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シリコン流量センサー
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... 測定範囲 [SCCM] 0...30 出力信号 リニア, 1~5 VDC 精度 [± % FS] max. 2.5 電源電圧 [VDC] 8...14 湿度範囲 0....100%RH、耐水性結露接液材料 シリコンカーバイド、エポキシ、PPS、FR4、静電シールとしてシリコンサプライヤー Angst+Pfister センサーとパワー 製品概要 PFLOWシリーズのマスエアフローセンサは、最新のMEMSとマイクロエレクトロニクスの技術革新を取り入れています。センサーダイは一対のサーモパイルを使用し、質量流量による温度勾配の変化を検出します。センサー・ダイの「ソリッド・ステート」熱絶縁により センサーダイ上の「ソリッドステート」熱絶縁により、競合ソリューションで使用される表面キャビティや壊れやすい膜が不要となり、センサーの目詰まりや圧力衝撃に耐性があります。センサーの内部信号調整回路は、市販のマイクロコントローラーを活用しており、実証済みの信頼性と低コストを実現しています。 PFLOWシリーズマスエアフローセンサーは10sccmから2000sccmの範囲をカバーします。センサーは完全に校正され、0~50 ...
Angst+Pfister Sensors and Power AG
... 測定範囲 [SCCM] 0...200 出力信号 リニア、1~5 VDC 精度 [± % FS] max. 2 電源電圧 [VDC] 8...14 湿度範囲 0....100% RH、耐水結露性 接液材料 シリコンカーバイド, エポキシ, PPS, FR4, 静電シールとしてシリコン サプライヤー Angst+Pfisterセンサー&パワー 製品概要 PFLOWシリーズは最新のMEMSとマイクロエレクトロニクスのイノベーションを取り入れた質量気流センサーです。センサーダイは一対のサーモパイルを使用し、質量流量による温度勾配の変化を検出します。センサー・ダイの「ソリッド・ステート」熱絶縁により センサーダイ上の「ソリッドステート」熱絶縁により、競合ソリューションで使用される表面キャビティや壊れやすい膜が不要となり、センサーの目詰まりや圧力衝撃に耐性があります。センサーの内部信号調整回路は、市販のマイクロコントローラーを活用しており、実証済みの信頼性と低コストを実現しています。 PFLOWシリーズマスエアフローセンサーは10sccmから2000sccmの範囲をカバーします。センサーは完全に校正され、0~50 ...
Angst+Pfister Sensors and Power AG
... 測定範囲 [SCCM] 0...1000 出力信号 リニア、1~5 VDC 精度 [± % FS] max. 2 電源電圧 [VDC] 8...14 湿度範囲 0....100%RH、耐水性結露接液材料 シリコンカーバイド、エポキシ、PPS、FR4、静電シールとしてシリコン サプライヤー Angst+Pfister センサーとパワー 製品概要 PFLOWシリーズは最新のMEMSとマイクロエレクトロニクスのイノベーションを取り入れた質量気流センサーです。センサーダイは一対のサーモパイルを使用し、質量流量による温度勾配の変化を検出します。センサー・ダイの「ソリッド・ステート」熱絶縁により センサーダイ上の「ソリッドステート」熱絶縁により、競合ソリューションで使用される表面キャビティや壊れやすい膜が不要となり、センサーの目詰まりや圧力衝撃に耐性があります。センサーの内部信号調整回路は、市販のマイクロコントローラーを活用しており、実証済みの信頼性と低コストを実現しています。 PFLOWシリーズマスエアフローセンサーは10sccmから2000sccmの範囲をカバーします。センサーは完全に校正され、0~50 ...
Angst+Pfister Sensors and Power AG
... 測定範囲 [SCCM] 0...2000 出力信号 リニア、1~5 VDC 精度 [± % FS] max. 2 電源電圧 [VDC] 8...14 湿度範囲 0....100%RH、耐水性結露接液材料 シリコンカーバイド、エポキシ、PPS、FR4、静電シールとしてシリコン サプライヤー Angst+Pfister センサーとパワー 製品概要 PFLOWシリーズは最新のMEMSとマイクロエレクトロニクスのイノベーションを取り入れた質量気流センサーです。センサーダイは一対のサーモパイルを使用し、質量流量による温度勾配の変化を検出します。センサー・ダイの「ソリッド・ステート」熱絶縁により センサーダイ上の「ソリッドステート」熱絶縁により、競合ソリューションで使用される表面キャビティや壊れやすい膜が不要となり、センサーの目詰まりや圧力衝撃に耐性があります。センサーの内部信号調整回路は、市販のマイクロコントローラーを活用しており、実証済みの信頼性と低コストを実現しています。 PFLOWシリーズマスエアフローセンサーは10sccmから2000sccmの範囲をカバーします。センサーは完全に校正され、0~50 ...
Angst+Pfister Sensors and Power AG
... SFSモジュール 1000 sccm ガス注入システム、マニホールド、分析計に適した高速でコンパクトなフローモジュール。コンパクト設計、工場校正、HWアドレス設定用ピンで統合が容易。 このモジュールは異なる流量レンジにも対応可能です: +/- 200 sccmまで対応可能です:> 今すぐ製品をリクエスト +/- 50 sccm> 今すぐ製品をリクエスト ...
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