半自動プローブステーション

垂直磁場を提供する一次元磁場プローブステーション、磁場の均一性は ± 1% @ d2mmです。 リアルタイムのモニタリングと磁場強度のフィードバック、モニタリング精度は1% より優れており、磁場分解能は0.02mTより優れています。

... 標準的な半自動化システム - SPS-2600はXYチャック、プラテンが電動、SPS2800はチャックのZ動作が電動が標準構成です。オプションでθ軸の電動化も可能です。 - ステッピングモーターベース、エンコーダーなし。 - 高いコスト競争力 - 0℃以下の試験や遮蔽が必要なアプリケーションに最適。 - オプション：加熱・冷却チャック、ズームスコープ、複合顕微鏡、各種シールド、DC・RF測定用チャックの選択、その他多数 仕様 ...

... 高精度な半自動化システム - XYチャック電動、Zチャック電動を標準構成。オプションでθ軸の電動化も可能。 - ステッピングモーターを使用し、リニアエンコーダを搭載。 - 位置決めスペックとしてはコスト競争力があります。 - 少量生産でのテスト・試作に最適です。 仕様 - ウエハーサイズ 最大300mmまで - モータータイプ ステッピングモーター - XYステージ移動量 ...

... 高速半自動化システム - SPS-2600はXYチャック、プラテンが電動、SPS2800はチャックのZ動作が電動が標準構成です。オプションでθ軸の電動化も可能です。 - サーボモーターベース、リニアエンコーダ。 - 非常にコスト競争力のある、高速、高生産性のソリューションです。 - 中規模生産など、スループットが重視される用途におすすめです。 仕様 - ウエハーサイズ 最大300mmまで - モータータイプ ...

... LCS-4000 プローブステーションは、半導体診断用切断、故障解析、トリミング、マーキング、トップサイドレイヤの除去において、最大限の柔軟性を提供します。これらの機能はすべて、この1台のシステムで顕微鏡レベルで実行することができ、驚くほど簡単な操作で高いパフォーマンスを実現します。 統合型レーザー切断システムは、デバイス内部にダメージを与えることなく、コンタクトリードや犠牲層などをレーザー切断し、集積回路上の導体を変更することができます。このレーザートリミング工程は、トップサイド層の除去などの選択的な層除去を可能にし、半導体の故障解析や抵抗、静電容量、RF特性などのデバイス特性の微調整を支援します。MicroXactのレーザー切断システムは、欠陥のある部品を回路の残りの部分に接続する金属線を切断することによって、欠陥のある部品を分離することも可能です。あらかじめ組み込まれたロジックには、ウェハ上の欠陥デバイスの自動識別や、アブレーションによるウェハからの欠陥デバイスの完全消去が含まれています。 LCS-4000は、電動式、半自動式、全自動式の構成システムとして提供され、様々な設計オプションやアクセサリにより、幅広いアプリケーションに容易に対応することが可能です。 LCS-4000プローバステーションの特徴 ...

... CPS-XXX-CF-PLUSは、9K（シングルCCRシステム）、4.5K（デュアルCCRシステム）、さらに4K（トリプルCCRシステム）までの極低温でのウェーハおよびデバイスのテストを迅速かつコスト効率よく行うことができるモデルです。 100mm、150mm、200mm、300mmのウェハーをテストするためのシステムを提供しており、オプションでロードロック機能を付けることができます。システムは、個別のプローブアーム（オプションでウェッジプローブ付き）またはプローブカードホルダーで構成することができます。100個以上のDCプローブを使用した高密度プロービングが可能です。このようなシステムは、超伝導エレクトロニクスの分野だけでなく、量子コンピューティングの新しい分野にも理想的です。 特徴 ...

... SPS-2600-VACおよびSPS-2800-VACシリーズは、真空または制御ガス雰囲気において、最大100mmまたは最大200mmのウェハーを電動または半自動でプロービングできるように設計されたマイクロザクト社の真空プローブシステムです。この真空テストソリューションは、システマティックで正確、コスト効率が良く、低ノイズで使い勝手の良いものです。これらの真空プローブシステムは、振動補正された汎用性の高いプラットフォーム上に構築されており、様々なプローブアプリケーションに対応できるように構成することが可能です。77Kまでのアイシングフリー試験や、酸化しやすいデバイスやコンポーネントの高温試験に最適なMicroXactの真空プローブシステムは、制御された環境のウエハレベルプロービングを提供します。 真空プローブステーションの特徴 ...