高解像度配置システム

繰返し精度: 1 µm
積載量: 15 kg
ストローク: 200 mm - 1,000 mm

... 高度にダイナミックなアプリケーションに対応するXYZガントリー カスタマイズ可能 - 高精度かつダイナミックなアプリケーションに最適 - 1300 x 800 mmの非常に広い移動範囲 - 高加速度・高速度と高精度の両立 このガントリーは、1300 x 800 mmの領域で、非常にダイナミックな動きを可能にします。カスタマイズされた加工ヘッドやZ軸のセンサーは、グラナイト上のキャリア上を素早く、スムーズに移動します。プロファイルされたレールガイドは、花崗岩に直接取り付けられており、サブミクロンの再現性の高い結果を得るために最適な走行特性を提供します。 仕様 - ...

繰返し精度: 0.3 µm - 2.5 µm
積載量: 5 kg - 20 kg
ストローク: 100 mm - 720 mm

... 半導体用XYZデュアルインスペクションポータル カスタマイズ可能 - ウェハー/半導体の自動検査に最適 - 各2 x 720 x 720 x 100 mmの非常に大きな移動範囲 - 2つのプロセスを同時に統合することが可能 クリーンルーム用4軸で構成され、複数の対象物を同時に自動計測できる検査システムです。高いダイナミクスと最高の再現性を実現しています。片側1台の高解像度カメラまたはセンサーをサンプルに対して相対的に移動させ、形状の検査、測定、特別な品質特性の記録を行います。 仕様 - ...

繰返し精度: 0.005 µm - 4.4 µm
積載量: 5 kg - 25 kg
ストローク: 100 mm - 365 mm

... 8軸位置決めシステム / ゴニオメーター カスタマイズ可能 - 様々な角度から8軸の検査を自動化 - カメラ/センサー/照明を共通の中心点を中心に旋回させる同軸回転システム - ディスプレイの検査に最適 8軸の位置決めシステムにより、さまざまな形状のサンプルや部品の分析・検査が可能です。カメラ／センサーは、試料を挟んで傾けたり、高さを調整したりすることが可能です。また、サンプルキャリアを測定面に対して平行に傾けることで、サンプルの個体差を補正することが可能です。XY ...

繰返し精度: 2 µm
ストローク: 65 mm
速度: 25 mm/s

... XYラボラトリーアナリティクスシステム、センサー用ホルダー、XYステージ、アパーチャー付き カスタマイズ可能 - 高解像度分析、スキャニング、顕微鏡、測定作業のセットアップと拡張に最適 - センサーまたはカメラ用アタッチメント - 2 µmまでの高い繰り返し精度 - μmの安定性により、最高の解像度と詳細なイメージングを実現 - 0.3µmの完璧な平坦度により、5kgまでの中荷重に対応 仕様 - 移動距離: 65 mm (XY) - 水平度： ± 2 - ± ...

繰返し精度: 0.3 µm - 0.7 µm
ストローク: 200 mm
速度: 15 mm/s - 25 mm/s

... 高解像度のXYZ顕微鏡と検査ステーション カスタマイズ可能 - サンプル検査に最適 - 0.3 µmまでの高精度繰り返し精度 - 測定偏差を3 µm以下に低減 この3軸位置決めシステムは、高精度計測アプリケーション向けに設計されており、ステージがZ軸上のセンサーまたはカメラまで測定対象物を移動させます。xyステージはDCモーター設計の信頼性の高いKT310で構成されています。 仕様 - 移動量：200 mm (XY) / 200 mm (Z) - 繰り返し精度：± ...

繰返し精度: 0.002 µm - 2.4 µm
ストローク: 135 mm
速度: 10 mm/s - 50 mm/s

... 光学レンズ、シリンダーの位置決め用X Phiシステム カスタマイズ可能： - ウェハーや光学部品などの円形部品の光学測定に最適 - ストロークのある高精度回転運動により、ローディング軸の追加購入を節約 - 0.0017までの高い繰返し精度 - Xで1.9 µmを正確に測定位置に移動 このX-Phi位置決めシステムは、高精度で耐久性に優れた標準軸のPMT160リニアステージと、回転用のDTS130-HMで構成されています。試料を測定位置に正確に移動させる測定アプリケーションに最適で、追加の送り軸は必要ありません。 仕様 - ...

