精密ナノ位置決めステージ

ストローク: 100, 200, 300 mm
速度: 5 mm/s
繰返し精度: 0.015 µm - 0.02 µm

... LA97 - 真空リニアステージ・軸 ナノメータリニアステージ HV / UHV 最大 10E-11、移動量 100 - 300 mm、繰り返し精度 0.02 µm、最大荷重 10 kg - 真空：全領域 HV / UHV 最大10E-11 mbar - 潤滑：液体 10E-8 mbar まで / 乾燥 10E-11 mbar まで - 最高温度ベークアウト温度120°C オプションで設定可能 - マグネットタイプ、低マグネットタイプ、マグネットレスタイプがあります。 - ...

ストローク: 25, 100, 75, 50 mm
速度: 145, 500 mm/s
繰返し精度: 75 nm

... 当社の第2世代ANT95Lリニアステージは、ナノメートルレベルのモーションおよび位置決めニーズに対応する最先端のソリューションです。分解能、精度、再現性、サイズ、信頼性を兼ね備えたクラス最高のステージです。さらに、優れた動的性能と強化された耐荷重能力を備えたANT95Lステージは、プロセスを増幅するための優れた選択肢です。 -強化された第2世代設計 -最小0.5 nmのインクリメンタルモーションを実現 - NEW -ナノメートルレベルの位置決め性能を最大100 ...

ストローク: 0.4, 0.2, 0.1 mm

... NPXピエゾスタックリニアステージは、コンパクトなパッケージで、1軸、2軸、3軸の長移動とサブナノメートル分解能のモーションを提供します。高速応答と高速整定性能を備えており、高周波エラー補償、トラッキング、高速ステップ、連続スキャンなどの動的なプロセスで使用できます。 -サブナノメートルサイズの圧電素子による位置決め分解能 -X、XY、XYZのいずれかのモーション -圧電素子による移動範囲は最大400 µm。 -オプションでクローズドループ動作用の内蔵ストレインゲージを搭載可能 -高ダイナミックアプリケーションに対応する高い共振周波数 -真空バージョン 特徴 サブナノメートルの位置決め分解能 NPXピエゾスタックリニアステージは、0.2nmの位置決め分解能を持ち、分解能は制御電子機器のノイズによってのみ制限される超微細な調整を行うことができます。 大きなピエゾ可動範囲 NPXピエゾスタックリニアステージは、高信頼性、多層、低電圧の圧電トランスデューサースタックを採用し、高負荷サイクルのオペレーションを実現します。FEAで最適化された洗練された平行四辺形の固体フレクシャーガイドシステムにより、完璧な平行移動と最大400 ...

ストローク: 800 µm
速度: 17 m/s
繰返し精度: 6 nm

... OP800ピエゾ対物レンズスキャナーは、対物レンズポジショナーの中で最速のステップタイムとセトリングタイムを提供します。また、静電容量式フィードバックセンサーを搭載し、市場をリードする位置決め精度と分解能を実現しています。ほとんどの顕微鏡と対物レンズに対応し、対物レンズの大きさ、重さ、性能のニーズに応じて最適な設定が可能です。ユーザーは、アプリケーションに最適な設定を選択するだけです。 ...

ストローク: max 16.0 µm

... Piezosystem Jena のPXYシリーズは、圧電式アクチュエータをフレクチャーヒンジシステムに侵入するために使用されるXYナノポジショニングステージです。 これらの組み立てにより、ナノメートル精度の動的条件下でユニットを動作させることができます。 これは、軸あたり約 700ミクロンの走行範囲を備えています。 また、長期的な安定性とサブナノメートル精度のために設計された統合的なフィードバック制御を備えています。 このツールは、光学系、ファイバーの位置決め、レーザー技術、2Dスキャンモーション、自動および電波処理システムなどの特定のアプリケーションに最適です。 ...

ストローク: 5 mm - 80 mm

... ガイドテーブルシリーズ ミニボアø4.5～32mm。コンパクトな高剛性リニアガイドを搭載したテーブルタイプのスタンダードセレクションです。豊富なオプションにより、自由な機械設計が可能です。油圧式ショックアブソーバーやバンパーによるストローク調整が可能（内径10mmから）。 ...