組合せモジュール配置システム

繰返し精度: 0.02 mm - 0.1 mm
積載量: 3 kg - 120 kg
速度: 100 mm/s - 4,000 mm/s

... 直線運動XYZステージガントリーロボット多軸位置決めガイドシステムベルト駆動アクチュエータ ボールねじモジュール、ベルト駆動リニアガイド、位置決めステージ、直交ロボット用モーションコントローラ。CE、FCC、RoHS、ISO9001認証。 多種多様な即出荷可能製品 10個からの数量割引 カスタムOEMソリューション プログラミングサービス OEMまたはカスタム設計が必要な場合は、こちらをご覧ください - https://www.fuyumotion.com/industry-solution FUYU ...

... XYZステージ 多軸位置決めテーブル リニアガントリーシステム 直交ロボット 技術的特徴 FSL40リニアガイドは、アルミプロファイル、ボディ幅40ミリメートル、高い安定性、コンパクトな構造、汎用性の高い機能、通常の作業環境に適しており、それは、単軸または多軸を使用するのに便利で、さまざまな産業のための簡単な機能的な使用ロボットアームを組み立てる。 応用範囲 正確な位置決め、分注、スプレー塗装、外観検査、移動、つかみ、切断、溶接、自動組立、自動ロックネジ、パレタイジングなど。例えばPCB基板検出、光ディスク積層装置、部品ピック＆プレース。 シリーズFSL40IS-L ストローク範囲50mm-1000mm 位置精度：0.03ミリメートル 最高速度: ...

... シリーズFSK40 ストローク範囲50mm~1000mm 位置の正確さ: 0.03mm 最高速度: 255mm/s 最大負荷: 25キロ ボールねじ：G1204/G1605/G1610 ボールねじモジュール、ベルト駆動リニアガイド、位置決めステージ、直交ロボット用モーションコントローラ。CE、FCC、RoHS、ISO9001認証。 多種多様な即出荷可能製品 10個からの数量割引 カスタムOEMソリューション 付加価値サービス 新しいソース、新しい価格、新しいチャンス。 FUYU ...

繰返し精度: 1 µm
積載量: 15 kg
ストローク: 200 mm - 1,000 mm

... 高度にダイナミックなアプリケーションに対応するXYZガントリー カスタマイズ可能 - 高精度かつダイナミックなアプリケーションに最適 - 1300 x 800 mmの非常に広い移動範囲 - 高加速度・高速度と高精度の両立 このガントリーは、1300 x 800 mmの領域で、非常にダイナミックな動きを可能にします。カスタマイズされた加工ヘッドやZ軸のセンサーは、グラナイト上のキャリア上を素早く、スムーズに移動します。プロファイルされたレールガイドは、花崗岩に直接取り付けられており、サブミクロンの再現性の高い結果を得るために最適な走行特性を提供します。 仕様 - ...

繰返し精度: 0.3 µm - 2.5 µm
積載量: 5 kg - 20 kg
ストローク: 100 mm - 720 mm

... 半導体用XYZデュアルインスペクションポータル カスタマイズ可能 - ウェハー/半導体の自動検査に最適 - 各2 x 720 x 720 x 100 mmの非常に大きな移動範囲 - 2つのプロセスを同時に統合することが可能 クリーンルーム用4軸で構成され、複数の対象物を同時に自動計測できる検査システムです。高いダイナミクスと最高の再現性を実現しています。片側1台の高解像度カメラまたはセンサーをサンプルに対して相対的に移動させ、形状の検査、測定、特別な品質特性の記録を行います。 仕様 - ...

繰返し精度: 0.005 µm - 4.4 µm
積載量: 5 kg - 25 kg
ストローク: 100 mm - 365 mm

... 8軸位置決めシステム / ゴニオメーター カスタマイズ可能 - 様々な角度から8軸の検査を自動化 - カメラ/センサー/照明を共通の中心点を中心に旋回させる同軸回転システム - ディスプレイの検査に最適 8軸の位置決めシステムにより、さまざまな形状のサンプルや部品の分析・検査が可能です。カメラ／センサーは、試料を挟んで傾けたり、高さを調整したりすることが可能です。また、サンプルキャリアを測定面に対して平行に傾けることで、サンプルの個体差を補正することが可能です。XY ...

