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繰返し精度: 0.005 µm - 4.4 µm
積載量: 5 kg - 25 kg
ストローク: 100 mm - 365 mm
... 8軸位置決めシステム / ゴニオメーター カスタマイズ可能 - 様々な角度から8軸の検査を自動化 - カメラ/センサー/照明を共通の中心点を中心に旋回させる同軸回転システム - ディスプレイの検査に最適 8軸の位置決めシステムにより、さまざまな形状のサンプルや部品の分析・検査が可能です。カメラ／センサーは、試料を挟んで傾けたり、高さを調整したりすることが可能です。また、サンプルキャリアを測定面に対して平行に傾けることで、サンプルの個体差を補正することが可能です。XY ...
繰返し精度: 1.5, 2.5 µm
... ウェーハステッパー用レンズの高精度調整を実現するダブルXY直動軸｜クリーンルームでの超微細UV露光 - 精密アセンブリ 2つの光学系を高精度に調整 ウェーハステッパー用に特別に開発された高精度なダブル直動軸です。UV露光の際、より微細な構造を実現するために、2つのレンズを相対的に、また一緒に位置決めする必要があります。このソリューションは、共通のガイドシステム上の2つのスライド軸で構成されています。2つの移動スライドキャリッジはそれぞれ3つのキャリッジを持ち、レンズをできるだけ接近させるために、互いの中で部分的に移動することができます。 極度に乾燥した環境下での超微細画像処理 - ...
... モーションインデックスドライブDR-TRシリーズデュアルトラニオンポジションシステムは、当社の大容量ゼロバックラッシュTMFロータリーターンテーブルを利用して180° 交換を行い、9アーク秒の精度と2-3アーク秒の再現性を実現します。 TMFインデクサの比類ない精度により、他のメーカーが他のメーカーから高精度で必要とするショットピン/ウェッジデバイスが不要になります。このデバイスは、3 軸 (H Positioner) デュアルトラニオン位置決めシステムでの高精度を実現します。 ...
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