高速ポジショニングステージ

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リニアポジショニングステージ
リニアポジショニングステージ
LA80

ストローク: 1 mm - 500 mm
速度: 1 mm/s - 100 mm/s
繰返し精度: 0.3 µm - 5 µm

... LA80 高速UHVリニア軸 用途:高速搬送ステージ 利点:乾式潤滑にもかかわらず高寿命 特徴:乾式潤滑ボールねじ駆動 - 真空度: HV / UHV / EUVの全レンジ、10E-11 mbarまで - 磁気: 磁気 - 潤滑: 液体 10E-8 / 乾式 10E-11 mbar まで - 最高ベークアウト温度120°C オプション - 測定システム付きと測定システムなしのオプション - 用途に合わせた材料選択と真空潤滑 - 高速XYZ搬送システム(例:LA90、LA95、LA170)との組み合わせが可能です。 - ...

XYZ軸ポジショニングステージ
XYZ軸ポジショニングステージ
FSL120XYZ-TS

ストローク: 50 mm - 1,500 mm
速度: 500 mm/s
繰返し精度: 0.02 mm

... ボールねじモジュール、ベルト駆動リニアガイド、位置決めステージ、直交ロボット用モーションコントローラ。CE、FCC、RoHS、ISO9001認証取得。 多種多様な即出荷可能製品 10個からの数量割引 カスタムOEMソリューション プログラミングサービス OEMまたはカスタムデザイン、プロジェクトについてご相談ください。 1.ベルト駆動かボールねじ駆動か? 2.どのくらいのストロークが必要ですか?X=?Y=?Z=? 3.負荷容量と速度範囲は? 4.モーションコントローラ、ドライバ、電源は必要ですか? ...

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FUYU Technology
XYZ軸ポジショニングステージ
XYZ軸ポジショニングステージ
FPB60IS-WB

ストローク: 100 mm - 3,500 mm
速度: 4,000 mm/s
繰返し精度: 0.05 mm

... ボールねじモジュール、ベルト駆動リニアガイド、位置決めステージ、直交ロボット用モーションコントローラ。CE、FCC、RoHS、ISO9001認証取得。 多種多様な即出荷可能製品 10個からの数量割引 カスタムOEMソリューション プログラミングサービス OEMまたはカスタム設計が必要な場合は、こちらをご覧ください - https://www.fuyumotion.com/industry-solution FUYU Technologyは2011年に設立されたリニアロボットメーカーです。 国家ハイテク企業として、6つの発明特許、実用新案、外観特許、76のソフトウェア著作権を含む82の知的財産権が認可されている。 多軸位置決めシステムは、ストローク、精度、速度、負荷容量をカスタマイズするための複数のリニアモジュールで構成することができます。それらは広く医療機器、自動化製品ライン、電子産業などに使用されています。 産業工場として、我々はまた、OEMを受け入れる。お客様が機械設計を提供した後、当社のエンジニアは12時間以内に連絡し、リニアガントリーロボットのための最適なソリューションを提案します。 プロフェッショナルなサービスを得るために、私たちはあなたのプロジェクトのためにいくつかの質問があります:。 1.リニアモーションベルト駆動とボールねじのどちらのタイプをご希望ですか? 2.どのくらいのストロークが必要ですか?X=?Y=?Z=? 3.負荷容量と速度範囲は? 4.モーションコントローラーやその他のアクセサリーは必要ですか? ...

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FUYU Technology
縦型位置決めテーブル
縦型位置決めテーブル
FSL120-GS

ストローク: 50 mm - 1,500 mm
速度: 350 mm/s - 500 mm/s

... 技術的特徴 FSL120リニアモジュール、完全密閉構造、本体幅120mm、2つのガイドと4つのスライダ、高精度、複数セグメントの繰り返し位置決め、コンパクトな構造、強い汎用性、特殊な環境での使用に適しています。 適用範囲 単軸、多軸と組み合わせて使用することができます。様々な業界で要求されるワークとのマッチングが容易で、シンプルで実用的なメカニカルアームとなります。主に、フィルム、減価償却、IC印刷、CCDオンライン検査、はんだ付け自動化装置の精密位置検出、レーザープラス(レーザー切断/レーザーマーキング/レーザー彫刻/レーザー穴あけなど)の精密組立、精密工作機械、半導体製造装置、位置検出、電子機器製造装置、3D印刷装置などの電子機器や医療機器などの特殊分野や、防塵作業場で使用されています。 シリーズFSL120 ストローク範囲50mm-1500mm 位置精度:0.02mm 最高速度:500mm/s 最大荷重:100kg ボールねじ。G1610/G2020 ...