... 多軸モジュールシステム - ガントリー・システムを迅速かつ簡単に導入できます。 RK Rose+Kriegerのモジュラーシステムは、直線型、平面型、三次元型のガントリーを短時間で構築することが可能です。RK DuoLineおよびRK MonoLine軸シリーズが、モジュラーシステムのベースとなります。それぞれのCADデータ、詳細な組み立て説明書、適合する構成部品により、システムのセットアップが容易になります。構成部品には、クランピングバー、システムプレート、ブラケット、ユニバーサルドラッグチェーンホルダー、あらゆるメーカーのサーボモーターやプラネタリギアを接続するためのモーターアダプターが含まれます。 高度な標準化によりコスト削減を実現 システムアングルブラケット、システムプレート、クランピングバー - ...

繰返し精度: 5, 10 µm
積載量: 4 kg - 25 kg
速度: 0.1 m/s - 10 m/s

... Z3TM+は、モーションプラットフォームに対応するモジュールのポートフォリオを拡大します。このモジュールは、4つの独立した自由度、すなわち、拡大されたθ中空シャフト内に組み込まれたチップ、チルト、θおよびZ軸を追加します。1つの構成にはZ軸が含まれ、1つは細軸（FZ）、もう1つは粗軸（CZ）です。設計上、このオプションモジュールは、先端半導体アプリケーション用のウェーハモーションプロファイルの完全な充足を可能にし、OEMにあらゆる半導体技術用のターンキーソリューションを提供します。製品のコンパクトさは、体積あたりの機能数で記録的な密度を確立し、その性能は、ウェーハレベルの精度とダイナミクスの新しい市場基準を打ち立てました。 Z3TM+フレクシャーベースの微細Z軸により、OEMは高価で時代遅れの圧電ソリューションから移行することができ、ヒステリシスの問題を解消しながら、ナノメートルレベルの分解能、精度、再現性をさらに高いダイナミクスでサポートします。適切なサンプルアライメントへの組み込みサポートにより、このモジュールは、追加の「チップ」軸と「チルト」軸によって、装置ヘッドに対するウェーハの平面性をさらに制御することができます。このようなユニークな機能により、ユーザーは、例えば平坦度、公称AOI（Angle ...

繰返し精度: 0.25, 1, 0.3, 2 µm
積載量: 1 kg
ストローク: 12, 4 mm

... ZTボックスモジュールは、Z軸とθ軸の2つの自由度を1つのユニットで提供し、粗動と微動の両方のZ軸調整が可能です。ウェーハプロセス制御アプリケーション用に設計されており、独立して機能することも、XYプラットフォームの上に取り付けることもできます。 このモジュールは、無段階回転とウェーハチャックレベルでの真空供給を内蔵し、多目的なモーションコントロール機能を提供します。重力補償器を内蔵し、ISO 1クリーンルームに対応しているため、半導体製造における薄膜計測や重要な寸法計測に最適です。 ウェーハローディング/アンローディング用に12mmストロークの粗いZ軸と、フォーカス調整用に4mmストロークの細かいZ軸を備え、このモジュールは精密で安定した位置決めを保証します。さらに、優れたZジッターとムーブ＆セトル性能を提供します。 特徴 加速度Z:2m/s²、CZ:1m/s²、θ104.7rad/s²。 主な特徴は以下の通り： 無限回転 多彩なポジショニングのための連続回転を提供します。 ビルトイン真空供給 ウェーハチャックインターフェースに真空チャンネルを内蔵。 グラビティコンペンセータ 消費電力を最小限に抑え、精度を高めます。 クリーンルーム対応 真空吸引によりISO ...

繰返し精度: 0.03, 2 µm
積載量: 2.5 kg
ストローク: 2 mm

... Z3TMモジュールは、モーション・プラットフォームの範囲を拡大し、高度な半導体アプリケーション向けに4つの独立した自由度を提供する。 最先端の半導体アプリケーション向けに設計されたこのモジュールは、3つの回転軸（RX、RY、RZ）と1つの垂直軸（Z）の4つの独立した自由度を提供し、コンパクトな設計でウェハレベルの精度とダイナミクスという点で卓越した性能を実現します。高価なピエゾ式ソリューションと置き換えることで、ヒステリシスの問題を排除し、ナノメートルレベルの分解能、精度、再現性をサポートしながら、ダイナミクスを向上させます。 サンプルアライメントの組み込みサポートにより、ウェハレベルでの正確な平面度制御が可能になり、設計の手間を簡素化し、装置の複雑さを軽減し、信頼性を向上させることで、市場投入までの時間を短縮し、価格対性能を向上させます。 特徴 トータルストローク：ファインZ±2mm、ティップチルト±0.08°、シータ無限大 移動・沈降時間ファインZ：100 ...