繰返し精度: 0.3 µm - 1.7 µm
ストローク: 100 mm - 300 mm
速度: 25 mm/s

... 検査と品質管理のためのXYZシステム カスタマイズ可能 - 0.3μmまでの非常に高い振れ精度と繰り返し精度 - 費用対効果の高いドライブで150Nまでの荷重を位置決め - 最大50mm/sの高速回転 - ランダム誤差の最小化 - 既存のカメラシステムやセンサーとの容易な統合と柔軟な組み合わせ 位置決めシステムは、3つの直線軸に沿った位置決めを可能にします。このユニットでは、PMT160リニアステージがアダプターブラケットを使用してKT470クロステーブルに取り付けられています。クロスローラーを使用することにより、真直度、平面度ともに低い振れ誤差を実現しています。 仕様 - ...

繰返し精度: 0.5 µm - 1.5 µm
ストローク: 50, 150, 300 mm
速度: 25 mm/s

... ラボ用XYZシステムとウェハ検査用XYZシステム カスタマイズ可能： - アプリケーションのセットアップと拡張に最適 - 0.5μmまでの高精度繰り返し精度 - 50mm/sの比較的高速な位置決め速度で、最小のステップと最高の信頼性 - 150Nまでの中荷重の位置決めにおいて±0.5μmの完璧な平面度 PMT160 の高精度で耐久性の高い標準直動軸に、独立した Z 軸ユニットを搭載した XY コンビネーションです。この組み合わせは、完璧な平面度、ピッチとヨーの最小公差、スムーズな動作を必要とするすべてのアプリケーションに適しています。 仕様 - ...

繰返し精度: 0.4 µm - 2.2 µm
ストローク: 100 mm - 300 mm
速度: 1.12 mm/s - 25 mm/s

... XZ労働・ウエハ技術システム カスタマイズ可能： - アプリケーションのセットアップと拡張に最適 - 0.4μmまでの高精度繰り返し精度 - 50mm/sの比較的高速な位置決め速度での最小ステップと最高の信頼性 - 5kgまでの中荷重を位置決めする±1の完璧な平面度 XZコンビネーションは、PMT160の高精度で耐久性の高い標準直動軸で構成されています。この組み合わせは、完璧な平面度、ピッチとヨーの最小公差、スムーズな動作が要求されるすべてのアプリケーションに適しています。 仕様 - ...

繰返し精度: 0.3 µm - 0.5 µm
ストローク: 50 mm
速度: 30 m/s

... 実験室検査用XYZ位置決めシステム カスタマイズ可能： - 高精度測定技術のセットアップと拡張に最適 - 0.3 µmまでの非常に高い繰返し精度 - 50mm/sまでの比較的高速な最高速度で、最小のステップサイズと最高の信頼性 - 150Nまでの中荷重を位置決めする場合、±0.5の完璧な平面度 この XYZ コンビネーションは、PMT160 の高精度で耐久性の高い標準直動軸を、アダプターブラケットを使用して KLT310 xy ステージに取り付けたものです。これにより、3つの直線軸に沿った位置決めが可能になります。 仕様 - ...

... 科学や産業における多くのアプリケーションでは、サンプルやコンポーネントの位置決めに2自由度以上の自由度を必要とします。極低温で限られたスペースであっても、ペイロードは最高の精度で移動させる必要があります。 SmarActsの極低温位置決めシステムは、モジュール式で、高精度、カスタマイズ可能で、位置決めやスキャン作業中もサンプルを可能な限り低温に保つよう熱管理されています。 XYZ位置決めシステムの中心的なコンポーネントはリニアステージです。この例では、SLC-1720-CRを使用しています。3つのステージは、ホルダーやアダプタープレートと簡単に組み合わせてコンパクトな多軸セットアップを形成することができ、通常は顧客のセットアップでクライオスタットのコールドフィンガーに接続されます。 極低温で正確に動作する必要がある高分解能位置決めシステムを設計する場合、ステージと取り付け部品の熱膨張による位置決めシステムの温度クリープを減らすために、ステージからの熱負荷をできるだけ早くクライオスタットに確実に伝達することが重要です。 最も重要な課題は、ペイロードからの熱を取り付けベースプレートに伝達し、作用点での一定した低温を確保することです。 ...

繰返し精度: 5 µm
積載量: 30 kg
ストローク: 300 mm

... オープンフレームXYステージは、顕微鏡を使用した幅広い自動高精度位置決め用に薄型に設計されています。駆動機構をユニット側面に配置し、光や物体が移動中心を通過できるよう、クリアで邪魔にならない2軸開口部を提供します。 オープンフレーム 300x300 mm XYステージの全ストロークにわたって開口部が確保されています。 モデル - ユニット XY-OF-S300x300-A300x300J XYストローク - mm - 300x300 スクリューリード - 4 ...