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FUYU Technology
リニアモータ駆動ポジショニングステージ
リニアモータ駆動ポジショニングステージ
E-MCPA-XY

ストローク: 100 mm
速度: 0 mm/s - 500 mm/s
繰返し精度: 0.1 mm

... 小型リニアモータ コプレーナエアベアリングステージ 磁気プリロードエアガイド ...

リニアポジショニングステージ
リニアポジショニングステージ
E-LMS250GT-X

速度: 2 m/s
繰返し精度: 0.3 mm

... E-LMS250GT-Xリニアモータプラットフォームは、ベースとして高品質の花崗岩を使用し、高剛性リニアローラーガイドレールと鉄芯リニアモータを備えています。 平坦度、真直度、負荷容量に優れ、一般的に大型移動位置決め設備の基本モジュールとして使用される。 花崗岩ベース、優れた剛性と安定性、高い平面度。 C-LUBE技術によるリニアガイドレール、最大5年間の無潤滑サイクル。 高効率、非接触モーター、高速、高速安定性。 優れた拡張ストロークと負荷容量 顧客の生産要件に基づく迅速な納品。 高速リニアステージ ...

門型ポジショニングステージ
門型ポジショニングステージ

ストローク: 50 mm - 1,000 mm
速度: 200,000 mm/s
繰返し精度: 0.5 µm - 1 µm

... 広い作業領域を持つガントリースタイルの直交ロボット。すべての可動軸は作業エリアの上部に配置されています。 - XYZガントリー 300 x 300 x 50 mm移動 - ボールねじ機構 - ステッピングモーターまたはサーボモーター駆動 オプション - 移動ストロークの大小 - 精密グレード - ボールねじリード - モータータイプ(ステッパーまたはサーボ/エンコーダー) - ロータリーテーブル設置 VISUAL IMACアイコンベースのコントローラーで簡単プログラム。コードを一行も書く必要なし! ...

XYZ軸位置決めテーブル
XYZ軸位置決めテーブル
XYZ-BSMA-LY-140H-300X300X300

ストローク: 300 mm

... 精密ボールねじを使用した薄型電動アクチュエータは、非常にコンパクトで薄型のユニットで、卓越した精度、再現性、1ミクロンの超微細位置決め分解能を提供します。光学、レーザーアプリケーション、真空操作など、スペースクリティカルなアプリケーションに最適です。 ストローク X x Y x Z : 300x300x300 mm ボールねじリード : 4 mm モーターマウントNema17 モータータイプ : ステッパー エンコーダ付きサーボ (4000cpr) 繰り返し精度:±8ミクロン 耐荷重:5kg 最大ねじ速度:10 ...

XY軸ポジショニングステージ
XY軸ポジショニングステージ
XY-OF-100x100J-MLVT-25J-RTLA-30-100HJ

ストローク: 200 mm
速度: 100 m/s
繰返し精度: 2 µm

... XYボールネジ駆動オープンフレームXYステージとリフトMLVTステージ、コンパクトウォームギア回転RTLAテーブルの組み合わせ - XYストローク 100mm~300mm - リフト量 12mm~25mm - 無制限回転 ...

リニアポジショニングステージ
リニアポジショニングステージ
X-LDQ-AE

ストローク: 75 mm - 1,000 mm
速度: 1.5 m/s

... リニアモーターステージにコントローラを内蔵することはできますか? (慎)はい! コントローラ内蔵のZaberの新しいリニアモーターステージ「X-LDQ-AE」をご紹介します。 これは、その種の最初のものです-1-2-3と同じくらい簡単にセットアップします。 これらのデバイスは事前にチューニングされ、Zaberのフリーソフトウェアにより、チューニングパラメータをすばやく簡単に調整できます。 ゼロ・バックラッシュ、1.5 m/s、2.5 µm 精度、1000 mm ...

リニアモータ駆動ポジショニングステージ
リニアモータ駆動ポジショニングステージ
MLC5

ストローク: 52 mm - 5,716 mm
速度: 9 m/s
繰返し精度: 5 µm

... MLC5 リニアモータステージ:オートメーション用電気機械式アクチュエータ MLC5はISO3クリーンルーム認定を受けたカバー付きリニアモータステージです。その堅牢な設計により、汚れた環境や厳しい環境でのアプリケーションに最適です。高品質のガイドシステムを装備し、精度を高めるために回転ボールケージをオプションで取り付けることができます。中央潤滑システムにより、スムーズで効率的な動作を保証します。 このリニアモータステージの情報 このリニアモーターステージの能力 測定システムの繰り返し精度:± ...

