真空対応ナノ位置決めステージ

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リニアナノ位置決めステージ
リニアナノ位置決めステージ
SOM-MS-8080

ストローク: 51 mm
速度: 8 mm/s
繰返し精度: 80, 160, 1,000 nm

... SOM-8080は、スマーアクトで最もコンパクトな顕微鏡ステージで、X軸とY軸の移動範囲は51mmです。ステージの寸法は、長さと幅が138mm、高さが23mmとなっています。すべてのスマーアクト顕微鏡ステージと同様に、SOM-8080はスマーアクトの高精度SLCシリーズのリニアステージをベースにしているため、最高の再現性とナノメートルの分解能を実現しています。 顕微鏡ステージのベースプレートは、ブレイブボードに対応しています。標準的なインサート用のアダプターは、一般的なメーカーとの互換性を確保しています。また、カバープレートやステージ自体のカスタマイズも可能です。 メカニカル 移動量 ...

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リニアナノ位置決めステージ
リニアナノ位置決めステージ
SOM-MS-12090

ストローク: 83, 63 mm
速度: 8 mm/s
繰返し精度: 240, 120, 1,000 nm

... SOM-12090は、長さ226mm、幅176mm、高さ30mmと、スマーアクトで2番目に大きな顕微鏡ステージです。ステージの移動範囲は、X軸83mm、Y軸63mmです。このステージは、ナノメートルレベルの精度と最高のクローズドループ・リピータビリティを提供する、スマーアクトのコンパクトなSLCリニアステージをベースにしています。 ブレッドボード対応のベースプレートと標準インサート用アダプターにより、一般的なメーカーとの互換性を確保しています。また、カバープレートやステージ自体のカスタマイズ性も高い。 メカニカル ブロッキングフォース ...

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SmarAct GmbH
リニアナノ位置決めステージ
リニアナノ位置決めステージ
SOM-MS-180150

ストローク: 103, 123 mm
速度: 8 mm/s
繰返し精度: 1,000, 360, 180 nm

... SOM-180150は、X軸方向に123mm、Y軸方向に103mmと、SmarAct社の顕微鏡ステージの中で最大の移動範囲を実現しています。SOM-180150は、コンパクトなSLCリニアステージをベースに、ナノメートルレベルの精度と最高のクローズドループ・リピータビリティを実現しています。ステージの長さは286mm、幅は216mm、高さは30mmです。ステージの重量は2500gです。 標準的なインサート用のアダプターとブレッドボード互換のベースプレートにより、一般的なメーカーとの互換性を確保しています。また、カバープレートやステージ自体のカスタマイズも可能です。 メカニカル ブロッキングフォース ...

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リニアナノ位置決めステージ
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SOM-808030

ストローク: 51, 19 mm
速度: 8 mm/s
繰返し精度: 160, 1,000, 80 nm

... SOM-808030は、スマーアクトの顕微鏡ステージの中で唯一、垂直方向の移動が可能なステージです。X軸とY軸の移動範囲は51mm、Z軸は16mmです。ステージの寸法は、縦横138mm、高さ56mmです。SOM-808030は、スマーアクトのSLCシリーズのリニアステージをベースにしているため、最高のクローズドループ・リピータビリティとナノメートルの分解能を実現しています。 一般的なメーカーとの互換性は、標準的な挿入物用のアダプターによって確保されています。顕微鏡ステージのベースプレートはブレイブボードに対応しています。また、カバープレートやステージ自体のカスタマイズも可能です。 メカニカル ブロッキングフォース ...

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真空対応ナノ位置決めステージ
真空対応ナノ位置決めステージ
LA97 series

ストローク: 100, 200, 300 mm
速度: 5 mm/s
繰返し精度: 0.015 µm - 0.02 µm

... LA97 - 真空リニアステージ・軸 ナノメータリニアステージ HV / UHV 最大 10E-11、移動量 100 - 300 mm、繰り返し精度 0.02 µm、最大荷重 10 kg - 真空:全領域 HV / UHV 最大10E-11 mbar - 潤滑:液体 10E-8 mbar まで / 乾燥 10E-11 mbar まで - 最高温度ベークアウト温度120°C オプションで設定可能 - マグネットタイプ、低マグネットタイプ、マグネットレスタイプがあります。 - ...

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Steinmeyer Mechatronik GmbH
XY軸ナノ位置決めステージ
XY軸ナノ位置決めステージ
KLT300 series

ストローク: 10 mm
速度: 5 mm/s

... - 真空:HV / UHV / EUVの全レンジで10-11 mbarまで対応 - 潤滑油:最大10-8 / ドライ:最大10-11mbar - 最高温度ベークアウト温度120°C - アパーチャー: 80 x 80 mm オプションで設定可能 - 測定システム付きまたは測定システムなし - オプションでリードスクリュー駆動または潤滑式ボールスクリュー駆動による高速化も可能 - 回転アプリケーション用に回転テーブル(例:DT155)との組み合わせが可能 - 用途に合わせた材料選択と真空潤滑方式 - ...

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