レーザーマイクロ加工機

X軸移動距離: 280 mm
Y軸移動距離: 350 mm
Z軸移動距離: 260 mm

部品処理、モーションコントロール、リアルタイムの位置決めフィードバックを組み合わせた業界最先端のML-5超高速レーザー微細加工プラットフォームにより、完璧な穴やその他の機能を数秒で加工できます。同時に、このソリューションは、工具の摩耗や熱影響ゾーンのない幅広い材料を加工できるため、超高表面品質とエッジ品質を実現します。 セットアップと処理時間の最適化 このソリューションの統合測定およびビジョンシステムにより、微細加工を新しいレベルの品質、自律性、生産性に導きます。パーツ位置の自動検査とリアルタイムフィードバックにより、品質と精度が向上し、オペレーターの時間が短縮され、すべてのステップが ...

... 半導体、太陽電池、ガラス、ディスプレイ市場向けのレーザー微細加工およびロール・ツー・ロール・レーザーシステムの業界リーダーであるマイクロマック社は、本日、高速アトム・プローブ・トモグラフィー（APT）および断面試料作製用のmicroPREP™ PRO FEMTOレーザー微細加工システムを発表した。 原子スケールの材料分析に不可欠なニーズを満たすmicroPREP PRO FEMTOシステムは、フェムト秒レーザーと最適化された光学セットアップを特徴としており、集束イオンビーム(FIB)ミリングでは何時間もかかる材料を数分でミクロン単位の精度で除去することができ、同時に試料への機械的・熱的損傷を回避することができます。microPREP ...

... 200fsまでのFEMTO光源 光源波長：近赤外（1030 nm） 5軸プリセッションヘッド ビジョンシステム、ビームアッテネータ、シャッター、ビームアナライザ、パワーレコーダ マシンクラス1 (I), FEMTO-LASER クラス4 (IV) 専用多機能ソフトウェア シーメンス 840 D SL、安全統合CNC 装置温度 +/- 1℃、オーバープレッシャー環境下での運転可能 技術的ハイライト: 焦点距離測定 交換可能なクランプ装置 高精度位置決めX-Yテーブル(300×300mm) リポジショニング確認用カメラ 除塵装置 MONO構成（試作・量産1ヘッド機） 製品メリット: 穴品質の再現性 マシンキャリブレーション精度 ...

X軸移動距離: 500 mm
Y軸移動距離: 300 mm
Z軸移動距離: 300 mm

... 直線エッジの微細加工と時計装飾のための自律型高精度産業機械 LS-Precess モジュール統合 LS-Precessモジュールは、機械のガルバノスキャナーと組み合わせることで、非常に高い加工精度を実現します。市場でユニークなバイパス機能により、加工された部品は再加工することなく、直接装飾や彫刻を施すことができます。 精度と柔軟性 この独創的なアプローチにより、柔軟性、精度の向上、卓越した加工結果（カッティング面と加飾の精巧さ）の品質が実現します。また、この組み合わせにより、従来の型抜き技術に比べてサイクルタイムを短縮することができます。 サポートとフォローアップ 特別追加トレーニングコース 生産の自律性を拡張する可能性（ロボット、パレタイザー） 個別レイアウトの作成 高速加工用の可視光2倍の高出力レーザー（フェムト40W ...

出力: 500 kW

... スキャン速度： ≤3280′ /秒 スキャンリピート位置決め精度：±5μm レーザー高速マイクロ加工は、マイクロ穴の処理に不可欠な、そして広く使用されているレーザー法の一つです。加工対象物の厚みが薄くなり、穴の母密度が高くなると、従来の機械加工や検流計による走査では期待する速度や精度に達しない。従来のガルバノメーター走査装置と比較して、ナノ秒高繰り返しレーザーによる高速ポリゴンミラー走査は、高速レーザー精度マイクロホールアレイを効果的に実現し、大きな需要のある研究プロジェクトを解決することができます。 技術的な変数 機械サイズ: ...

出力: 5 W - 80 W
総重量: 116 kg

... SIGMA LS レーザーマイクロマシニングサブシステムは、汎用性と容易な統合を目的として設計されたレーザーマイクロマシニングモジュールです。 SIGMA LS サブシステムは、アマダウェルドテックのフルサイズ Delta および SIGMA Laser Micromachining システムと同様に、高精度レーザーアブレーションや選択アブレーション、穴あけ、表面テクスチャリング、マーキングなど、幅広いレーザー微細加工アプリケーションの加工ソリューションを提供します。 ...

... precSYS 5軸微細加工システム 微細加工サブシステムprecSYSは、レーザー切断や構造化を含む柔軟な形状のレーザー微細加工と穴あけを可能にします。超短パルス(USP)レーザー用に設計されたprecSYSは、後処理なしで可変の穴と構造の非常にクリーンな加工を可能にします。 precSYSは、最先端のハイエンドスキャン技術、統合制御、組み込みPCとユーザーフレンドリーなソフトウェアを兼ね備えています。これにより、究極のダイナミック性能と精度を備えたレーザー微細加工が可能になります。 グラフィカル・ユーザー・インターフェース（GUI）を備えたソフトウェア「DrillControl」は、微細加工ジョブの作成、シミュレーション、テストを簡単に行うことができます。 堅牢な構造のスキャンシステムは、産業用途に最適化されています。コンパクトなモジュール式の設計で、特別に適合されたハードウェアとソフトウェアのインターフェースを備えているため、顧客固有のレーザー加工機や自動化されたIoT（モノのインターネット）環境に簡単に統合することができます。 このシステムは、1030nm、1064nm、515nmの波長のUKPレーザーに対応しています。 主な利点 - ...

... シングル/ダブルメサガラスパッシベーションダイオードのウエハ切断・ダイシング、シングル/ダブルメササイリスタのウエハ切断・ダイシング、ガリウムヒ素、ガリウムナイトライド、ICウエハ切断・ダイシングなど半導体集積回路に広く使用されています。 ピコ秒レーザースクライビングの原理（透明材料のフォーカスバースト切断）。 ベッセル光学系またはDOE光学系を通して、ガウシアンレーザー光は回折限界まで圧縮されます。100～200KHzの高い繰り返し周波数と10psの非常に短いパルス幅のレーザービームの作用により、集光スポット径は3μmと小さくなり、非常に高いピークパワーを持つようになります。密度、透明材料内部に集光すると、その部分の材料を瞬時に蒸発させて気化帯を生成し、上下面に拡散して非線形亀裂を形成し、材料の切断・分離を実現する。ガラス、サファイア、半導体シリコンウェハー（赤外線は半導体シリコン材料を透過する）など、一般的な透明材料はピコ秒・フェムト秒レーザースクライビングに適しています。 特徴 複数のレーザー動作モードとビームシェーピングにより、切り込み品質と効率性を確保 独自の波面補正技術により、高精度な加工と安定性を実現 自動位置決め、自動焦点、自動検出により、生産収率を確保 大型グラフィックの自動スリットまたは手動スリット選択を実現し、スプライシング精度は±1umと高い。 反りフィルム、TAIKOフィルム転写フィルム対応 ...