蛍光発光検査機器

MiNY PL は、フォトルミネッセンス（PL）計測法を用いたマイクロLED ウェーハの検査装置です。 仕様 • 型名 : C15740-01 • 対応ウェーハサイズ : 100 mm（4インチ） または150 mm（6インチ）（他サイズ応相談） • 計測時間 : 約12分（対物レンズ10×、 PL計測、4インチウェーハ） • PL 計測波長 : R、G、B • 空間分解能 : 1 μm/pixel （標準モード）、0.5 μm/pixel （High ...

... 独自の光学設計技術により、Imperiaは歩留まりに悪影響を及ぼす欠陥を検出・分類し、同時に最先端のフォトルミネッセンス（PL）生産監視を行うことができます。 製品概要 Imperiaは、独自の光学設計技術により、歩留まりを脅かす欠陥を検出・分類し、同時に最先端のフォトルミネセンス（PL）生産監視を行うシステムです。これら2つのエピタキシャル後の計測スクリーニング機能を1つの高スループットシステムに統合することで、貴重な工場スペースとカセット処理時間を最小化することができます。この製品は、ユーザーに大きな経済的節約をもたらします（例：MOCVDリアクターの収量とPMスケジュールを正確に予測する）。 - ...

... Vertexシステムは、PL測定プロセスを制御下に置き、エピタキシャルプロセスをしっかりと制御できるようにします。 製品概要 業界標準の RPM ファミリに加わった最新の Vertex システムは、優れたコンセプトを採用し、最終的な結論へと導きます。 Vertex システムは、斬新なオンボードビームプロファイラを使用して、レーザー出力と焦点スポット寸法の両方を常に監視することによって電力密度を制御します。 これにより、ユーザーは電力密度を固定値に調整できるため、工具間のばらつきをなくし、生産環境での良好な工具マッチングが可能になります。 ...