リニアポジショニングステージ
リニアポジショニングステージ
DSP50

ストローク: 10 mm
速度: 1 mm/s

回転ポジショニングステージ
回転ポジショニングステージ
RF series

速度: 420, 280 mm/s

電動機器ならではの多点位置決めによる汎用性・省エネ・低衝撃を実現 小型回転軸タイプ。高剛性軸受け仕様もラインナップ。 サーボとステッピングの利点を融合した新制御方式 ステッピングモータは価格が安い、停止時にハンチング(微振動)がないなどの特長があります。しかしながら、脱調による位置ズレが発生する(オープンループの場合)、高速域でトルクが大幅に低下する、停止時の消費電力が大きいなどの欠点もあります。ヤマハのトランサーボは、クローズドループ制御なので完全脱調レス。さらに、新開発のベクトル制御方式を採用したことで高速域のトルク低下が少ないことに加え、省エネ、低騒音です。ステッピングモータを使いながらサーボモータ同様の機能、性能を低コストで実現しました。 省エネ 基本的な制御はサーボモータと同様のため、無駄な消費電力を抑えて省エネ・CO2削減に大きく寄与します。 停止時のハンチングなし 一般的なステッピングモータ同様の「ハンチングなし」の停止モードも設定できますので、必要に応じてお選びください。 耐環境性に優れたレゾルバ採用によるクローズドループ制御 モータの位置検出には弊社上位機種と同様、信頼性に定評のあるレゾルバを採用しています。 粉塵やオイルミストなどの悪い環境下でも安定した位置検出が可能です。 また、1回転あたり20480パルスと高い分解能を誇ります。

Z軸ポジショニングステージ
Z軸ポジショニングステージ
P-725 series

ストローク: 100, 400, 800 µm
繰返し精度: 10, 50 nm

... - 移動範囲100 µm、400 µm、または800 µm - モーター駆動に比べ、応答速度が格段に速く、寿命が長い - nm以下の分解能での対物レンズの微細位置決め - 静電容量式センサーによる直接位置測定最高の直線性 - Metamorph®イメージングソフトウェアとの互換性 - Ø 29 mmの大きなクリアアパーチャー - 3Dイメージング - スクリーニング - 干渉計 - 測定技術 - オートフォーカスシステム - バイオテクノロジー - 半導体検査 PICMA®ピエゾアクチュエーターによる卓越した寿命 PICMA®ピエゾアクチュエータはオールセラミック絶縁です。これにより、湿度やリーク電流の増加による故障からアクチュエータを保護します。PICMA®アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータに比べ、最大10倍の長寿命です。1,000億サイクルで1回の故障もないことが証明されています。 静電容量式センサーによるサブナノメートルの分解能 静電容量式センサーは、接触することなくサブナノメートルの分解能で測定します。優れた直線性、長期安定性、kHz帯域幅を保証します。 ゼロプレイフレクシャガイドによる高いガイド精度 フレクシャーガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑も不要です。剛性が高いため高負荷容量が可能で、衝撃や振動の影響を受けません。広い温度範囲で使用できます。 ...

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Physik Instrumente
縦型ポジショニングステージ
縦型ポジショニングステージ
GTS series

ストローク: 70, 30 mm
速度: 5, 10 m/s

... GTS-Vシリーズステージは、他のプラットフォーム垂直ステージと比較して、最長の移動範囲、最高速度、最高の精度と再現性を実現しています。半導体ウェハー検査、ナノテクノロジー、自動デバイスアライメント、計測、品質管理プロセスなどのアプリケーションに最適なステージです。 -コンパクトなユニットで30mmまたは70mmの精密上下移動が可能 -どの方向からでもペイロードにアクセスできます。 -縦型アンチクリープクロスローラベアリングによるリップルフリーモーションと優れた軌跡精度 -リニアエンコーダ搭載により、高感度、優れた再現性、高精度のモーションを実現。 ダイレクト・バーティカル・ガイド GTS30Vはアンチクリープ・クロスド・ローラー・ベアリング、GTS70Vはリサーキュレーティング・ボール・ベアリングを組み合わせたダイレクト・バーティカルガイドシステムにより、高精度の上下運動を実現しました。これらのリニアガイドは、最も直線的な軌道、スムーズで正確な動き、そして堅牢で長期の稼働を実現するために選択されました。さらに、GTS30Vのクロスローラベアリングは、計測レベルのアプリケーションで重要な、より静かでリップルのない動きを実現するという利点もあります。 高効率ドライブトレイン 折りたたみ式DCモーターと精密研磨された低摩擦リードスクリューにより、高負荷時でも非常に滑らかな動きを実現しました。また、モータとリードスクリューの間に減速ベルトを設けることで、出力トルクの向上とサーボ感度の低減を実現し、100nmのMIMを保証しています。 ...

リニアポジショニングステージ
リニアポジショニングステージ
TKK series

ストローク: 0 mm - 2,860 mm
速度: 1.3 m/s - 1.5 m/s

... - あらゆる用途に対応するドライブシステムとしてフレキシブルに構成可能 - 4種類のサイズを用意し、長さ単位を細かく設定可能 - 高い剛性、位置決め精度、再現性 - 移動範囲全体にわたって高精度の手順動作を実現 - 適切なレックスロスモーターと豊富なアクセサリー ...

