高真空配置システム

繰返し精度: 1, 0.8 µm
積載量: 5 kg
ストローク: 5, 15 mm

... MP410-3 10E-6 mbarまでの高真空アライナー カスタマイズ可能 - 10-6mbarまでの真空中での搬送測定に最適 - 開口部235mmの大型試料に対応する設計 - 1 µmまでの高い繰り返し精度、5 kgの荷重容量 - バックラッシュのないボールねじ1214の使用による理想的な力の伝達 - 正確な動作パラメータで最適化された価格性能比 このアライナーでは、平面内で15 mmの2次平行移動と、± 5°までの垂直周りの回転が可能です。R(Phi)の動きはXYの組み合わせから得られます。 仕様 - ...

... シリーズFSK40 ストローク範囲50mm~1000mm 位置の正確さ: 0.03mm 最高速度: 255mm/s 最大負荷: 25キロ ボールねじ：G1204/G1605/G1610 ボールねじモジュール、ベルト駆動リニアガイド、位置決めステージ、直交ロボット用モーションコントローラ。CE、FCC、RoHS、ISO9001認証。 多種多様な即出荷可能製品 10個からの数量割引 カスタムOEMソリューション 付加価値サービス 新しいソース、新しい価格、新しいチャンス。 FUYU ...

繰返し精度: 0.03 mm
積載量: 25 kg
ストローク: 50 mm - 1,000 mm

... シリーズFSK40 ストローク範囲50mm~1000mm 位置の正確さ: 0.03mm 最高速度: 255mm/s 最大負荷: 25キロ ボールねじ：G1204/G1605/G1610 ボールねじモジュール、ベルト駆動リニアガイド、位置決めステージ、直交ロボット用モーションコントローラ。CE、FCC、RoHS、ISO9001認証。 多種多様な即出荷可能製品 10個からの数量割引 カスタムOEMソリューション 付加価値サービス 新しいソース、新しい価格、新しいチャンス。 FUYU ...

繰返し精度: 50 nm
ストローク: 11, 20 mm

... SMARPOD CLS-32は中型システムで、交換可能なドライブユニットを装備しているため、高可用性アプリケーションに最適です。 SMARPOD CLS-32の主な特長は、交換可能なドライブユニット（EDU）であり、位置決めシステムを完全に分解することなく、ピエゾドライブを簡単かつ迅速に交換することができます。 オプションとして、ベースプレートにはSMARPODの移動プラットフォームの近くにツール、センサー、その他のコンポーネントを設置するためのマウンティングポストを取り付けることができます。 回転移動量は、トッププレート表面のピボットポイントの値です。 システム全体の寸法は、ポーズによって大きくなる場合があります。詳しくは、ダウンロードエリアのCADモデルをご覧ください。 繰り返し精度は、各システムのトッププレートから約20mm上方で、全移動範囲にわたって、一度に1自由度ずつ測定しています。短い移動範囲では値が良くなる場合があります。 ...