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真空対応リニアモーター
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速度: 7 m/s - 18.5 m/s
強度: 100, 200, 400, 401 N
... 高い位置決め精度と繰り返し精度を実現。極めて高い精度が要求される用途に最適。 UMVコイルは、真空定格リニアモータシリーズの中で最も小さいコイルです。特に、長さが短いため、低荷重や狭いスペースに適しています。 このモータは、ガントリーなどの位置決めや、極めて高い精度が要求される高動的・軽量なアプリケーションに最適です。 ...
速度: 5 m/s - 13.6 m/s
強度: 719, 720 N
... 高加速度・高動力で、ピークフォースや低発熱が要求されるアプリケーションに最適です。 Vacuum ULV - G2 シリーズは、ハイエンド真空定格リニアモータシリーズの中型シリーズです。ピークフォースや低熱出力が要求されるアプリケーションによく使用されます。 例えば、リソグラフィーや検査ソリューションなどです。より長いストロークでは、ULV - G2コイルを組み合わせることで、磁石材料を節約しながら高性能を実現することができます。 ...
速度: 2.8 m/s - 7.7 m/s
強度: 1,340, 2,010, 2,012, 4,020 N
... 効率的で高いモーター定数を持ち、超精密性と最大限の力出力が要求される重作業用途に最適です。 UXXV - G2コイルは、真空定格リニアモータシリーズで最も強力で効率的なコイルです。UXXVシリーズは、超精密性と最大限の力出力が要求されるヘビーデューティアプリケーションに最適です。 例えば、ディスプレイの製造などです。その効率と高いモーター定数により、高い力を発生させながら低発熱を実現します。 ...
速度: 5, 12 m/s
強度: 25, 120 N
... 精度を高める:ハイテク分野の真空ソリューションのナビゲート ハイテク・アプリケーションの進歩に伴い、化学反応や汚染を防ぐための真空ソリューションの必要性が高まっています。モーションコントロール、検査、切断、リソグラフィなどの真空アプリケーションは、移動という課題に直面しています。 ITGの真空アイアンレスリニアモータの可動子コイルとステータレールは、10-8 mbarという低真空でも使用できるように特別に設計されています。 - 耐久性 - 信頼性 - 汎用性 - アウトガス ...
速度: 2.7 m/s
強度: 40.5, 81 N
... 精度を高める:ハイテク分野の真空ソリューションのナビゲート ハイテク・アプリケーションの進歩に伴い、化学反応や汚染を防ぐための真空ソリューションの必要性が高まっています。モーションコントロール、検査、切断、リソグラフィなどの真空アプリケーションは、移動という課題に直面しています。 ITGの真空アイアンレスリニアモータの可動子コイルとステータレールは、10-8 mbarという低真空でも使用できるように特別に設計されています。 - 耐久性 - 信頼性 - 汎用性 - アウトガス ...
... 精度を高める:ハイテク分野の真空ソリューションのナビゲート ハイテク・アプリケーションの進歩に伴い、化学反応や汚染を防ぐための真空ソリューションの必要性が高まっています。モーションコントロール、検査、切断、リソグラフィなどの真空アプリケーションは、移動という課題に直面しています。 ITGの真空アイアンレスリニアモータの可動子コイルとステータレールは、10-8 mbarという低真空でも使用できるように特別に設計されています。 特徴 - 耐久性 - 信頼性 - 汎用性 - ガス放出 ...
速度: 1.2 m/s - 2.3 m/s
強度: 161 N - 414 N
真空条件下で力のリップルや吸引力がなく、長いストローク運動と高いピーク力を必要とする用途に適したアイアンレスモータ。 Gryphonラインは、真空対応アイアンレスリニアモーターの費用対効果に優れたソリューションを提供します。標準的なアイアンレスモータ(Phoenixライン)のすべての機能に加えて、Gryphonラインはフラットワイヤー技術を使用して、コイルからハウジングへの熱伝達を最大化します。さらに、マグネットヨークはハーフポールマグネットとオプションのシールドプレートで終了し、漏れ磁界を最小限に抑えています。したがって、これらのモーターは、例えば電子ビームを使用するようなアプリケーションでの使用に特に適しています。 ...
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