コンパクトナノ配置システム

繰返し精度: 50 nm
ストローク: 17, 102, 62 mm

... 大型のSMARPODは、X方向に102mmの大きな移動量を提供する平行配向のSLC-24ステージをベースにしています。 SMARPOD P-SLC-24は、最大5Nの可搬重量を扱うことができ、円形のSMARPODSとは異なるメカニズムに基づいています。ほぼ同じサイズで、P-SLC-24はX方向に102mmと非常に大きな移動量を提供します。 P-SLC-24の回転移動量は、トッププレート表面のピボットポイントでの値です。 ポーズによっては、システム全体の寸法が大きくなる場合があります。詳しくはダウンロードエリアのCADモデルをご覧ください。 繰り返し精度は、各システムのトッププレートから約20mm上方で、全移動範囲にわたって、一度に1自由度ずつ測定しています。短い移動範囲では値が良くなる場合があります。 その他のサイズやトラベルについては、いつでもお気軽にお問い合わせください。 ...

... ナノメートル精度で物体と構造を位置決め、操作、加工、測定 - 世界で最も精密なナノ位置決めおよびナノ計測装置 - 測定および位置決め範囲 25 x 25 x 5 mm - 分解能0.1 nm - 最高精度の3次元位置決め測定システム - レーザーフォーカスセンサー、原子間力顕微鏡、白色光センサー、3Dマイクロスキャナーなどのプロービングシステム - オープンデバイスアーキテクチャーにより、カスタマイズされたセンサーの適用が可能 - NMM-1はPCソフトウェアで制御。ユーザーAPIが利用可能です。 三次元座標測定用のナノ位置決めおよびナノ測定機は、25 ...

... AFM用平面レーザー干渉計測・位置決めシステム - 最高精度の2.5D位置決め測定システム - 測定および位置決め範囲：表面Ø 100 mm - 横方向の測定分解能 ≤ 0.02 nm - 制御：3つのファイバー結合ディファレンシャル干渉計 - 干渉計の光源に波長633nmのHeNeレーザーを使用することにより、測定再現性を実現。 - プロービング測定システムとして原子間力顕微鏡を使用。 - オープンデバイスアーキテクチャーにより、お客様独自のセンサーの適用が可能 - ...