空気軸受配置システム

... XYZユニバーサルガントリー｜XYリニアモータ、エアベアリング｜Zボールネジ、DCモータ、クロスローラ｜最大600×600mmまで移動可能です。 ユニバーサルXYZ位置決めシステムは、頭上の精密な位置決め作業に最適です。 Z軸上のカスタマイズされた加工ヘッドまたはセンサーは、試料キャリアの上を非常に高速に移動します。最大600mmという大きな移動距離により、大量の加工や検査が可能です。ガントリーの設計により、サイクルラインへの組み込みや複数台のガントリーの並べ替えも容易に実現できます。 ...

... 最大450×1000×1000 mmの大型部品検査用XYZガントリー｜XYリニアモーター、エアベアリング｜Zボールネジ、DCモーター 大型・高さのあるパーツの超精密測定 450×1000×1000mmを超える大型・高さのあるサンプルの高精度測定に適したXYZ位置決め装置です。Z軸に顕微鏡、カメラ、センサーを取り付け、XYZ俯瞰移動で測定することができます。これにより、ナノメートル領域での高解像度イメージングや、2D・3Dイメージングに対応した数々の測定機能を実現しました。 ...

... XYレーザーパネルステージ（最大2500×1500mm）｜位置決め装置 Xリニアモーター、エアベアリング｜Yボールネジ、ACサーボ 高荷重・長時間の移動に対応したエアベアリングポータルシステム 大型・重量のあるパネルのレーザー加工用に設計されたエアベアリング式XY位置決めシステムです。Z軸に搭載されたカスタマイズレーザーは、材料上を非常に高速に移動します。最大600mmまでの大きな移動量と、オプションで2500mmまで拡張できるため、大容量を実現できます。また、同じコンセプトで、長い移動距離を必要とする他の高度にダイナミックで精密なアプリケーションにも使用することができます。 ...

繰返し精度: 5.5, 2.5, 6.5, 4.5 µm

... ウェハ検査、顕微鏡用XYZ AFMガントリ｜最大移動量550 x 1550 mm｜エアベアリング、ボールネジ、ベルト、ステッピングモータ 高安定なAFMエアベアリングガントリ、広い移動範囲 この高剛性XYZガントリーは、特に大きなガラスサンプルの高精度原子間力顕微鏡（AFM）検査用に特別に設計されています。U字型の試料台の上には、カスタマイズされたAFMのためのZ方向の可動カンチレバーがあります。 カンチレバーは試料に正確に位置合わせされ、表面レリーフを取得するためにU字型の中の任意の位置に移動させることができます。エアベアリングにより、優れた面内位置決め精度を実現しています。最大試料重量は500kgです。 ...

繰返し精度: 1, 2, 1.4 µm

... 3D検査、厚み測定用XYZガントリー｜XYリニアモーター、プロファイルレール、エアベアリング｜Zボールネジ、DCモーター｜最大移動量600 x 600 mm 高分解能透過率測定用マイクロスコープホルダー付きハイスループット ガントリー 透過率測定による高精度かつ安定した垂直検査工程を可能にするXYZガントリーです。固定ガントリーのZ軸には、様々な測定用途に合わせた顕微鏡を取り付けることが可能です。キャリアは従来のHガントリーで移動し、エアベアリングでスライドします。上と下からの透過光の珍しい組み合わせは、要求の厳しい透過率測定に特に適しています。XYZ-ガントリは、すぐに使用できるモーションコントローラと一緒に納入することができ、信頼性の高いパラメータで動作します。 両側からの自動透過光検査工程に最適 ...