精密回転軸

直径: 225, 100, 155 mm

... DynXロータリーシリーズは、精密回転位置決め軸のファミリーです。 3つの異なる直径を組み合わせた製品群を備えたDynXロータリーシリーズは、高い信頼性、優れた精度、低メンテナンス、容易な統合が必要なすべてのアプリケーションに最適な標準ソリューションです。 DynXロータリー製品は、リニア製品に最適な加算器です。 直線軸と回転軸のインターフェースにインターフェースプレートが不要なため、コンパクトな設計、高剛性で正確な積み重ねソリューションが実現します。 ロータリーステージには、高速安定性アプリケーションに最適な滑らかな動きを提供する歯のないモータ技術が装備されています。 ...

... DXR + は、コンパクトな設計、軽量、大型の中空シャフトを特長とし、半導体および電子機器のミッドエンド用途に適した性能とコスト比を提供するETELのロータリーモジュールです。 DXR + は剛性の点で大きな改善をもたらし、それをサポートするXY 段階の制御帯域幅に直接影響を与えます。 DXR + モジュールは、48VDCから最大 300VDCバス電圧まで動作可能です。 この装置は、AccurETモジュラー48または300で駆動することも、より良い位置安定性の要件のためにAccurET ...

トルク: 439 Nm

... RTMB+は、2つの異なる直径、アクティブな長さ、サイズごとの巻き数を提案する高精度インデックステーブルのシリーズです。RTMB+は、ETEL TMB+ダイレクトドライブトルクモーターを搭載しており、市場で最も優れたモーター定数（Nm/√W）の恩恵を受け、低消費電力で割出し時に非常に高い加速度を得ることができます。 ...

... DXRHは、ETELの回転軸ソリューションに新たに加わったものです。1自由度のメカニカルベアリングをベースにした回転軸で、精度と精度の面で優れた性能を発揮します。 360,000ラインのエンコーダとエアベアリングに匹敵する機械的特性を備えたDXRHは、ハイデンハインの最高クラスのエンコーダとベアリング技術、そしてトルクリップルのないETELダイレクトドライブ技術によるトゥースレスモータを心臓部に搭載しています。 標準のETELインターフェースと完全に互換性のあるDXRHモジュールは、スタンドアロンモジュールとして、またはETELシステムのポートフォリオに統合されたモジュールとして利用できます。また、インターフェイスが同一であるため、再設計なしですべてのDXR+ベースのアプリケーションにパフォーマンスのアップグレードパスを提供します。 DXRHロータリモジュールは、CHARON2とVULCANO2の積層型プラットフォームに組み込むことができます。ステンレススチール製の設計により、高剛性、高精度、高精度、高クリーン度、低熱誘導変形を実現しています。 半導体アプリケーションを容易にすることに焦点を当て、高精度で高精度な回転ソリューションを必要とするあらゆる市場やニーズにマッチしたモジュールです。 DXRH回転モジュールは、様々なアプリケーションや産業に適しており、特にオーバーレイ計測、クリティカルディメンション、薄膜計測、フォトニクスなどのウェハプロセスコントロールアプリケーションに適しています。 ...