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クリーンルーム大気中の分子状汚染物質 (AMC: Airborne Molecular Contaminant) は、電子デバイスや製造装置の性能に影響を与え、歩留ロスや製品劣化の原因になります。適切なモニタリングが、迅速で的確なAMC汚染対策の実施につながります。 AirSentry II 移動式AMCモニタリングシステムは、イオンモビリティスペクトロメータ(IMS)のAirSentry II AMCモニター、コンプレッサ、エアドライヤ、CDAタンク、真空ポンプ、UPSなど、サンプル採取とAMC検出に必要なコンポーネントをすべて移動式ワゴンに搭載しています。電源に接続せずに、約30分の測定が可能です。 ユーザーインターフェースとなるタッチパネルPCにはFacility ...
クリーンルーム大気中の分子状汚染物質 (AMC: Airborne Molecular Contaminant) は、電子デバイスや製造装置の性能に影響を与え、歩留ロスや製品劣化の原因になります。適切なモニタリングが、迅速で的確なAMC汚染防止につながります。 AirSentry II 多点式AMCモニタリングシステムは、クリーンルーム内に設定した複数の測定ポイントからサンプル空気を順次集め、イオン モビリティ スペクトロメータ (IMS) のAirSentry ...
クリーンルーム大気中の分子状汚染物質 (AMC: Airborne Molecular Contaminant) は、電子デバイスや製造装置の性能に影響を与え、歩留ロスや製品劣化の原因になります。 AirSentry II AMCモニターは、pptレベルの塩化物、総合酸、アミン、アンモニアをリアルタイムに検知する、AMCの常時モニタリングに適したイオン モビリティ スペクトロメータ (IMS) です。 Facility Net モニタリングソフトウェア ...
... 世界をリードする年代学研究のための専用イオンマイクロプローブ 地質年代学者からの高まる要求に応えるため、カメカは高度なU-Th-Pb鉱物年代測定用に完全に最適化された大型ジオメトリーSIMS装置KLEORAを導入しました。 新世代の超高感度大型イオンマイクロプローブIMS 1300-HR³をベースとしたKLEORAは、高スループットで使いやすいプラットフォームで、in-situ U-Th-Pb同位体分析のベンチマークとなる感度を提供します。 KLEORA:U-Pb年代測定の先進ソリューション KLEORAは、IMS ...
CAMECA
... 先端半導体アプリケーション用SIMS IMS WfおよびSC Ultraは、先端半導体におけるダイナミックSIMS測定のニーズの高まりに対応するために特別に設計されました。質量分解能と一次ビーム密度に妥協することなく、広い範囲の衝突エネルギー(100eV~10keV)を提供し、最も困難なアプリケーション(超浅い高エネルギーインプラント、超薄膜窒化物酸化物、High-kメタルゲート、SiGeドープ層、Si:C:P構造、PVおよびLEDデバイス、グラフェンなど)において、高スループットで比類のない分析性能を保証します。 標準から超浅層まで 先端半導体の分析には、標準的なデプスプロファイリングアプリケーションをあきらめることなく、極浅デプスプロファイリングのためのSIMS分析条件を最適化することが第一条件となります。そこでCAMECAは、厚い構造用の高エネルギー(keV範囲)から超薄い構造用の超低エネルギー(≤150eV)まで、広い範囲の衝突エネルギーで試料をスパッタリングできる独自のSIMS装置設計を開発した。このような柔軟な衝撃エネルギーの選択は、さまざまに制御されたスパッタリング条件(化学種、入射角など)で利用できます。 CAMECA ...
CAMECA
... 量産半導体製造のための完全自動化SIMS AKONIS SIMSツールは、インプラントプロファイル、組成分析、界面データのための高スループット、高精度検出を提供し、大量生産を可能にすることで、半導体製造プロセスにおける重要なギャップを埋めます。AKONISは、ファブレベルのプロセス制御とツール間のマッチングのために、ツール間の再現性を保証する非常に高いレベルの自動化を提供します。 IMS Wf/SC Ultraや、特性評価ラボで半導体業界をサポートするために使用されているSIMS ...
CAMECA
長さ: 338 mm
幅: 175 mm
高さ: 148 mm
... 爆発性薬物検知器は、イオンモビリティ分光分析(IMS)技術により、微量の爆発物や薬物を迅速かつ正確に検知し、その種類を判別することができます。 地下鉄、鉄道、公安、国境警察、政府ユニット、郵便物流、他のキーのセキュリティゾーンで広く使用され、人体の衣類、荷物、商品、爆発物、他の禁止事項の表面に残っている薬は、疑わしいオブジェクトが迅速に検出することができます。 また、爆発物の薬物検出器として知られている 特徴 - 5インチカラータッチスクリーン。 - 速いindentifyの速度および正確な結果。 - ...
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