高速ナノ位置決めステージ

ストローク: 25, 100, 75, 50 mm
速度: 145, 500 mm/s
繰返し精度: 75 nm

... 当社の第2世代ANT95Lリニアステージは、ナノメートルレベルのモーションおよび位置決めニーズに対応する最先端のソリューションです。分解能、精度、再現性、サイズ、信頼性を兼ね備えたクラス最高のステージです。さらに、優れた動的性能と強化された耐荷重能力を備えたANT95Lステージは、プロセスを増幅するための優れた選択肢です。 -強化された第2世代設計 -最小0.5 nmのインクリメンタルモーションを実現 - NEW -ナノメートルレベルの位置決め性能を最大100 ...

ストローク: 25, 50 mm
速度: 0.2 m/s
繰返し精度: 75 nm

... 当社の第2世代ANT95LZステージは、垂直方向でナノメートルレベルの動きと位置決め性能を提供するために特別に設計されています。調整可能な超低摩擦空気圧式カウンターバランスにより、分解能、精度、再現性、サイズ、信頼性を兼ね備えたクラス最高のステージです。ANT95LZステージは、その優れた動的能力と強化された耐荷重性により、優れた垂直モーションが必要な場合に最適な選択肢となります。 -強化された第二世代設計 -最小1nmのインクリメンタルモーションを実現 - NEW -ナノメートルレベルの位置決め性能を最大50 ...

IKOナノリニアNTは、鋼製の可動テーブル部にマグネットと光学式リニアエンコーダ用スケール、鋼製のベッドに固定子コイル、リニアエンコーダ用ヘッドなどを配置した、機能美に優れたコンパクトなリニアモータテーブルです。 テーブルの案内部には、長期メンテナンスフリーを実現したCルーブリニアウェイLの採用により、メンテナンス工数の削減に貢献します。可動子には、高性能ネオジウム磁石を採用により、極めて小形でありながら最大推力36Nを発揮するので、高速・高応答な位置決めを可能にします。また、機械的接触部分は、リニアウェイのみなので高いクリーン度を実現します。 ...

ストローク: 1 mm

... DSMのナノ位置決め圧電 ZSA-1000Cステージは、走査、計測、検査プロセスにおいて、1mmの垂直移動範囲にわたって屈曲誘導運動を特長としています。 安定性と剛性の高いキネマティック設計は、最小限のロールとチルトで出力モーションの並列性を促進し、動的な応答性を実現し、優れた位置安定性と制御を実現します。 この段はDSMのSA-500と組み合わせることで、クローズドループ制御に高分解能の静電容量式プローブを使用して、指定されたスキャン領域で20nmの位置安定性と非常に安定した速度プロファイルを提供できます。 ...