター、ナノファブ、その他の精密製造と研究施設では、多くの場合、複雑な設備要件（配管、電気ケーブル、ガス配管など）に対応し、厳格な清浄度基準を維持するために、クリーンルームに疑似的な上げ床のシステムを組み込んでいます。このようなフロアは、振動にセンシティブな製品、検査機器、計測機器の設置に課題を提起します。上げ床はそのような機器に必要となる振動の少ない環境を提供することはできません。TMCのQuiet Islandは、上げ床部分のセクションと、下のサブフロアとしっかりと固定した「Quiet ...

積載量: 0 kg - 1,134 kg
高さ: 200 mm

... 標準のSTACIS Quiet Islandと同様に、このCompactバージョンは、通常1134kgを超える大型機器に対して優れたサブヘルツのアクティブな床振動キャンセレーションを提供します。 標準の静音島は380mm以上の床またはピットが必要ですが、コンパクト静音島はSTACIS IIIc薄型アイソレータとカスタムポケット付きプラットフォームを使用し、200mmという低い床高に対応します。 以下の画像は、標準とコンパクトクワイエットアイランドの高さの比較を示しています。 Quiet ...

概要 大型で背の高い機器を使って建物の床振動の除振している従来のラボの床は、人間工学的な課題を提起しています。除振装置を機器の直下に配置すると、機器が実用性のない高さになることがあります。さらに、従来の空気ばね式除振装置は、背が高く、重心の高い装置の下に一緒に近くに設置すると不安定です。 TMCのSTACISフロア定盤は、このジレンマを解決します。弊社のステンレススチール製定盤と、除振装置が定盤を抱きかかえるようなユニークな「リフトフッド」設計を組み合わせることで、機器を床から最小限の距離を持ち上げるだけでよくなります。また、除振装置は定盤と統合されていないため、機器の設置面積または他の所望の形状と適合するように定盤をカスタム設計することもできます。 STACISフロア定盤は、弊社のSTACISアクティブピエゾ式除振装置で構成されています。STACISの利点は： STACISピエゾ式除振装置は背の高い、重心の高い搭載装置から悪影響を受けません。重力不安定の危険はありません。 フロア定盤（TEMS）にマウントされた装置は、最も振動に対して繊細な機器で作られています。STACISは低周波の増幅がなく、市販されている最高の除振効果を提供します。 除振が必要な機器には、通常、内部に除振装置を搭載します。このシステムは、一般的に低周波空気ばね式除振装置であり、基本的には別の低周波空気ばね式除振システム上に設置できません。STACISは、どの機器の内部除振装置の下にも相性良く「積層」できます。 TMCは、定盤設計が機器の設置面積、構造要件、およびユーティリティ要件を確実に満たすように機器メーカーと密接に連携しています。 弊社は数百もの異なる機器の除振に成功しており、多くの機器の要件にも精通しています。ほとんどの場合、解決策を助言するために機器のメーカーとモデルを提供するだけで済みます。

積載量: 408 kg - 1,452 kg
幅: 895 mm
高さ: 160 mm

概要 SEM-Base®VIは、STACISアクティブピエゾ式除振の次世代製品です。SEM-Base VIは、すべての市販の走査型電子顕微鏡（SEM）と同様に多くの集束イオンビーム（FIB）と小型デュアルビーム計測器を支持するように設計されています。SEM-Base VIは、改善された除振性能、より高速で頑丈なコントローラー、そして高度なグラフィカルユーザーインターフェース（GUI）を提供します。SEM-Base VIは、多くのラボと施設の床振動レベルが機器メーカーの仕様を満たすことを可能にします。 ...

積載量: 818 kg

TOOL-Baseは、超精密測定機や超精密加工機に使用できるピエゾ素子を用いたアクティブ式除振台です。 この製品は、使用する装置が一般的なSEMより大きかったり、重かったり、または、設置場所の高さ制限がある場合に最適です。 TOOL-Baseは、使用する装置の寸法と重量等に合わせて、TOOL-Baseの寸法（幅×奥行×高さ）を決めることが出来ます。 頑丈な筐体―TOOL-Baseは、搭載する装置にパッシブ式除振台が内蔵されていても、頑丈な筐体により、搭載する装置の振動の影響は、受けにくいです。 アクティブ式除振―TOOL-Baseには、高感度の低周波慣性速度センサーを使用していますので、静かな設置場所でも、より多く除振できます。 ピエゾ素子を用いた直列式除振方法－独自の直列式除振方法とピエゾ素子を用いることにより、0.6Hzの振動から、除振することが可能で、２Hz以上の振動は、90%以上減衰できます。 本体寸法は自由に決定可能―TOOL-Baseの寸法（幅×奥行×高さ）は、除振台に搭載する装置に合わせて、決めることが出来ます。

幅: 440 mm - 540 mm
長さ: 540 mm - 640 mm
高さ: 100 mm

... VITAP-Fテーブルプラットフォームは、定評のあるFAEBI®ゴム製エアスプリングとノンリターンバルブ（オートバルブ）を採用したバリエーションモデルです。 外部の圧縮空気供給装置への接続は必要ありません。ハンドポンプが付属しています 技術データおよびバリエーション カラー RAL 7037、ダスティグレー ...

幅: 440 mm - 540 mm
長さ: 540 mm - 640 mm
高さ: 105 mm

... FAEBI®ゴム製エアスプリング、手動で高さ調節可能、荷重600～1,300N、垂直方向の固有振動数4.5～6Hz 一般的な製品説明 製品概要 VITAP-FPテーブルプラットフォームは、定評のあるFAEBI®ゴム製エアスプリングと微圧レギュレーターを搭載し、便利な高さ調節が可能なバリエーションです。 外部圧縮空気供給装置への接続が可能です。 テクニカルデータとバリエーション カラー RAL 7037、ダスティグレー ...

幅: 440 mm - 540 mm
長さ: 540 mm - 640 mm
高さ: 98 mm

... レベルコントロール機能付きBiAir®メンブレンエアスプリング、荷重750～2,000N、垂直固有振動数3Hz 一般的な製品説明 製品概要 VITAP-BM防振テーブルプラットフォームは、非常に効果的なBiAir®メンブレンエアスプリングと、荷重変化に対応した自動レベル補正機能を備えた機械-空気レベルコントロール（MPN）を備えたバリアントです。 外部圧縮空気供給装置への接続が可能です。 技術データおよびバリエーション カラー RAL 7037、ダスティグレー ...