多軸ナノ位置決めステージ

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縦型ナノ位置決めステージ
縦型ナノ位置決めステージ
SOM-MS-505020

ストローク: 31, 12 mm
速度: 8 mm/s
繰返し精度: 1,000, 50, 100 nm

... SOM-505020は、SmarActの顕微鏡ステージの中で、上下方向の移動が可能な最小のステージです。X軸とY軸の移動量は31mm、Z軸の移動量は12mmです。寸法は、長さ112mm、幅100mm、高さ3.5mmです。SOM-505020は、SmarActのSLCシリーズのリニアステージをベースにしているため、最高のクローズドループ繰り返し精度とナノメートル分解能を実現しています。 一般的なメーカーとの互換性は、標準的なインサート用のアダプターによって確保されています。顕微鏡ステージのベースプレートは、ブリーボードと互換性があります。カバープレートはもちろん、ステージ自体もカスタマイズが可能です。 ...

リニアナノ位置決めステージ
リニアナノ位置決めステージ
SOM-808030

ストローク: 51, 19 mm
速度: 8 mm/s
繰返し精度: 160, 1,000, 80 nm

... SOM-808030は、スマーアクトの顕微鏡ステージの中で唯一、垂直方向の移動が可能なステージです。X軸とY軸の移動範囲は51mm、Z軸は16mmです。ステージの寸法は、縦横138mm、高さ56mmです。SOM-808030は、スマーアクトのSLCシリーズのリニアステージをベースにしているため、最高のクローズドループ・リピータビリティとナノメートルの分解能を実現しています。 一般的なメーカーとの互換性は、標準的な挿入物用のアダプターによって確保されています。顕微鏡ステージのベースプレートはブレイブボードに対応しています。また、カバープレートやステージ自体のカスタマイズも可能です。 メカニカル ブロッキングフォース ...

パラレル キネマティクス付ナノ位置決めステージ
パラレル キネマティクス付ナノ位置決めステージ
P-616 NanoCube®

ストローク: 100 µm
積載量: 21 g

... - パラレル・キネマティック・デザインにより、全空間方向で最高の剛性を実現 - 100gまでの負荷でも高い共振周波数によりダイナミックな動作が可能 - 革新的な製品設計により、単一プラットフォームでフレキシブルに使用可能 - IDチップを搭載した唯一のナノポジショナ - ナノキューブ®としては最小・最軽量、100 µmの移動範囲 - ファイバーの位置決めとアライメント - 走査型顕微鏡 - 2光子重合 - ナノテクノロジーとナノマニュファクチャリング - ...

リニアナノ位置決めステージ
リニアナノ位置決めステージ
ANT95R Series

積載量: 2, 1.5 kg

... ANT95Rダイレクトドライブ回転ステージは、前例のない位置決め内安定性と0.01秒以下のインクリメンタルモーション性能を提供し、2つの精度等級で提供されます。コンパクトなサイズで、他のモーション軸やシステムとの統合が容易です。 -0.01秒角の分解能 -0.005秒角の位置決め安定性 -優れた誤差モーション仕様 -多軸構成 -高い動的性能 -限定回転と無制限回転の両方に対応 多軸機能 ANT95Rシリーズは、AerotechのANTリニアステージ製品と互換性があり、簡単に統合できるように設計されています。これらのステージを組み合わせることで、ほとんどすべてのナノ製造または検査用途に精度、安定性、小型性能能力を提供します。 ...

リニアナノ位置決めステージ
リニアナノ位置決めステージ
NPX series

ストローク: 0.4, 0.2, 0.1 mm

... NPXピエゾスタックリニアステージは、コンパクトなパッケージで、1軸、2軸、3軸の長移動とサブナノメートル分解能のモーションを提供します。高速応答と高速整定性能を備えており、高周波エラー補償、トラッキング、高速ステップ、連続スキャンなどの動的なプロセスで使用できます。 -サブナノメートルサイズの圧電素子による位置決め分解能 -X、XY、XYZのいずれかのモーション -圧電素子による移動範囲は最大400 µm。 -オプションでクローズドループ動作用の内蔵ストレインゲージを搭載可能 -高ダイナミックアプリケーションに対応する高い共振周波数 -真空バージョン 特徴 サブナノメートルの位置決め分解能 NPXピエゾスタックリニアステージは、0.2nmの位置決め分解能を持ち、分解能は制御電子機器のノイズによってのみ制限される超微細な調整を行うことができます。 大きなピエゾ可動範囲 NPXピエゾスタックリニアステージは、高信頼性、多層、低電圧の圧電トランスデューサースタックを採用し、高負荷サイクルのオペレーションを実現します。FEAで最適化された洗練された平行四辺形の固体フレクシャーガイドシステムにより、完璧な平行移動と最大400 ...

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