太陽光貯蔵マシン

... TOPCon太陽電池用トンネル酸化膜、i-PolyおよびD-Polyの成膜。 - 低圧力、ホットウォールプロセスの特徴を有し、膜の均一性、コンパクト性に優れています。 - LPCVDプロセスにより、高密度基板でも成膜速度にほとんど影響を与えず、シングルチューブでの成膜能力が大きい。 - 温度ゾーンが多く、ウェハー間の均一性が高い。 - 独立調整可能なセグメント化されたエアインレットにより、エアフロー減少効果を補正。 ...

... 主に、結晶シリコン太陽電池の製造における最高品質の反射防止膜の生成や、太陽電池の裏面のパッシベーション膜の成膜に使用されます。 グラファイトボート＆ウェハー準備→窒素導入→グラファイトボート投入→真空化、圧力テスト→アンモニア前洗浄、チェック→チューブ真空化、リークチェック、恒温→プレコート→コーティング→真空化、圧力テスト→チューブ洗浄、窒素導入→グラファイトボート降ろし。 - SiOxNy PERCプロセスに対応。 - ダブル冷却水フランジのシール技術。 - ...

... 本装置は、結晶系太陽電池のウェーハ前面に熱原子層堆積法（ALD）によりAl2O3薄膜を堆積させ、パッシベーション層を形成することで効率を高めるものです。 仕様 ハイスループット：12,800枚/時（1,600枚/艇）。 サイクルタイム：30分 稼働率：97 ...

ドロップジェットフラックスヘッドは上向きや下向きなど、どの角度からでも液体の塗布を行うことが出来ます。 特許である簡単なブリード及びクリーニング機構は自動で使用するために最良です。システムは付属のコントローラでプログラムをすることが出来ます。 スプレー機能とスプレー塗布長さはミリ秒間隔でプログラムすることが出来ます。コントローラは24V又はRS232通信で動作させることが出来ます。 本システムはコンベア搬送を搭載したXY軸ユニットの一部としても供給することが出来ます。 太陽電池、医療や電子等様々なアプリケーションで使用することが出来ます。 • ...

... Infinity IBDシステムは、高密度・低欠陥の薄膜を極めて高い精度と均一性で実現します。また、イオンエネルギーの独立制御が可能なため、フレーキングによる汚染が極めて少なく、正確な薄膜スペックを実現することができます。 バイアスターゲットスパッタモジュールは、薄膜界面の制御に優れ、イオン電流とエネルギーの独立した制御が可能で、低圧で動作します。これにより、ビームのオーバースピルによる汚染や散乱を排除し、表面損傷を防ぎ、厳密な応力制御を可能にし、高密度で欠陥のない薄膜を形成することができます。 BTSモジュールは、ターゲット全体のサイズを小さくすることができるターゲット使用率の向上により、所有コストを改善します。システム設計により、大型基板上でも回転することなく優れた均一性を実現します。このモジュールは、他のIBDプラットフォームと比較して、パルススパッタリングと高い成膜レートを提供します。 これらのユニークな機能と利点はすべて、デントンの長期的なパートナーシップとサービスへのコミットメントに支えられています。デントンのエキスパートが、お客様のニーズや仕様に合わせた信頼性の高い構成を提案し、高いシステム稼働率と容易なメンテナンスを実現します。 酸化バナジウムマイクロボロメータ 精密光学部品（レーザー、赤外線検出器） VCSEL反射防止膜 高効率太陽電池 磁気記録用スピンバルブ フォーカルプレーンアレイ サーマルイメージング レーザーバーファセット ...