スパッタリング式貯蔵マシン

... 2SV2215MR垂直インラインスパッタリングシステムは、フラットガラス上への片面および両面多層スタックの成膜を目的としたモジュラーフレキシブルシステムです。 このインラインシステムは、建築用ガラス、太陽光発電用ガラス、額縁用ガラス、園芸用ガラスの製造に使用されます。 エンジニアリングとテクノロジー このシステムは、ロック室、搬送室、成膜室を備えたシングルエンド構造として設計されている。 ガラスのローディングとアンローディングのロボットステーションとキャリア交換マガジンがシステムの入出力側に配置されている。 カセットの横移動用チャンバーは、ガラスの第2面をコーティングするために、直接流路から逆流路へガラスを移動させる役割を果たします。 ガラスの保持と搬送には特注のキャリアが使用され、ガラスは傾くことなく垂直に配置されます。 ガラスとマグネトロンを垂直に配置することで、パーティクルのない成膜が可能になります。 リニアイオンビームソース（各ガラス面につき4個）は、ガラス面の前処理に使用されます。 各蒸着チャンバーは、ガラス両面の連続コーティング用に、カセットの直行および直帰用に2つの同様の隔離されたコンパートメントに仕切られています。 スパッタコンパートメントには、MF電源で駆動される高レートの二重回転マグネトロンが装備されています（各ガラス面につき13個の二重マグネトロン）。 各成膜コンパートメントは、ポンプダウンされたガス分離ゾーンによって隔離されている。 各デュアルマグネトロン用の独立したPEMチャンネルとマルチセクションガス供給マニホールド、および各成膜層の光学パラメータのその場測定により、最適なプロセス制御と必要なコーティング均一性が得られます。 ...

... ICMスパッタリングは、基板の形状によらず、均一性に優れた成膜が可能な特許取得済みの薄膜形成技術です。ICMスパッタリングは、従来のマグネトロンスパッタリングと同じプロセスで行われる。生成されたプラズマから正電荷のイオンが負にバイアスされたターゲットに衝突すると、原子が基板上に放出またはスパッタリングされて薄膜が形成される。 一般的なマグネトロンスパッタリングは平面状のカソードを使用するが、ICMスパッタリングは円筒状のカソードを使用する。円筒の中に基板があり、上下にスパッタリングするのではなく、基板に向かって内側にスパッタリングする。この形状により、成膜速度を犠牲にしたり、回転のためのプロセスステップを追加することなく、3次元基板や曲面基板上で高い均一性を実現することができます。 逆円筒形マグネトロンスパッタリングは、曲面、3D、または複雑な基板に均一なコーティングを必要とするアプリケーションに最適なオプションです。ICMスパッタリングは、精密光学部品に必要な再現性を提供し、レンズやその他の曲面へのコーティングをより合理的なプロセスで実現します。一般的に、全面をコーティングするためには、回転や遊星運動を加える必要がありますが、これではプロセスが遅くなり、複雑なコーティングプロセスになってしまいます。ICMスパッタリングでは、全面を一度にスパッタリングすることで、複雑さを軽減しながら、より厳密な均一性と制御を実現します。 ICMスパッタリングは、精密な光学系とともに、インプラントなどの医療機器のコーティングにおいても、非常に高い膜厚均一性を実現します。これらのアプリケーションでは、患者の安全を守るために信頼性が重要です。 ...

... 最新鋭のPST Line IIは、さまざまな基材に安定した高品質のワニスやメタルコーティングを施すためのインライン・モジュラーシステムです。 その圧倒的な処理能力は、1時間あたり最大7800枚の自動処理を可能にし、より少ないワニス使用量で常に優れた品質を保証します。世界中のパッケージメーカーのニーズに応える、経済的で環境に優しい装置です。 自動化されたPST Line IIコーティングシステムの利点は、人件費や材料費の劇的な節約、生産能力の向上、迅速な切り替え、オペレーターによる変動のないプロセスなど、非常に大きなものです。このシステムは、ニス引きとメタライゼーションの両方のプロセスに次のレベルの効率性をもたらします。 PST ...

... 中周波MFマグネトロンスパッタリングシステム 製品の説明 システム概要 マルチアークイオン＆スパッタリングコーティングは、幅広い色で成膜することができます。成膜プロセス中に反応性ガスをチャンバー内に導入することで、色の幅をさらに広げることができます。装飾コーティングに最も広く使用されている反応性ガスは、窒素、酸素、アルゴンまたはアセチレンです。装飾コーティングは、コーティング中の金属とガスの比率およびコーティングの構造に応じて、特定の色の範囲で製造される。これらの要因の両方は、蒸着パラメータを変更することによって変化させることができる。 蒸着の前に、部品は、表面に埃や化学的不純物がないように洗浄されます。コーティングプロセスが開始されると、関連するすべてのプロセスパラメータが連続的に監視され、自動コンピュータ制御システムによって制御されます。 ...