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Bosch Rexroth - Linear Motion Technology
リニア位置決めテーブル
リニア位置決めテーブル
LT series

IKOリニアモータテーブルLTは、アルミニウム合金製の可動テーブルとベッドの間にACリニアサーボモータを組み込み、光学式リニアエンコーダを内蔵したコンパクトで高精度な位置決めテーブルです。コンパクトシリーズのLT・・・CE、ロングストロークシリーズのLT・・・LD及びハイスラストシリーズのLT・・・Hの3つのシリーズを用意しており、用途に合わせて選択できます。リニアモータテーブルLTは、軽量な可動テーブルと大きな推力により、高加減速・高応答な動作を可能とします。さらに、先進のサーボ技術が、高い静止安定性と速度安定性を実現しています。リニアモータテーブルLTは、半導体・液晶関連装置や、高速での作業を要求される測定器・組立機及び搬送機などの用途に最適です。

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IKO Nippon Thompson Europe
回転ポジショニングステージ
回転ポジショニングステージ
XRT-A

... XRT-Aは、スティックスリップピエゾモータによって駆動されます。 XRT-Aの特許取得済みのベアリング技術により、回転中でもラジアル誤差の動きをナノメートルレベルまで積極的に補償することができます。 これにより、XRT-Aはユニークで、市場で最も正確なピエゾ回転ステージになります。 500nm 未満の半径方向誤差動作により、XRT-Aは加圧された空気と大容量を必要とせず、有利な価格で空気軸受の精度を実現します。 その結果、XRT-Aは、圧度回転が必要な真空および磁気アプリケーションに最適なソリューションです。 ...

リニアポジショニングステージ
リニアポジショニングステージ
LMS M series

ストローク: 400, 175 mm
速度: 4.8 m/s
繰返し精度: 3 µm

... - PnPサイクル<0.4秒 - 1億サイクルのメンテナンスフリー - 高剛性 標準化されたLMS M 2軸システムは、質量最適化のために互いに直接接続された2軸が十字に配置されています。非常にコンパクトで、一体型で本質的に剛性の高い設計は、直立アプリケーション(Z/Y軸)と水平クロステーブルアプリケーション(X/Y軸)の両方に使用できます。最大5kgまたは10kgの質量を、最大のダイナミクスと最高の精度で位置決めできます。用途に応じて、オプションの重量バランスと保持ブレーキでシステムを補完することができます。豊富なオプションにより、数多くのアプリケーションが可能です。 LMS ...

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KML Linear Motion Technology GmbH
傾斜ポジショニングステージ
傾斜ポジショニングステージ
EZ-0730

ストローク: 850, 500 mm
速度: 1,500, 500 mm/s
繰返し精度: 40, 20 nm

... インテリジェントな設計により、EZ-0730ステージは最高の剛性と優れた再現性を実現し、軸のクロストークを最小限に抑えます。 内蔵機能 高い加速度でもクロストークを最小限に抑えるインパルスデカップリング。 下部スライドにカーボンを使用することで重量を最適化。 熱膨張率が0に近いカーボン構造を採用し、有害な温度影響を最小化。 高度な加圧メンブレン技術による高精度チップ/チルト調整機能を備えたフラット11ゾーン真空クランプ装置内蔵による高剛性チャック。 ...

真空対応ポジショニングステージ
真空対応ポジショニングステージ
MT105 series

ストローク: 30, 50, 100 mm
速度: 5, 50 mm/s

... - 真空:全レンジ HV / UHV / EUV 最大10E-11 mbar - 潤滑液:最大10E-8 / ドライ:最大10E-11 mbar - 最大ベークアウト温度120°C オプションで設定可能 - 磁性体、低磁性体、磁性体なしのバージョンがあります。 - 最大2種類のモーターを使用し、高負荷の動作に対応 - 異なるモーターバリエーション。ナノモーション、ピエゾモータ、リニアモータ - XYZ位置決めシステムとの組み合わせが可能 - 回転テーブル(例:DT105)との組み合わせで、回転アプリケーションに対応可能 - ...

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Steinmeyer Mechatronik GmbH
XY軸ポジショニングステージ
XY軸ポジショニングステージ

ストローク: 200, 175 mm

トランスレーションポジショニングステージ
トランスレーションポジショニングステージ
960-0070-03 series

... 電動移動ステージは頑丈なプラットフォームで作られています。ボールベアリングのリードスクリューを使用し、高速でスムーズな動きを実現します。 960-0070-03はソリッドプラットフォームを採用しています。960-0070-03BS1は960-0070-03LSと異なり、高速移動用に設計されています。リードスクリューにボールベアリングを採用し、高速でスムーズな動きを実現しました。 ...

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