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プラズマを利用した半導体薄膜プロセスにおいて、エンドポイントの検出またはプラズマのコンディション管理を行うための、発光分析方式のエンドポイントモニタです。 新開発のアルゴリズム“Rupture Intensity”により微弱な信号変化から的確にエンドポイントを検出できます。 微弱な発光変化を捉えるため、感度を大幅に改善。 またノイズ耐性を向上させることにより、24時間稼動する製造ラインの過酷な環境化で高い安定動作を確保します。 製造元：株式会社堀場製作所 ...
... レーザー誘起ブレークダウン分光法による証拠品の元素分析のための ECCO2は、紙、ガラス、金属、塗料、繊維、鉱物、銃器の残骸などを対象としたレーザーブレークダウン分光法（LIBS）の分析用に設計されており、300ミクロンの物質の元素分析が可能です。 このシステムでは、高強度のパルスレーザーを試料に照射して気化した物質をプラズマ化し、構成元素の原子スペクトルを発光させます。輝線のデータベースにより、存在する元素の識別とラベル付けが自動的に行われます。 ECCO ...
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