ウェハー運搬用配置システム

繰返し精度: 1.5 µm - 3.5 µm
積載量: 663 g
ストローク: 40 mm

... MP95-3 小型XYZ位置決めシステム、デカルト カスタマイズ可能： - コンポーネントや追加軸のアライメントに最適 - XYZの移動量は最大40 mmで、コンパクトなサイズ（145 x 95 x 130 mm）を実現 - 非常に高分解能で、横3方向のステップ補正が可能 - 最大1.5 µmの繰り返し精度 XYZ位置決めシステムは、3台の小型リニアステージ（3 x MT95）で構成される直交方向位置決めシステムです。クロスローラーガイドにより、非常に優れた性能を実現しています。 仕様 - ...

繰返し精度: 2.3 µm - 4.5 µm
積載量: 4.5 kg
ストローク: 50 µm - 50 µm

... MP130-3 小型XYZ位置決めシステム、デカルト カスタマイズ可能 - 高剛性によるμm精度 - 最大30 mm/sの速度で高ダイナミクスを実現 - 最大荷重45 N - クロスローラベアリングガイドによる最小限の摩擦抵抗 スクリュードライブとDCまたはステッピングモーターを備えたコンパクトな3軸アライメントシステムは、当社のFMCシリーズコントローラーを使用して簡単に制御できます。適切なコミッショニングソフトウェアFMC Quickを使用することで、システムは数分で初期テストが可能になります。 仕様 - ...

繰返し精度: 5, 10 µm
積載量: 4 kg - 25 kg
速度: 0.1 m/s - 10 m/s

... Z3TM+は、モーションプラットフォームに対応するモジュールのポートフォリオを拡大します。このモジュールは、4つの独立した自由度、すなわち、拡大されたθ中空シャフト内に組み込まれたチップ、チルト、θおよびZ軸を追加します。1つの構成にはZ軸が含まれ、1つは細軸（FZ）、もう1つは粗軸（CZ）です。設計上、このオプションモジュールは、先端半導体アプリケーション用のウェーハモーションプロファイルの完全な充足を可能にし、OEMにあらゆる半導体技術用のターンキーソリューションを提供します。製品のコンパクトさは、体積あたりの機能数で記録的な密度を確立し、その性能は、ウェーハレベルの精度とダイナミクスの新しい市場基準を打ち立てました。 Z3TM+フレクシャーベースの微細Z軸により、OEMは高価で時代遅れの圧電ソリューションから移行することができ、ヒステリシスの問題を解消しながら、ナノメートルレベルの分解能、精度、再現性をさらに高いダイナミクスでサポートします。適切なサンプルアライメントへの組み込みサポートにより、このモジュールは、追加の「チップ」軸と「チルト」軸によって、装置ヘッドに対するウェーハの平面性をさらに制御することができます。このようなユニークな機能により、ユーザーは、例えば平坦度、公称AOI（Angle ...

繰返し精度: 5 µm
積載量: 30 kg
ストローク: 300 mm

... オープンフレームXYステージは、顕微鏡を使用した幅広い自動高精度位置決め用に薄型に設計されています。駆動機構をユニット側面に配置し、光や物体が移動中心を通過できるよう、クリアで邪魔にならない2軸開口部を提供します。 オープンフレーム 300x300 mm XYステージの全ストロークにわたって開口部が確保されています。 モデル - ユニット XY-OF-S300x300-A300x300J XYストローク - mm - 300x300 スクリューリード - 4 ...